Турбомолекулярный насос CBVAC JFB-100/301 (300 л/с, 5×10−7 Па) на керамических подшипниках
Турбомолекулярный насос CBVAC JFB-100/301 — это высокопроизводительный вакуумный агрегат с керамическими подшипниками и консистентной смазкой, предназначенный для создания высокого и сверхвысокого вакуума до 5×10⁻⁷ Па. Он обеспечивает быстроту действия 300 л/с по азоту и 230 л/с по гелию, обладает низкой вибрацией и высоким коэффициентом сжатия (N₂ > 1×10¹⁰, He > 5×10³). Модель относится ко второму поколению насосов CBVAC и выпускается в вариантах со встроенным или выносным контроллером.
Назначение и область применения
CBVAC JFB-100/301 используется в системах физического и химического осаждения (PVD/CVD), в оптических и электронных производствах, масс-спектрометрии, вакуумных установках контроля герметичности, а также в научных исследованиях в областях высоких энергий и нанотехнологий. Благодаря компактным габаритам и высокой скорости разгона насос часто применяется в составе лабораторных и промышленных вакуумных систем, где требуется чистая откачка без масла и углеводородов.
Конструктивные особенности
- Прецизионные керамические подшипники — долговечная и термостойкая опора для ротора, гарантирующая устойчивую работу при скорости до 48 300 об/мин и вибрациях не более 0,05 мкм.
- Интегрированный или раздельный контроллер (JFB-II или JFD-II) — управление по RS-485 (Modbus RTU), поддержка локального пуска и регулировки скорости.
- Монолитный ротор — точно сбалансированная турбина из высокопрочного сплава для работы в диапазоне 10⁻¹–10⁻⁷ Па.
- Гибкое охлаждение — воздушное или водяное (15–25 °C, до 1 л/мин, 0,15 МПа), возможна естественная конвекция в режимах малой нагрузки.
- Компактность и низкий шум — вес около 10 кг, уровень шума ≤ 50 дБ, что позволяет использовать насос в чистых помещениях класса ISO 5–7.
Технические характеристики JFB-100/301
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Быстрота действия | 300 л/с (N₂); 230 л/с (He) |
| Предельное давление | до 5×10⁻⁷ Па (исп. CF), ≤ 5×10⁻⁶ Па (исп. ISO-K) |
| Коэффициент сжатия | N₂ > 1×10¹⁰; He > 5×10³ |
| Входной фланец | DN100 ISO-K или CF100 |
| Выходной фланец (форвакуумный) | KF25 или KF40 (опция) |
| Рекомендуемый форвакуумный насос | 2–6 л/с |
| Макс. входное давление | 10 Па (N₂); 2 Па (He) |
| Макс. выходное давление | 300 Па (N₂); 200 Па (He) |
| Критическое давление | 1000 Па (N₂); 500 Па (He) |
| Тип подшипников | Керамические шариковые, смазанные консистентной смазкой |
| Номинальная частота вращения | 805 Гц (48 300 об/мин) |
| Время разгона | ≤ 5 мин |
| Напряжение питания | 48 В DC (интегр.) или 220 В AC (раздельн.) |
| Потребляемая мощность (без нагрузки) | ≈ 30 Вт |
| Интерфейсы и протоколы | RS-485 (Modbus RTU) |
| Допустимое магнитное поле | до 3 мТл (радиально), до 5 мТл (осево) |
| Температура окружающей среды | 0…+35 °C (возд.); 0…+40 °C (вод.) |
| Охлаждение | воздушное / водяное / естественная конвекция |
| Масса | ≈ 9,6 кг (ISO-K), 10 кг (CF) |
| Уровень шума | ≤ 50 дБ |
| Контроллеры | JFB-II (интегр.) / JFD-II (выносной) |
Рабочие особенности
Насос CBVAC JFB-100/301 допускает установку в любом положении и устойчив к внешним магнитным полям до 3 мТл. Высокая динамическая балансировка ротора обеспечивает низкий уровень вибраций, а регулируемая частота вращения позволяет адаптировать быстроту действия под характер технологического процесса. Интеллектуальное управление через RS-485 обеспечивает диагностику, контроль тока, скорости и температуры подшипникового узла.
Интеграция в вакуумные системы
JFB-100/301 рекомендуется для включения в многокаскадные вакуумные системы с предварительной откачкой форвакуумным насосом производительностью 2–6 л/с. Для достижения предельного давления до 5×10⁻⁷ Па следует использовать металлические уплотнения фланцев и минимизировать длину вакуумной магистрали. При нагрузке от высокотемпературных процессов рекомендуется подключение водяного охлаждения фланца и корпуса.
Сервис и поддержка
Поставка, пусконаладка и сервисное обслуживание турбомолекулярных насосов CBVAC осуществляются сервисным центром в России на базе Лаборатории Leaklab. Доступны оригинальные контроллеры, кабельные наборы, узлы охлаждения и комплекты продувки для моделей серии JFB.