Мембранно-емкостный вакуумметр, или capacitance diaphragm gauge (CDG), измеряет давление по механическому отклонению тонкой мембраны. Поэтому результат практически не зависит от того, находится в камере азот, аргон, гелий или технологическая газовая смесь. Ниже приведено инженерное сравнение CBVAC CM1/CM1E и MKS Baratron 626D/627H/628H: диапазоны, паспортная точность, температурные исполнения, монтаж, настройка нуля, очистка и метрологический контроль.
Как работает емкостный мембранный датчик
В абсолютном CDG одна сторона металлической мембраны сообщается с измеряемым объемом, а с другой стороны находится герметичная опорная полость, откачанная до высокого вакуума. Давление процесса создает силу на мембране и вызывает небольшое упругое отклонение. Мембрана и неподвижный электрод образуют конденсатор: расстояние между ними меняется, следовательно, меняется электрическая емкость. Электроника усиливает и линеаризует сигнал, формируя, например, аналоговый выход 0-10 VDC.
Измеряемой причиной отклонения является давление, то есть сила на единицу площади. Именно это отличает CDG от датчиков Пирани, термопарных и ионизационных вакуумметров, где показание связано с теплопроводностью, плотностью либо ионизацией газа и потому зависит от его состава.
Почему показание практически не зависит от газа
Для идеального механического измерения одинаковое давление азота и гелия создает одинаковую силу на мембране. Поэтому переход с одного газа на другой не требует таблицы газовых коэффициентов, как у многих теплопроводностных датчиков. Это особенно важно при дозировании нескольких газов, плазмохимических процессах, вакуумной сушке, PVD/CVD, лабораторной калибровке и испытаниях, где состав среды меняется во времени.
Выражение «не зависит от газа» не означает неуязвимость к процессу. Конденсат, частицы и химически активные продукты могут осесть на мембране, изменить ее механические свойства или создать дополнительный тепловой режим. При разных температурах датчика и газовой линии возникает термомолекулярный эффект, особенно заметный при низком давлении. Поэтому выбор нагрева, расположение прибора и состояние измерительного тракта остаются частью метрологической задачи.
Где CDG действительно дает преимущество
По материалам NIST, CDG обладают очень высоким абсолютным разрешением на низких давлениях благодаря доступности малых диапазонов полной шкалы. NIST использует набор CDG в вакуумном сравнительном стандарте и отмечает типичное разрешение порядка одной миллионной полной шкалы и отличную кратковременную стабильность. Одновременно NIST указывает, что долговременный дрейф может давать заметную составляющую неопределенности, поэтому опорные CDG калибруют перед использованием относительно более стабильного стандарта.
Сильные стороны
- прямое измерение абсолютного давления;
- практическая независимость от состава газа;
- высокое разрешение и малая нелинейность;
- быстрый отклик, у CBVAC CM1/CM1E менее 20 ms;
- пригодность как рабочего эталона сравнения при подтвержденной калибровке;
- коррозионностойкие сплавы в контакте с процессом.
Ограничения
- одна полная шкала на конкретный заказной код;
- дрейф нуля особенно важен в нижней части диапазона;
- чувствительность к ориентации на малых диапазонах;
- необходимость длительного прогрева нагреваемых моделей;
- риск загрязнения и конденсации;
- для высокого и сверхвысокого вакуума нужен другой тип датчика.
Расширенное сравнение CBVAC CM1/CM1E и MKS Baratron
Таблица собрана по переданным каталогам CBVAC и действующим на дату публикации datasheet MKS. Это сравнение серий, а не взаимозаменяемость конкретных заказных кодов. Фланец, ориентация калибровки, разъем, точностная опция и диапазон должны быть подтверждены в паспорте выбранного прибора.
