
Вакуумные клапаны и затворы
Вакуумные клапаны используются для контроля потока газа в системе вакуума. Они могут иметь различные типы и конструкции в зависимости от требований и условий эксплуатации. Дополнительно к уже перечисленным типам вакуумных клапанов, существуют также следующие:
Воротниковые затворы: имеют движущуюся пластину или шайбу, которая поднимается и опускается для открытия и закрытия прохода. Они обеспечивают полное перекрытие потока газа и хорошую герметичность.
Угловые/блокирующие клапаны: имеют угловую конструкцию и используются для изменения потока газа в системе вакуума. Они могут быть использованы для полного перекрытия потока или для регулирования его интенсивности.
Ручные клапаны: управляются вручную, обычно с помощью ручки или рычага. Они позволяют оператору контролировать поток газа в системе вакуума вручную.
Пневматические клапаны: управляются с помощью сжатого воздуха или газа. Они обеспечивают автоматическое открытие и закрытие прохода вакуумного клапана.
Электромагнитные клапаны: управляются электрическим сигналом и обеспечивают автоматическое открытие и закрытие прохода вакуумного клапана.
Электромагнитные клапаны с позиционным датчиком: имеют встроенный позиционный датчик, который позволяет контролировать положение клапана (открыт/закрыт) и передавать информацию о нем на контрольную панель или другое устройство.
Каждый из этих типов вакуумных клапанов и затворов имеет свои особенности и применяется в различных условиях эксплуатации, в зависимости от требований системы вакуума.
Промышленные ручные угловые клапаны высокого вакуума предназначены для управления потоком газа в системах высокого вакуума. Эти клапаны поддерживают широкий диапазон давлений от 1x10⁻⁶ Па до 1,2x10⁵ Па и обладают минимальным уровнем утечки, не превышающим 1,3x10⁻¹⁰ Па·м³/с. Они доступны в различных размерах с внутренним диаметром от 16 мм до 50 мм и имеют механический индикатор положения для удобства контроля.
Уровень температуры, при котором клапан может работать, варьируется в зависимости от его состояния: до 200°C при открытом положении и до 150°C при закрытом. Эти клапаны рассчитаны на длительный срок службы до первого обслуживания, составляющий около 200000 циклов открытия и закрытия. Установка может производиться в любой ориентации.
Вакуумные затворы с ручным приводом серии CC представляют собой устройства, используемые для управления потоком в системах сверхвысокого вакуума. Они предназначены для обеспечения высокой герметичности в условиях сверхвысокого вакуума.
Основные компоненты, такие как корпус и клапанная пластина, выполнены из нержавеющей стали 304, а приводной механизм из сварного мембранного объема из нержавеющей стали 316L. Уплотнение клапанной пластины изготовлено из фторкаучука с низкой газовой проницаемостью.
Эти затворы применяются в системах, где используется воздух или неагрессивные газы, и предназначены для переключения и регулирования потока. Они обеспечивают герметичность, стабильное и бесшумное движение, а также имеют компактную конструкцию и простой в установке дизайн.
Промышленные ручные затворы высокого вакуума серии CC предназначены для работы в условиях вакуума с диапазоном давления до 10−7 Па. Эти затворы доступны в различных размерах, от DN35 до DN400, и совместимы с фланцами CF, ISO-F и ISO-K. Они обеспечивают отличную герметичность с максимальным уровнем утечки газа до 1,3x10⁻¹⁰ Па·м³/с.
Все модели имеют ручной привод и механическую индикацию положения. Затворы выдерживают температурные условия отжига до 150°C при открытом состоянии и 120°C при закрытом. Установка возможна в любом положении.
Вакуумные затворы с электрическим приводом серии CCD и пневматическим приводом серии CCQ включают модели с различными номинальными диаметрами от DN35 до DN400 и имеют фланцы типа CF, ISO-F, ISO-K или ISO-K/F. Затворы CCD управляются электрическим приводом и оснащены тактильным переключателем для индикации положения, тогда как затворы CCQ используют пневматический привод и магнитную индикацию.
Вакуумные сильфоны
Сильфоны – это рукава из нержавеющей стали с фланцами для присоединения к вакуумным установкам. Ключевым факторов качественных сильфонов является 100%-проверка с применением масс-спектрометрического течеискателя в пределах чувствительности способа обдува гелием. Это гарантирует герметичность изделий элементов при установке их на вакуумную систему. При использовании гибких сильфонных рукавов важно, чтобы их проводимость не была меньше быстроты откачки вакуумных насосов.
