Вакуумметр Баратрон CBVAC CM1 — высокоточный мембранно-ёмкостный датчик давления
Баратрон CBVAC CM1 — это эталонный мембранно-ёмкостный вакуумметр, обеспечивающий линейное и стабильное измерение абсолютного давления в диапазоне от 0,1 до 1000 Торр. Датчик использует принцип ёмкостного измерения прогиба тонкой никелевой мембраны, что обеспечивает высокую точность, повторяемость и долговременную стабильность независимо от состава газа. Благодаря прочной сварной конструкции из никелевого сплава прибор устойчив к агрессивным средам и способен выдерживать избыточное давление до 310 кПа без деградации характеристик.
Назначение и особенности конструкции
Модель CM1 предназначена для прямого измерения абсолютного давления в вакуумных камерах и технологических системах. Датчик применяется в установках PVD, CVD, ионной имплантации, плазмохимического травления, системах контроля герметичности, вакуумной метрологии и материаловедении. Чувствительный элемент выполнен из радиально натянутой никелевой мембраны, работающей в качестве одной обкладки ёмкостного преобразователя. Электронная схема фиксирует изменение ёмкости при деформации мембраны и формирует линейный аналоговый сигнал 0–10 В.
Основные преимущества вакуумметра CM1
- Независимость показаний от состава и типа газа.
- Высокая точность — до ±0,12 % от измеряемого значения.
- Температурная стабилизация (обычная, 45 °C или 100 °C) для минимизации дрейфа нуля.
- Быстрая реакция — менее 20 мс.
- Коррозионная стойкость и долговечность благодаря никелевому сплаву и полной сварной конструкции.
- Широкий выбор присоединений: KF, CF, VCR, VCO, трубное исполнение.
- Совместимость с цифровыми системами управления — аналоговый выход 0–10 В, интерфейс EtherCAT (опция).
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Диапазоны измерений | 0,1 / 0,25 / 1 / 2 / 10 / 20 / 100 / 500 / 1000 Торр |
| Тип измерения | Абсолютное давление |
| Погрешность | 0,12 % от показания (при 45 °C и выше 0,1 Торр) |
| Время отклика | < 20 мс |
| Температура эксплуатации | 0–50 °C (без подогрева), 15–40 °C (при 45 °C), 15–50 °C (при 100 °C) |
| Температура нагрева | Без подогрева, 45 °C, 100 °C |
| Температурный коэффициент нуля | 0,002–0,02 % F.S./°C в зависимости от диапазона |
| Температурный коэффициент шкалы | 0,02 % показания / °C |
| Выходной сигнал | 0–10 В DC (нагрузка >10 кОм) |
| Питание | ±15 В DC ±5 %, потребление до 0,6 А (макс.) |
| Разъём | DB15 (мужской) |
| Присоединения | KF16, KF25, CF16, CF35, 8VCR, 8VCO, 1/2 Tube, 3/8 VCR |
| Объём внутренней полости | 6,3 см³ |
| Максимальное избыточное давление | 310 кПа |
| Материалы, контактирующие с газом | Никелевый сплав высокой коррозионной стойкости |
| Разрешение | 0,001 % от шкалы |
| Время прогрева | 2 часа (≥1 Торр), 4 часа (<1 Торр) |
Принцип работы
При изменении давления внутри измерительной камеры происходит деформация мембраны, изменяющая электрическую ёмкость между ней и неподвижным электродом. Изменение ёмкости фиксируется прецизионной электроникой, которая формирует линейный аналоговый сигнал. Такая система измерения не зависит от массы молекул газа и позволяет получать точные показания во всём диапазоне — от высокого до среднего вакуума.
Области применения
Вакуумметры серии CM1 применяются в технологических установках для производства полупроводников, микросхем, оптических покрытий, солнечных элементов, а также в установках контроля герметичности, вакуумных испытательных камерах, системах напыления и травления. Высокая стабильность выходного сигнала делает CM1 идеальным для систем автоматического управления процессами, требующих воспроизводимости и долговременной надёжности.
Обслуживание и калибровка в России
Лаборатория контроля герметичности «Ликлаб» является официальным поставщиком и сервисным центром CBVAC в России. Лаборатория выполняет поставку, установку и метрологическую поверку вакуумметров CM1, обеспечивает настройку интерфейсов и интеграцию с системами управления. Все измерительные приборы проходят входной контроль, проверку линейности и стабильности сигнала в соответствии с требованиями ГОСТ 8.586 и ГОСТ Р 50.05.01–2018.