| Параметр | CBVAC CM1 | CBVAC CM1E | MKS 626D | MKS 627H | MKS 628H |
|---|---|---|---|---|---|
| Назначение | Универсальный абсолютный CDG | Исполнение для etch и процессов с осаждением побочных продуктов | Ненагреваемый абсолютный Baratron | Нагреваемый до 45 °C абсолютный Baratron | Нагреваемый до 100 °C абсолютный Baratron |
| Температура сенсора | без нагрева, 45 или 100 °C | 45 или 100 °C | температура окружающей среды | 45 °C | 100 °C |
| Полные шкалы, Torr | без нагрева: 0,1; 0,25; 1; 2; 10; 20; 100; 500; 1000. 45 °C: 0,02; 0,05; 0,1; 0,25; 1; 2; 10; 20; 100; 1000. 100 °C: 0,05; 0,1; 0,25; 1; 2; 10; 20; 100; 1000 | 45 °C: 0,02; 0,05; 0,1; 0,25; 1; 2; 10; 20; 100. 100 °C: 0,05; 0,1; 0,25; 1; 2; 10; 20; 100 | 0,1; 0,25; 1; 2; 10; 20; 100; 500; 1000 | 0,02; 0,05; 0,1; 0,25; 1; 2; 10; 20; 100; 1000; 2000; 5000; 10 000; 15 000; 20 000; 25 000 | 0,05; 0,1; 0,25; 1; 2; 10; 20; 100; 1000; 2000; 5000; 10 000; 15 000; 20 000; 25 000 |
| Паспортная точность | без нагрева: 0,25% показания при FS ≥1 Torr; 0,50% при FS <1 Torr. 45 °C: 0,12% для 1-1000 Torr; 0,15% для 0,05/0,1/0,25 Torr; 0,25% для 0,02 Torr. 100 °C: 0,25% при FS ≥1 Torr; 0,50% при FS <1 Torr | 45 °C: 0,12% для 1-100 Torr; 0,15% для 0,05/0,1/0,25 Torr; 0,25% для 0,02 Torr. 100 °C: 0,25% при FS ≥1 Torr; 0,50% при FS <1 Torr | 0,25% показания для 1-1000 Torr; 0,50% при FS <1 Torr; для 10-1000 Torr доступна опция 0,15% | 0,12% показания; 0,15% для 0,25/0,1/0,05 Torr. Datasheet включает нелинейность, гистерезис и неповторяемость | 0,25% показания для 1-25 000 Torr; 0,50% для 0,25/0,1/0,05 Torr |
| Разрешение | 0,001% F.S.; 0,002% F.S. для 0,02 и 0,05 Torr | 0,001% F.S.; 0,002% F.S. для 0,02 и 0,05 Torr | 0,001% F.S. | 0,001% F.S.; 0,002% F.S. для 0,02 и 0,05 Torr | 0,001% F.S.; 0,002% F.S. для 0,05 Torr |
| Нулевой температурный коэффициент | зависит от диапазона: от 0,002% F.S./°C у нагреваемых шкал ≥1 Torr до 0,03% F.S./°C у 45 °C, 0,02 Torr | 45 °C: 0,002% F.S./°C для 1-100 Torr; до 0,03% F.S./°C для 0,02 Torr. 100 °C: в каталоге указаны 0,002% для 1-100 Torr, 0,01% для 0,1 Torr и 0,02% для 0,05 Torr; строку для 0,25 Torr следует подтвердить | 0,005% F.S./°C для 10-1000 Torr; 0,010% для 2 Torr; 0,015% для 1 Torr; 0,020% для FS <1 Torr | 0,002% F.S./°C для 1-25 000 Torr; 0,005% для 0,25/0,1; 0,015% для 0,05; 0,03% для 0,02 Torr | 0,002% F.S./°C для 1-25 000 Torr; 0,01% для 0,25/0,1; 0,02% для 0,05 Torr |
| Температурный коэффициент span | каталог CM1: без нагрева 0,04% F.S./°C; 45/100 °C 0,02% показания/°C | 0,02% показания/°C | 0,04% показания/°C | 0,02% показания/°C | 0,02% показания/°C |
| Выход | 0-10 VDC, нагрузка >10 kΩ, DB15 male | 0-10 VDC, нагрузка >10 kΩ, DB15 male | 0-10 VDC, нагрузка >10 kΩ, DB15 | 0-10 VDC, нагрузка >10 kΩ, DB15 | 0-10 VDC, нагрузка >10 kΩ, DB15 |
| Питание | ±15 VDC ±5%; 35 mA без нагрева, 0,25 A max при 45 °C, 0,6 A max при 100 °C | ±15 VDC ±5%; 0,25 A max при 45 °C, 0,6 A max при 100 °C | ±15 VDC ±5%, 35 mA; 45 mA для 1/2 Torr при перегрузке | ±15 VDC ±5%, 0,25 A max | ±15 VDC ±5%, 0,6 A max |