| Артикул | Фланец | Длина, мм | Проводимость в вязкостном режиме* при 10 Па, м3/ч | Проводимость в молекулярном режиме**, м3/ч |
|---|---|---|---|---|
| ВН-KF-16-500-П | KF-16 | 500 | 32,1 | 3,6 |
| ВН-KF-16-1000-П | KF-16 | 1000 | 16,0 | 1,8 |
| ВН-KF-16-1500-П | KF-16 | 1500 | 10,7 | 1,2 |
| ВН-KF-16-2000-П | KF-16 | 2000 | 8,0 | 0,9 |
| ВН-KF-25-500-П | KF-25 | 500 | 191,3 | 13,6 |
| ВН-KF-25-1000-П | KF-25 | 1000 | 95,6 | 6,8 |
| ВН-KF-25-1500-П | KF-25 | 1500 | 63,8 | 4,5 |
| ВН-KF-25-2000-П | KF-25 | 2000 | 47,8 | 3,4 |
| ВН-KF-25-3000-П | KF-25 | 3000 | 31,9 | 2,3 |
| ВН-KF-25-4000-П | KF-25 | 4000 | 23,9 | 1,7 |
| ВН-KF-40-1000-П | KF-40 | 1000 | 626,7 | 27,9 |
| ВН-KF-40-1500-П | KF-40 | 1500 | 417,8 | 18,6 |
| ВН-KF-40-2000-П | KF-40 | 2000 | 313,3 | 13,9 |
| ВН-KF-40-3000-П | KF-40 | 3000 | 208,9 | 9,3 |
| ВН-KF-40-4000-П | KF-40 | 4000 | 156,7 | 7,0 |
| ВН-ISO-100-1000-П | ISO-100 | 1000 | 24480,0 | 435,6 |
| ВН-ISO-100-1500-П | ISO-100 | 1500 | 16320,0 | 290,4 |
| ВН-ISO-100-1200-П | ISO-100 | 2000 | 12240,0 | 217,8 |
| ВН-ISO-100-3000-П | ISO-100 | 3000 | 8160,0 | 145,2 |
| ВН-ISO-100-4000-П | ISO-100 | 4000 | 6120,0 | 108,9 |
* В таблице приведено расчетное значение проводимости гибкого сильфона для воздуха при комнатной температуре при остаточном давлении 10 Па. По мере снижения давления, проводимость падает, стремясь в пределе к проводимости в молекулярном режиме.
** Проводимость сильфона для воздуха при 293 К указана в соответствующем столбце таблицы. Проводимость трубопровода при молекулярном режиме течения не зависит от давления. Диапазон давлений для молекулярного режима течения газа составляет от 0,1 Па и ниже.
Герметизация резьбовых соединений
Герметизация резьбовых соединений строится на двух вещах: на геометрии резьбы и на том, как именно мы организуем уплотнение. Наружная и внутренняя части образуют соединительную пару, и именно пара определяет поведение под нагрузкой. Важны диаметр, шаг и угол профиля. Для трубных резьб чаще всего речь идёт о 55° (британская) и 60° (американская, метрическая). Шаг может измеряться либо в миллиметрах, либо числом ниток на дюйм — это удобно помнить, когда под рукой резьбомер «и в мм, и в дюймах». Диаметры у трубных резьб исторические: номинал в дюймах не равен фактическому наружному диаметру. Полдюйма — это не 12,7 мм по штангенциркулю, а примерно двадцать, и в этом нет ошибки измерений.
С инженерной точки зрения трубные резьбы удобно разделять на конические и цилиндрические. Коническая с конусностью 1:16 при завинчивании уменьшает зазор между боковыми поверхностями витков — это даёт механическое «самозатяжное» уплотнение, но только как база под герметик. Цилиндрическая (её часто называют параллельной) диаметром не «схлопывается» и сама по себе герметичности по виткам не даёт — её уплотняют по торцу через прокладку или кольцо.
Американские NPT/NPS — с углом 60°, конический вариант NPT мы чаще всего встречаем в арматуре на высокие давления, в лабораторной газовой обвязке и криогенике. У NPT профиль вершин усечён, поэтому визуально виток «острее», чем у британского. Рабочие давления упираются не в резьбу как таковую, а в толщину стенки и конструкцию корпуса, но сама пара из нержавеющей стали S316 при корректной сборке и применении герметика уверенно работает в диапазоне сотен мегапаскалей. Критичный момент — NPT не «проворачивают до упора»: нормальная сборка — несколько полных витков зацепления; если пытаться «дотянуть до конца», можно уйти в зону недореза и получить течь.
Британская традиция — BSP. Конический вариант BSPT имеет те же 1:16 по конусу, но угол профиля 55°, а вершины и впадины скруглены. На глаз это хороший признак отличия, особенно на просвет. Параллельная BSPP — это та самая «G-резьба», повсеместная в сантехнике, КИПиА и машиностроении. Для неё герметичность обеспечивают не по виткам, а по торцу: в конструкции предусматривают плоскость и проточку под прокладку или O-ring. В зависимости от того, где именно расположена опорная плоскость — «снаружи» или «внутри» — получаются разные допустимые давления. В газовых системах и вакуумных системах мы сознательно уходим от сантехнической привычки «намотать что-нибудь на витки»: параллельная резьба не сдавливает ленту, и на газах такое «уплотнение» почти неизбежно течёт.
