Баратрон CBVAC DM1 — высокоточный мембранно-ёмкостный вакуумметр с внешней установкой нуля
Баратрон DM1 предназначен для прямого измерения абсолютного давления в диапазоне 0,1…1000 Торр с высокой метрологической стабильностью и линейным аналоговым выходом 0–10 В. Чувствительный элемент — радиально натянутая никелевая мембрана — образует ёмкостной преобразователь; прогиб мембраны под действием давления преобразуется в напряжение, пропорциональное давлению. Полностью сварная конструкция и материалы, контактирующие с газом, из коррозионностойкого никелевого сплава обеспечивают устойчивость к агрессивным средам и долговременную воспроизводимость показаний.
Ключевые отличия DM1
Модель DM1 относится к классу «промышленных» баратронов с расширенной функциональностью для технологических линий. В сравнении с CM1 в DM1 реализованы:
— внешний вход установки нуля (External Zero) для оперативной корректировки без демонтажа датчика;
— улучшенная термостабилизация (45 °C или 100 °C) с прецизионной электроникой управления подогревом;
— интегрированный «sump»/ловушка для защиты мембраны от частиц;
— иной сервисный интерфейс: разъём DB9 (у CM1 — DB15), что упрощает встраивание в компактные стойки и шкафы;
— унифицированные присоединения процессного порта (KF/CF/VCR/VCO/трубное) для быстрой смены конфигурации.
Точность и стабильность
Баратрон DM1 обеспечивает погрешность ±0,12 % от показания для диапазонов 1…1000 Торр при нагреве 45 °C или 100 °C. Для диапазонов 0,25 и 0,1 Торр типовая погрешность составляет ±0,15 % от показания. Нулевой дрейф подавлен за счёт подогрева и оптимальной схемотехники: температурный коэффициент нуля не более 0,002 % F.S./°C (для 1…1000 Торр). Разрешение — 0,001 % от шкалы; время отклика — менее 20 мс.
Принцип работы и конструкция
Давление на входном фланце вызывает упругий прогиб никелевой мембраны. Изменение зазора между мембраной и неподвижным электродом приводит к изменению электрической ёмкости, регистрируемому измерительным мостом. Дальнейшая обработка формирует линейный аналоговый сигнал 0–10 В (нагрузка ≥10 кОм). Корпус и чувствительный элемент выполнены как полностью сварной блок, допускающий кратковременные перегрузки по давлению до 310 кПа без деградации характеристик. Встроенный подогрев поддерживает стабильный тепловой режим (45 °C либо 100 °C) и предотвращает конденсацию побочных продуктов процесса.
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Диапазоны измерения (полная шкала) | 0,1 / 0,25 / 1 / 2 / 10 / 20 / 100 / 1000 Торр |
| Тип измерения | Абсолютное давление (независимо от состава газа) |
| Погрешность | ±0,12 % от показания (1…1000 Торр при 45 °C или 100 °C); ±0,15 % (0,25; 0,1 Торр) |
| Разрешение | 0,001 % от полной шкалы |
| Время отклика | < 20 мс |
| Температура подогрева | 45 °C или 100 °C |
| Темп. коэф. нуля | 0,002 % F.S./°C (1…1000 Торр); 0,005…0,01 % F.S./°C для 0,25; 0,1 Торр |
| Темп. коэф. шкалы | 0,02 % от показания / °C |
| Выходной сигнал | 0–10 В DC (нагрузка ≥10 кОм) |
| Питание | ±15 В DC ±5 % (потребление до 0,25 А при 45 °C и до 0,6 А при 100 °C) |
| Электрический разъём | DB9 (мужской); вход внешнего нуля доступен |
| Процессные присоединения | KF16, KF25, CF16, CF35, 8VCR, 8VCO, 1/2 Tube |
| Перегрузочная способность | до 310 кПа |
| Материалы, контактирующие с газом | Никелевый сплав высокой коррозионной стойкости |
| Рабочая температура окружения | +15…+40 °C (при 45 °C); +15…+50 °C (при 100 °C) |
| Время прогрева | 2 ч (≥1 Торр); 4 ч (<1 Торр) |
| Защита мембраны | Интегрированный sump/уловитель частиц |
Области применения
Процессы PVD/CVD/PECVD, плазмохимическое травление, ионная имплантация, вакуумное напыление оптических покрытий, испытательные стенды контроля герметичности, метрологические стенды и калибровочные установки. Независимость показаний от состава газа упрощает управление технологическими режимами и переходами между различными рабочими смесями.
Интеграция и эксплуатация
Баратрон DM1 допускает произвольную ориентацию монтажа (для диапазонов ≥1 Торр), поддерживает удалённую установку нуля, быстро выходит на режим стабильности после прогрева и обеспечивает повторяемость на уровне лабораторной метрологии при промышленной надёжности. Рекомендуется прокладывать кабели сигнальной цепи отдельно от силовых, заземлять экран со стороны принимающего контроллера и соблюдать тепловые зазоры для эффективного отвода тепла от подогреваемого корпуса.
Поставка, калибровка и сервис в России
Лаборатория контроля герметичности «Ликлаб» осуществляет поставку, введение в эксплуатацию и метрологическое обслуживание баратронов CBVAC. Выполняются первичная настройка, поверка/калибровка по ГОСТ 8.586, методическая поддержка интеграции (схемы подключения, выбор диапазона, рекомендации по установке) и сервисное сопровождение в течение жизненного цикла оборудования.