| Отклик | <20 ms | <20 ms | в datasheet отмечен быстрый отклик, часто <20 ms | проверять по заказному исполнению и системе считывания | проверять по заказному исполнению и системе считывания |
| Прогрев | нагреваемые: 2 h при FS ≥1 Torr; 4 h при FS <1 Torr | 2 h при FS ≥1 Torr; 4 h при FS <1 Torr | специальный прогрев нагревателя не требуется; нужна температурная стабилизация | текущий datasheet явно указывает 2 h для 25 000 Torr и 4 h для 0,1 Torr и ниже; для промежуточной шкалы время уточняют по руководству | 2 h для 1-25 000 Torr; 4 h для FS <1 Torr |
| Объем измерительной стороны | 6,3 cm³ | 6,3 cm³ | 6,3 cm³ | 6,3 cm³ | 6,3 cm³ |
| Предельная перегрузка | 310 kPa | 310 kPa | 310 kPa | 310 kPa или 120% F.S., большее значение | 310 kPa или 120% F.S., большее значение |
| Материалы в контакте с газом | коррозионностойкий сплав на основе никеля | коррозионностойкий сплав на основе никеля | Inconel и Incoloy | Inconel | Inconel |
| Присоединения | NW16KF, NW25KF, CF16, CF35, 8 VCR/VCO female, 1/2 tube, 3/8 VCR female | NW16KF, NW25KF, CF16, CF35, 8 VCR/VCO female, 1/2 tube | 1/2 tube; опции 8 VCR/VCO, NW16/25KF, 1,33/2,75 CF | 1/2 tube; опции 8 VCR/VCO, NW16/25KF, 1,33/2,75 CF | 1/2 tube; опции 8 VCR/VCO, NW16/25KF, 1,33/2,75 CF |
Универсальная серия с тремя температурными исполнениями
CM1 охватывает ненагреваемые, 45-градусные и 100-градусные исполнения в одной серии. Это удобно при унификации аналогового интерфейса стенда: сохраняются питание ±15 VDC, выход 0-10 VDC и DB15, а температурное исполнение выбирается под газовую нагрузку.
Ненагреваемая модификация подходит для чистых, не склонных к конденсации газов и стабильной комнатной температуры. Версия 45 °C повышает стабильность и дает лучшие паспортные классы точности на применимых диапазонах. Версия 100 °C нужна там, где прогрев помогает удерживать компоненты процесса в газовой фазе и уменьшать осаждение.
Исполнение для etch и загрязняющих процессов
По каталогу CBVAC серия CM1E разработана для процессов травления. Внутренняя конструкция должна уменьшать коррозионное воздействие и осаждение побочных продуктов на чувствительной мембране, тем самым подавляя дрейф показаний. Доступны температуры 45 и 100 °C и диапазоны до 100 Torr.
CM1E следует выбирать не просто по слову «коррозионный». Нужно знать химический состав газа и продуктов реакции, температуру конденсации, частицевую нагрузку и допустимый материал уплотнений. Устойчивый к коррозии сплав не означает совместимость с любым веществом при любой температуре.
Ненагреваемый Baratron для чистых газов и лабораторных систем
626D является актуальным ненагреваемым аналоговым Baratron с DB15. Полные шкалы составляют 0,1-1000 Torr. Стандартная точность равна 0,25% показания для шкал 1-1000 Torr и 0,50% для диапазонов ниже 1 Torr; для 10-1000 Torr доступна точностная опция 0,15% показания.