Метрическая резьба в трубных соединениях встречается реже, но в присоединениях приборов — постоянно: манометры, датчики давления, штуцера M20×1,5 или M12×1 — классика. Геометрия близка к американской (60°), но диаметр задан в миллиметрах, поэтому взаимозаменяемости с UN/UNF нет. У метрической один и тот же номинальный диаметр может иметь ряд шагов — от крупного до особо мелкого. Это удобно конструктору: мелкий шаг повышает виброустойчивость, но делает сборку «длиннее» по оборотам. Есть и коническая метрическая с той же конусностью 1:16, но в трубной практике это экзотика.
Американские унифицированные резьбы UN/UNF/UNEF для труб — это на приборную и гидравлическую арматуру США. Профиль очень похож на метрический: вершины усечены, впадины скруглены, но шаг и диаметры в дюймах. На практике путаница чаще происходит не из-за диаметра, а из-за совпадения шага: полдюйма UNF и метрический «полуторный» шаг по резьбомеру выглядят «как родные», а вот по штангенциркулю — уже нет.
Уплотнение резьб. Конические пары (NPT, BSPT) собираем с фторопластовой лентой или анаэробным герметиком. У PTFE комфортный диапазон примерно от −250 до +250 °C; к 300 °C он деградирует, и вместо герметичности получаем чёрный налёт. Сколько слоёв ленты — зависит от диаметра и чистоты поверхности: на ½″ достаточно двух-трёх аккуратных оборотов, на полтора дюйма разумно больше. Хвост ленты ориентируем так, чтобы при завинчивании её не разматывало. На нержавейке полезна тонкая антизадирная смазка: конические пары имеют склонность к «прихвату».
Цилиндрические пары уплотняем по торцу. В простейшем случае это плоская прокладка-шайба, которая ложится на подготовленную плоскость во внутренней детали. Более технологичное решение — O-ring с посадочным пояском: он сам центрируется и формирует равномерное пятно контакта. Есть и гибридные прокладки с эластомерным сердечником (в промышленной практике часто называют их по фирме-разработчику), которые толще плоских и выручают, когда у прибора короткая наружная резьба, а ответная — глубокая: обычной шайбой просто «не дотянуться» до плоскости. Если внешней полки под прокладку нет вовсе (типичная история у манометров с G-резьбой), проектируем ответную деталь с внутренней опорной плоскостью; иначе герметичности не будет.
Есть важное правило совместимости – допустимо вкрутить наружную коническую в внутреннюю цилиндрическую и собрать это как коническую пару на герметике — так можно при невысоких давлениях и малых диаметрах. Обратный вариант — наружная цилиндрическая во внутреннюю коническую — нежизнеспособен: на витках зазоры не схлопываются, а по торцу уплотнение не организовано. И второе: NPT и BSPT взаимно не уплотняются. Угол профиля и форма вершин различаются, шаги совпадают лишь на отдельных типоразмерах; визуально всё похоже, а результат — течь под давлением.
Сборка — это не только геометрия, но и дисциплина. Резьбы и уплотнительные поверхности должны быть чистыми и обезжиренными, без задиров. Завинчивание — без перекоса, с адекватным моментом: перетяжка конических пар ведёт к разрушению посадочных мест и образованию микротрещин, недотяжка — к утечкам. Для NPT ориентир — несколько полных витков зацепления; для BSP — обязательное наличие плоскости и корректно подобранная прокладка по материалу и твердости. На газах высокой чистоты и в вакуумных линиях после сборки выполняется контроль гелиевым течеискателем: даже идеальная сборка может показать локальный подсос на частицах или царапине, и это лучше выявить сразу.
В диагностике помогает простой набор: штангенциркуль и два резьбомера — дюймовый и метрический. Дальше смотрим признаки: есть ли конусность, как выглядят вершины и впадины, предусмотрены ли проточки под прокладку, где располагается опорная плоскость — внутри или снаружи. Полезно держать под рукой лист с профилями в масштабе 1:1 — это ускоряет первичную идентификацию на выезде.
Стандарт резьбы — это ещё не стандарт всего соединения. Встречаются сборки, где резьба — лишь средство стяжки, а герметичность обеспечивается по конусу-на-конус внутри. На чертеже вы увидите BSPP и там, и там, а по факту без правильной конусной пары они не сойдутся, как бы идеально ни совпадали шаг и диаметр. Поэтому перед «подбором по месту» всегда ищем, где именно задумано уплотнение: по виткам (коническая), по торцу, по внутреннему конусу или по внешнему.
Если резюмировать подход, для конических резьб — аккуратный PTFE или анаэробный герметик, чистые поверхности и контроль момента; для параллельных — продуманная торцевая плоскость и корректная прокладка, без «сантехнической самодеятельности» на витках. Совместимость — только в одну сторону: наружная коническая в внутреннюю цилиндрическую, но не наоборот. И на газах или в вакууме — обязательная проверка гелием; это дешевле, чем искать утечку уже на объекте, когда вся система под нагрузкой.

