Баратрон CBVAC CM1E — мембранно-ёмкостный вакуумметр с защитой от загрязнений
Баратрон CBVAC CM1E — это усовершенствованная версия эталонного вакуумметра CM1, специально разработанная для эксплуатации в условиях повышенного загрязнения и химически активных технологических сред. Датчик использует тот же принцип ёмкостного измерения прогиба никелевой мембраны, однако имеет улучшенную конструкцию корпуса и антипылевую защиту мембранного блока. Благодаря этому прибор устойчив к осаждению частиц, конденсатам и химическим парам, сохраняя высокую точность измерений даже при длительной работе в производственных установках.
Назначение и особенности
CM1E применяется в вакуумных системах, где возможно образование отложений — например, в процессах химического осаждения (CVD), плазменного травления, нанесения покрытий, а также в установках анализа и контроля герметичности. По своим метрологическим характеристикам прибор относится к высокоточному классу, обеспечивая измерение абсолютного давления без зависимости от состава газа, что делает его универсальным инструментом для промышленных и исследовательских задач.
Отличия от модели CM1
- Усиленная защита чувствительного элемента от пыли, аэрозолей и конденсата.
- Повышенная термостабильность и минимизация дрейфа нуля при длительной эксплуатации.
- Опциональный нагрев корпуса 45 °C или 100 °C для предотвращения осаждения паров на мембране.
- Дополнительный внутренний фильтр газового тракта.
- Повышенная долговечность и стабильность показаний при работе в «грязных» процессах травления и напыления.
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Диапазоны измерения | 0,1 / 0,25 / 1 / 2 / 10 / 20 / 100 / 500 / 1000 Торр |
| Тип измерения | Абсолютное давление |
| Погрешность измерений | ±0,25 % от измеряемого значения (типовая); ±0,12 % для диапазонов до 100 Торр |
| Время отклика | < 20 мс |
| Нагрев корпуса | 45 °C или 100 °C (встроенный подогреватель) |
| Температурный коэффициент нуля | 0,002–0,01 % F.S./°C |
| Температурный коэффициент шкалы | 0,02 % показания / °C |
| Питание | ±15 В DC ±5 % |
| Выходной сигнал | 0–10 В DC (нагрузка ≥ 10 кОм) |
| Разъём | DB15 (мужской) |
| Время прогрева | до 2 ч при диапазонах > 1 Торр, до 4 ч при диапазонах < 1 Торр |
| Материалы, контактирующие с газом | Никелевый сплав высокой чистоты, инертный к коррозионным средам |
| Перегрузочная способность | до 310 кПа |
| Присоединения | KF16, KF25, CF16, CF35, 8VCR, 8VCO, 1/2 Tube |
| Рабочая температура окружающей среды | +5…+50 °C |
Принцип работы
CBVAC CM1E измеряет деформацию упругой никелевой мембраны, вызванную давлением газа. Прогиб мембраны изменяет ёмкость между ней и неподвижным электродом. Это изменение фиксируется электроникой, которая преобразует сигнал в линейное напряжение 0–10 В. Встроенный подогрев предотвращает конденсацию газов и стабилизирует температурный фон, что особенно важно при длительной эксплуатации в технологических установках с высокой влажностью или содержанием реагентов.
Преимущества эксплуатации
- Линейный и стабильный аналоговый сигнал без влияния состава газа.
- Высокая повторяемость показаний при длительных циклах.
- Быстрая реакция при изменении давления.
- Долговечная конструкция с полной сварной герметизацией корпуса.
- Надёжная работа при загрязнении среды или наличии частиц пыли.
Применение
Модель CM1E рекомендуется для производственных процессов, где обычные ёмкостные датчики быстро теряют точность из-за отложений или агрессивных газов. Прибор применяется в установках CVD, PVD, плазменного травления, в системах контроля герметичности и научно-исследовательских вакуумных комплексах. Благодаря высокой устойчивости к загрязнениям, CM1E используется лабораторией «Ликлаб» при проведении поверки и аттестации вакуумных систем различного типа.
Калибровка и сервис
Официальную поставку и техническое обслуживание вакуумметров CM1E в России осуществляет Лаборатория контроля герметичности «Ликлаб». Лаборатория проводит первичную и периодическую калибровку, проверку линейности и стабильности сигнала, а также обеспечивает адаптацию приборов под конкретные задачи предприятий в соответствии с нормативами ГОСТ 8.586 и ГОСТ Р 50.05.01–2018.