Серия подходит для исследовательских установок, вакуумных камер, калибровочных стендов и чистых промышленных процессов, где температура окружающей среды контролируется. Отсутствие нагревателя упрощает питание и уменьшает тепловую нагрузку, но делает результат более зависимым от внешней температуры и не защищает от конденсации.
Baratron 45 °C для высокой точности от показания
627H охватывает особенно широкий набор шкал от 0,02 до 25 000 Torr. Для основных применимых диапазонов указана точность 0,12% показания, а для 0,25, 0,1 и 0,05 Torr - 0,15%. Для 0,02 Torr разрешение составляет 0,002% полной шкалы, а нулевой температурный коэффициент выше, чем у больших шкал.
Интегрированная защитная полость перед сенсором уменьшает попадание частиц. Однако она не заменяет чистый монтаж, правильную ориентацию, изолирующий клапан и регламент восстановления после аварийного загрязнения.
Baratron 100 °C для процессов с конденсацией
628H нагревает сенсор до 100 °C и доступен в полных шкалах от 0,05 до 25 000 Torr. Для диапазонов 1-25 000 Torr datasheet указывает 0,25% показания, а для 0,25/0,1/0,05 Torr - 0,50%. Мощность питания возрастает до 0,6 A по линии ±15 VDC, что нужно учитывать при выборе блока питания и кабеля.
Более высокая температура помогает в процессах, где 45 °C недостаточно для предотвращения конденсации. Она одновременно усиливает требования к термостабилизации, времени прогрева и учету термомолекулярной поправки при точных измерениях на низком давлении.
Как выбрать полную шкалу
Самая частая ошибка - выбрать слишком большую шкалу «с запасом». Паспортная точность может задаваться в процентах от показания, но разрешение и дрейф нуля выражаются через полную шкалу. Чем больше F.S. при том же рабочем давлении, тем выше абсолютная цена одной единицы разрешения и потенциальной нулевой ошибки.
- Определите реальное рабочее окно. Запишите минимальное, номинальное и максимальное давление, включая переходные процессы.
- Проверьте перегрузку. Учтите вентиляцию, аварийные всплески и возможное воздействие давления выше атмосферы.
- Рассчитайте разрешение. Умножьте выбранную F.S. на паспортный процент полной шкалы.
- Оцените ноль. Включите температурный коэффициент, ориентацию, повторяемость установки и межкалибровочный дрейф.
- Проверьте чистоту процесса. Выберите без нагрева, 45 или 100 °C, а при etch рассмотрите CM1E.
- Зафиксируйте заказной код. Диапазон, фланец, точность, ориентация и разъем должны быть указаны без неоднозначности.
Точность, разрешение, повторяемость и неопределенность
| Термин | Что означает | Чего не означает |
|---|---|---|
| Точность, % of Reading | Паспортная граница ошибки относительно текущего показания в заданных условиях; у MKS в нее явно включены нелинейность, гистерезис и неповторяемость. | Не является готовой неопределенностью конкретного измерения. |
| Разрешение, % F.S. | Минимально различимое изменение выходного сигнала относительно полной шкалы. | Не гарантирует, что абсолютное показание столь же верно. |
| Нулевой температурный коэффициент | Изменение нулевого сигнала при изменении температуры, выраженное через F.S. | Не описывает весь долговременный дрейф и загрязнение. |
| Span coefficient | Температурное изменение чувствительности или масштаба. | Не заменяет температурное картирование всей установки. |
| Повторяемость | Разброс результатов при повторении в одинаковых условиях. | Хорошая повторяемость не исключает систематического смещения. |
| Неопределенность | Оценка диапазона значений, обоснованно приписываемых результату, с учетом стандарта, прибора, установки и метода. | Не равна одной строке из datasheet. |
Пример расчета разрешения
Для прибора с полной шкалой 1 Torr и разрешением 0,001% F.S. абсолютное разрешение равно:
Если тот же паспортный процент указан у шкалы 100 Torr, абсолютное разрешение будет 0,001 Torr. При измерении 0,01 Torr разница принципиальна. Но даже у 1-Torr датчика результат нельзя объявить точным до 10-5 Torr: нужно добавить точность от показания, нулевую составляющую, калибровку, температуру, монтаж и стабильность.
