Баратрон CBVAC EM1 — прецизионный мембранно-ёмкостный вакуумметр с цифровым управлением
CBVAC EM1 — это высокоточный мембранно-ёмкостный вакуумметр нового поколения, разработанный для научных и промышленных применений, где требуется максимальная стабильность, цифровая интеграция и удобство эксплуатации. Прибор обеспечивает измерение абсолютного давления в диапазоне от 0,1 до 1000 Торр с точностью до ±0,12 % от показания и оснащён современным цифровым интерфейсом для удалённого мониторинга и управления.
Как и другие баратроны CBVAC, модель EM1 основана на принципе измерения ёмкости между упругой никелевой мембраной и неподвижным электродом. Однако в отличие от классических аналоговых моделей (CM1, DM1), вакуумметр EM1 имеет встроенную цифровую электронику, микропроцессорное управление, интерфейс RS-485/Modbus и интеллектуальную систему температурной стабилизации.
Отличительные особенности
- Цифровой интерфейс RS-485 / Modbus RTU — обеспечивает прямую интеграцию с промышленными системами управления, контроллерами и ПК без внешних преобразователей.
- Интеллектуальная термостабилизация — автоматическая поддержка температуры корпуса на уровне 45 °C или 100 °C, обеспечивающая минимальный дрейф нуля и стабильность калибровки.
- Локальная и удалённая калибровка — программная функция коррекции нуля и шкалы без демонтажа прибора.
- Высокая точность и быстродействие — аналогичный измерительный модуль, но с цифровой обработкой сигнала и уменьшением шумов.
- Встроенная защита от перегрева и перенапряжения — электронные схемы автоматически контролируют термодинамическое состояние корпуса.
Принцип работы
EM1 использует измерительный модуль типа «capacitive diaphragm» (ёмкостная мембрана). Давление вызывает микроскопическое отклонение никелевой мембраны, изменяя ёмкость между ней и неподвижным электродом. Электронная схема преобразует это изменение в цифровой сигнал, который затем обрабатывается микропроцессором. Результаты измерений передаются в аналоговом виде (0–10 В) и в цифровом — через интерфейс RS-485.
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Диапазоны измерения | 0,1 / 0,25 / 1 / 2 / 10 / 20 / 100 / 500 / 1000 Торр |
| Тип измерения | Абсолютное давление |
| Погрешность измерений | ±0,12 % от показания (1–1000 Торр); ±0,15 % (0,1–0,25 Торр) |
| Время отклика | < 20 мс |
| Нагрев корпуса | 45 °C или 100 °C (интеллектуальный PID-контроль) |
| Температурный коэффициент нуля | 0,002 % F.S./°C (1–1000 Торр) |
| Температурный коэффициент шкалы | 0,02 % от показания / °C |
| Разрешение | 0,001 % от шкалы |
| Питание | ±15 В DC или 24 В DC (в зависимости от конфигурации) |
| Выходной сигнал | 0–10 В аналоговый + цифровой RS-485 (Modbus RTU) |
| Электрический разъём | DB15 (аналог) + разъём RS-485 (цифровой) |
| Время прогрева | 2 ч (≥1 Торр), 4 ч (<1 Торр) |
| Перегрузочная способность | 310 кПа |
| Материалы, контактирующие с газом | Никелевый сплав высокой чистоты, полностью сварная герметизация |
| Присоединения | KF16, KF25, CF16, CF35, 8VCR, 8VCO, 1/2 Tube |
| Рабочая температура | +15…+50 °C |
Отличие от других моделей CBVAC
CM1 — базовая модель, аналоговый выход, без цифровых интерфейсов.
DM1 — аналоговая версия с внешней установкой нуля и улучшенной термостабилизацией.
EM1 — цифровая версия с интерфейсом RS-485, функцией удалённой калибровки и интеллектуальной системой стабилизации температуры.
Области применения
Вакуумметры EM1 используются в процессах PVD, CVD, PECVD, плазменного травления, нанесения покрытий, в системах контроля герметичности и научно-исследовательских установках. Благодаря цифровому интерфейсу и высокой точности EM1 широко применяется в автоматизированных производственных линиях, вакуумных стендах и установках метрологического контроля.
Поставка и сервис в России
Лаборатория контроля герметичности «Ликлаб» является официальным дистрибьютором и сервисным центром CBVAC в России. Лаборатория выполняет поставку, установку, калибровку и поверку ёмкостных вакуумметров серий CM1, DM1 и EM1. Поверка проводится в соответствии с требованиями ГОСТ 8.586 и ГОСТ Р 50.05.01–2018. Специалисты «Ликлаб» обеспечивают методическую поддержку, подбор диапазонов и адаптацию приборов к промышленным системам управления.