Баратрон CBVAC HM1 — высокоточный вакуумметр с двумя релейными уставками
CBVAC HM1 — это интеллектуальный мембранно-ёмкостный вакуумметр (баратрон) нового поколения, оснащённый двумя программируемыми релейными уставками и системой визуальной индикации состояния. Он обеспечивает измерение абсолютного давления в диапазоне от 1 до 1000 Торр с высокой точностью до ±0,12 % от показания при температуре стабилизации 45 °C и до ±0,25 % для ненагреваемых и высокотемпературных моделей. Конструкция и материалы прибора обеспечивают долговременную стабильность, устойчивость к агрессивным средам и повторяемость результатов в промышленных условиях.
Конструктивные особенности
Чувствительный элемент HM1 представляет собой радиально натянутую никелевую мембрану, формирующую ёмкостной преобразователь. Изменение ёмкости при воздействии давления преобразуется в линейный аналоговый сигнал 0–10 В. Корпус выполнен из коррозионностойкого никелевого сплава с полной сварной герметизацией и встроенным «sump»-фильтром, защищающим мембрану от частиц.
Встроенные два реле уставок (Trip Points) позволяют реализовывать автоматическое управление технологическим процессом — например, переключение насосов, активацию клапанов или сигнализацию о достижении заданного давления. Состояние уставок отображается с помощью двухцветных светодиодов, а тестовые выводы позволяют проводить проверку реле без разборки прибора.
Основные преимущества
- Точность до ±0,12 % от показания при стабилизированной температуре 45 °C.
- Две независимые релейные уставки (0,01–10 В) с индикацией состояния.
- Полностью сварная конструкция из никелевого сплава — исключительная герметичность и стойкость к коррозии.
- Независимость показаний от состава газа — измеряется абсолютное давление.
- Широкий диапазон нагрева: ненагреваемое исполнение, 45 °C или 100 °C.
- Интегрированная защита мембраны от загрязнений и пыли.
- Быстрый отклик (<20 мс) и высокая разрешающая способность (0,001 % от шкалы).
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Диапазоны измерения | 1 / 5 / 10 / 20 / 50 / 100 / 500 / 1000 Торр |
| Тип измерения | Абсолютное давление |
| Точность | ±0,12 % (45 °C), ±0,25 % (ненагреваемый и 100 °C) |
| Разрешение | 0,001 % от полной шкалы |
| Время отклика | < 20 мс |
| Температура подогрева | Ненагреваемый / 45 °C / 100 °C |
| Температурный коэффициент нуля | 0,005 % F.S./°C (без подогрева), 0,002 % F.S./°C (при 45–100 °C) |
| Температурный коэффициент шкалы | 0,02 % от показания / °C |
| Выходной сигнал | 0–10 В DC (нагрузка ≥10 кОм) |
| Питание | ±15 В DC ±5 % (0,075–0,6 А в зависимости от модели) |
| Релейные уставки | Две программируемые (0,01–10 ВDC), 1 А / 30 ВDC или 0,5 А / 30 VAC |
| Электрический разъём | DB15 Male или DB15 + клеммная колодка |
| Присоединения | KF16, KF25, CF16, 8VCR, 1/2 Tube, Mini-CF |
| Рабочая температура | 0…+50 °C (ненагрев.); +15…+50 °C (нагрев 45–100 °C) |
| Перегрузочная способность | 310 кПа |
| Материалы, контактирующие с газом | Коррозионностойкий никелевый сплав |
| Время прогрева | 2 часа (только для нагреваемых моделей) |
Принцип работы
Давление в измерительной линии вызывает упругую деформацию мембраны. Изменение ёмкости между мембраной и электродом преобразуется электроникой в линейный сигнал. При необходимости прибор подогревается до 45 или 100 °C для стабилизации характеристик и исключения влияния влаги. Две релейные линии управления могут работать как в режиме сигнализации, так и для управления исполнительными устройствами — клапанами, насосами, вакуумными затворами и т. п.
Отличие от других моделей CBVAC
В отличие от CM1 (базовая модель) и DM1 (с внешней установкой нуля), HM1 оснащён встроенными релейными уставками с индикацией состояния. Это делает его удобным для интеграции в автоматизированные системы управления вакуумом без необходимости внешних контроллеров. Модель HM1 — промежуточное решение между лабораторными баратронами (DM1, EM1) и промышленными манометрами MM1 для высокотемпературных процессов.
Области применения
Баратрон HM1 применяется в системах управления вакуумными процессами, требующими автоматического контроля давления: в установках PVD, CVD, PECVD, в производстве полупроводников и оптических покрытий, в вакуумных испытательных стендах, системах контроля герметичности и промышленных линиях тонкоплёночных технологий.
Поставка и сервис
Лаборатория контроля герметичности «Ликлаб» (Leaklab) является официальным дистрибьютором и сервисным центром CBVAC в России. «Ликлаб» выполняет поставку, установку, калибровку и поверку баратронов HM1 в соответствии с ГОСТ 8.586 и ГОСТ Р 50.05.01–2018. Также лаборатория оказывает методическую поддержку при внедрении приборов в технологические процессы и обеспечивает их метрологическое сопровождение в течение всего срока службы.