Зачем нужны 45 и 100 °C и длительный прогрев
Нагрев решает две разные задачи. Во-первых, стабилизирует температуру механической и электронной системы выше обычных колебаний помещения. Во-вторых, уменьшает вероятность конденсации технологических компонентов внутри измерительного объема. Для чистого азота в лаборатории ненагреваемый датчик может быть оптимальным; для CVD, etch или паров растворителя нагреваемая линия и сенсор часто надежнее.
Тепловое равновесие достигается не сразу. Корпус, мембрана, электрод, фланец и присоединенный трубопровод имеют разную теплоемкость. Поэтому «показание появилось» не означает «метрологический режим установился». CBVAC для CM1/CM1E указывает 2 часа при F.S. не менее 1 Torr и 4 часа для меньших шкал. MKS 628H дает тот же порядок; для 627H время следует проверять по руководству конкретной модификации.
Монтаж, ориентация и электрическое подключение
- Расположение. Устанавливайте датчик как можно ближе к точке, давление в которой требуется знать. Узкая длинная трубка создает проводимость и динамическое запаздывание.
- Ориентация. Для диапазонов ниже 1 Torr гравитационное воздействие на мембрану уже существенно по отношению к измеряемой силе. Заказывайте и устанавливайте прибор в ориентации его калибровки.
- Чистота. Не касайтесь уплотнительных поверхностей и внутреннего канала. Для VCR/CF применяйте чистую технологию сборки и новый совместимый уплотнитель.
- Защита. Перед сенсором полезны изолирующий клапан, подходящая ориентация потока и предусмотренная производителем защита от частиц. Фильтр не должен создавать неизвестный перепад.
- Заземление. Соединяйте корпус, экран кабеля и общий сигнал согласно схеме производителя. Земляные петли и падение напряжения по общему проводу непосредственно искажают аналоговый результат.
- Источник питания. Проверяйте не только номинал ±15 VDC, но и ток нагревателя, пульсации, запуск и падение напряжения на кабеле.
Подключение CBVAC CM1
Переданный каталог CM1 определяет DB15 male: pin 2 - положительный выход сигнала; pin 5 - общий питания; pin 6 - −15 VDC; pin 7 - +15 VDC; pin 12 - общий сигнала; pin 15 - корпусная земля. До подключения нужно сверить маркировку конкретного прибора: механически одинаковый разъем не гарантирует одинаковую распиновку другого производителя.
Настройка нуля, проверка и калибровка
- Выдержите прибор. Обеспечьте заданный прогрев и стабильную окружающую температуру.
- Создайте нулевое давление. Оно должно быть достаточно ниже нижнего рабочего давления, чтобы остаточное давление не принималось за смещение нуля.
- Проверьте ориентацию и клапаны. Положение датчика и гидравлическая схема должны совпадать с рабочей конфигурацией.
- Настройте только разрешенный ноль. Не корректируйте span без эталона и документированной процедуры.
- Проведите сравнение. Подайте несколько устойчивых точек возрастающего и убывающего давления и сравните с прослеживаемым стандартом.
- Зафиксируйте результат. Сохраните исходные и скорректированные значения, температуру, газ, ориентацию, время прогрева и неопределенность.
Правильная калибровка относится ко всей измерительной цепи: сенсору, кабелю, блоку питания, считывающему устройству и алгоритму преобразования 0-10 VDC. Замена одного элемента может изменить результат. Период устанавливают по риску процесса, истории дрейфа и требованиям системы качества, а не только по календарю.
NIST рекомендует CDG подходящей полной шкалы как один из рабочих стандартов для калибровки теплопроводностных вакуумметров сравнительным методом. Это сильное подтверждение класса прибора, но только при действующей калибровке самого CDG и корректном бюджете неопределенности.
Загрязнение, конденсация и безопасная чистка
Осаждение на мембране меняет массу, упругость и тепловой режим чувствительного элемента. Симптомами могут быть смещение нуля, увеличение времени восстановления, гистерезис, нестабильность после вентиляции и расхождение с контрольным датчиком. Простая подстройка нуля способна скрыть проблему, но не восстановить характеристику.
Допустимая процедура зависит от загрязнителя и руководства конкретной серии. Обычно сначала анализируют вещество, совместимость сплава и уплотнений, затем выбирают разрешенную промывку измерительного канала, продувку, вакуумную сушку или контролируемый прогрев. После чистки обязательны проверка нуля, повторяемости и калибровочное сравнение. При коррозии, стойком осадке или нарушении герметичности сенсор передают в специализированный сервис.
Где применять разные исполнения
| Задача | Предпочтительное исполнение | Что проверить до заказа |
|---|---|---|
| Лабораторный вакуум, чистый азот или аргон | Ненагреваемый CM1 или MKS 626D | стабильность помещения, требуемая F.S., ориентация, калибровка |
| Дозирование газа и управление процессом | 45 °C CM1 или MKS 627H | точность от показания, скорость контура, питание, совместимость выхода |
| PVD/CVD и умеренно загрязняющий процесс | 45 или 100 °C в зависимости от точки конденсации | состав газа, температура линии, частицы, расположение клапана |
| Плазмохимическое травление | CBVAC CM1E либо специальное process-исполнение | побочные продукты, коррозия, осаждение, регламент восстановления |
| Вакуумная сушка и пары растворителя | 100 °C CM1/CM1E или MKS 628H при подтвержденной совместимости | давление пара, нагрев трубопровода, безопасность, очистка |
| Калибровка Пирани и рабочих вакуумметров | набор CDG с перекрывающимися шкалами | прослеживаемость, неопределенность, газ, стабильность и контроль дрейфа |
| Стенд контроля герметичности | F.S. по давлению камеры и этапу цикла; иногда несколько датчиков | динамика откачки, объем, проводимость, перегрузка и критерий испытания |
Почему мембранно-емкостные вакуумметры стоят дорого
Высокая стоимость складывается не из одного «точного сенсора». В приборе нужно воспроизводимо изготовить очень тонкую мембрану с контролируемым натяжением, выдержать геометрию электродов и малый зазор, создать герметичную опорную полость высокого вакуума, сварить коррозионностойкий узел без остаточных напряжений и обеспечить стабильность после перегрузок.
Нагреваемые модели добавляют термостат, датчики температуры, силовую электронику, тепловую изоляцию и время индивидуальной настройки. Аналоговая часть должна различать крайне малые изменения емкости на фоне помех, температуры и вибрации. Затем каждый диапазон проходит настройку нелинейности, нуля и полной шкалы. Низкие шкалы сложнее: одна и та же механическая или температурная сила занимает большую долю измеряемого сигнала.
В стоимость эксплуатации входят чистая сборка, правильный источник питания, калибровка, регламентированный прогрев и защита от процесса. Дешевый датчик, выбранный с чрезмерной полной шкалой или быстро загрязненный конденсатом, может обойтись дороже из-за брака и нестабильности технологического процесса.
Практический алгоритм выбора
- Опишите процесс. Газ, температура, давление, чистота, частицы, конденсация и химическая активность.
- Задайте метрологию. Рабочее окно, допустимая ошибка, скорость, повторяемость и требуемая прослеживаемость.
- Выберите F.S. Используйте минимальную шкалу, которая безопасно охватывает максимальное рабочее давление и переходные режимы.
- Выберите температуру. Без нагрева для чистой среды; 45 °C для стабилизации и умеренного риска осаждения; 100 °C при обоснованной необходимости.
- Уточните process-исполнение. Для etch и побочных продуктов сравните CM1E со стандартным CM1.
- Согласуйте механику и электричество. Фланец, ориентация, DB15, питание, кабель, заземление и вход контроллера.
- Планируйте жизненный цикл. Изоляция, прогрев, контроль нуля, калибровочный интервал, очистка и запасной прибор.
Поставка, настройка и метрологическое сопровождение LeakLab
Лаборатория контроля герметичности LeakLab поставляет вакуумметры CBVAC и помогает подобрать диапазон, температурное исполнение, присоединение и схему интеграции. Специалисты выполняют диагностику измерительной цепи, настройку, проверку нуля и аналогового выхода, оценку загрязнения, очистку измерительного тракта по согласованной процедуре и контроль после обслуживания.
LeakLab также организует калибровку или поверку в соответствии с задачей заказчика. Юридически значимые метрологические работы выполняются в пределах документально подтвержденной компетенции исполнителя либо через аккредитованных партнеров. Объем работ, методика, эталоны, неопределенность и форма документа согласуются до начала обслуживания.
Оборудование и услуги LeakLab
Частые вопросы
Можно ли заменить Пирани на один CDG?
Не всегда. CDG точнее в своей выбранной шкале и не зависит от газа, но не охватывает весь диапазон от атмосферы до высокого вакуума. В установке часто используют несколько CDG или сочетание CDG с Пирани и ионизационным датчиком.
Чем CBVAC CM1 отличается от MKS Baratron?
Серии построены на одном физическом принципе и имеют близкие аналоговые интерфейсы и группы характеристик. Различаются доступные заказные коды, конструкция защиты, точностные опции, температурное исполнение, документация, сервисная логистика и стоимость. Сравнивать нужно конкретные коды, а не только названия брендов.
Нужно ли обнулять прибор перед каждым циклом?
Решение зависит от методики. Автоматическая коррекция допустима только при достоверно достигнутом нулевом давлении и контролируемом состоянии датчика. Иначе процедура способна скрыть остаточное давление или развивающийся дрейф.
Можно ли чистить датчик ультразвуком?
Без прямого разрешения производителя - нет. Ультразвук, механическое касание и неконтролируемая струя могут повредить мембрану. Метод очистки выбирают по загрязнителю и руководству конкретной серии, после чего проверяют характеристику.
Какой диапазон лучше для измерения 0,01 Torr?
Нужен расчет по требуемой ошибке, нулю и динамике. Шкала 0,1 Torr обычно дает существенно лучшее абсолютное разрешение, чем 1 Torr, но должна выдерживать максимальное давление процесса и быть заказана в нужной ориентации и температурном исполнении.
Источники и паспортные документы
- MKS 622D/626D Unheated Absolute Baratron Capacitance Manometer, datasheet.
- MKS 627H Heated 45 °C Absolute Baratron Capacitance Manometer, datasheet.
- MKS 628H Heated 100 °C Absolute Baratron Capacitance Manometer, datasheet.
- MKS Instruments: Capacitance Manometer Physics.
- NIST Vacuum Comparison Standard.
- NIST: Pressure and Vacuum Measurements.
- NIST: Recommended Practice for Calibrating Vacuum Gauges of the Thermal Conductivity Type.
- NIST: The Calibration of Vacuum Gauges.
Нужно подобрать или проверить мембранно-емкостный вакуумметр?
Передайте LeakLab рабочий диапазон давления, газовую среду, температуру, присоединение и требования к точности. Мы подготовим конфигурацию прибора и измерительного тракта, программу настройки, диагностики и метрологического контроля для вашей установки.
Паспортные характеристики CBVAC приведены по двум переданным каталогам производителя, включая каталог CM1 V4 и сводный каталог серий от 20.11.2025. Характеристики MKS проверены по действующим datasheet на 26.08.2026. Производители могут изменять спецификации; перед заказом обязательна сверка полного кода и актуального паспорта. Публикация не является свидетельством об утверждении типа средства измерений, сертификатом калибровки или подтверждением области аккредитации.