Описание
Магниторазрядный насос 2L-25 (22 л/с, 7×10⁻⁸ Па)
Магниторазрядный насос 2L-25 — компактный безмасляный высоковакуумный агрегат для создания чистого вакуума в научных и технологических установках. Конструкция без подвижных частей исключает вибрации и маслозагрязнение, обеспечивает устойчивую работу в закрытой схеме и достижение предельного давления порядка 7×10⁻⁸ Па при типовой быстроте откачки по азоту 22 л/с. Насос применяется как основной элемент безмасляной установки СВВ или как завершающая ступень после турбомолекулярного насоса при подготовке чувствительных измерительных объёмов.
Принцип действия и конструкция
Рабочий объём формирует плазму низкого давления в пересекающихся электрическом и магнитном полях. Анод выполнен в виде стального барабана, катод — титановые пластины. Электроны циркулируют в магнитном поле, многократно ионизуют газ, а положительные ионы, ускоряясь к катоду, распыляют титан. Свежеосаждённый титановый слой химически связывает активные газы, а ионное внедрение обеспечивает захоронение инертных компонентов. После вывода на режим насос функционирует в замкнутом объёме и не требует постоянной подкачки, достаточно обеспечить стартовое давление форвакуумом.
Инженерные преимущества
Отсутствие масла в тракте исключает углеводородный фон и повышает воспроизводимость измерений. Прогрев до 200 °C с магнитами и до 300 °C без магнитов ускоряет десорбцию влаги и остаточных газов, сокращая время выхода на режим. Геометрия и магнитная конфигурация 2L-25 обеспечивают стабильное зажигание разряда при рекомендованном стартовом давлении и высокий ресурс катодов при корректной термовакуумной обработке.
Применение
Насос 2L-25 используется в системах анализа поверхности, электронных микроскопах и масс-спектрометрах, в исследовательских камерах, эталонных объёмах и стендах контроля герметичности, где требуется чистый и низкий фон без масляных примесей. Компактные габариты и присоединение CF35 упрощают монтаж непосредственно на камеру или через короткий высокопроводящий тракт.
Практика Ликлаб
Лаборатория Ликлаб внедряет 2L-25 в состав высоковакуумных участков стендов течеискания и метрологических камер, выполняет термовакуумную подготовку, подбор режимов питания разряда и оформление протоколов с фактическим достигнутым давлением. В проектах с повышенной долей инертных газов применяются технологические карты с программным прогревом и титановым подпылом для ускорения стабилизации фона. Все поставки сопровождаются входным контролем, проверкой HV-блока питания и рекомендациями по интеграции с форвакуумной линией.
Технические характеристики 2L-25
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Присоединительный фланец | CF35 |
| Быстрота откачки по N₂ | 22 л/с |
| Быстрота откачки по Ar | 0,3 л/с |
| Стартовое давление | ≤5×10⁻⁴ Па |
| Предельное давление | ≤7×10⁻⁸ Па |
| Макс. температура прогрева (с магнитами) | <200 °C |
| Макс. температура прогрева (без магнитов) | <300 °C |
| Рабочее напряжение анода | ≈7 кВ |
| Количество электродных блоков | 1 |
| Габариты (Д×Ш×В) | 222×121×161 мм |
| Масса | ≈8 кг |
| Нагревательный кожух | не предусмотрен |
| Блок питания | в комплекте |
Рекомендации по интеграции
Для минимизации времени выхода на режим рекомендуется короткий тракт с высокой проводимостью на CF35, прогрев камеры и насоса по ступенчатому профилю до 150–200 °C, форвакуумный насос с низким обратным натёком, а также контроль утечек течеискателем до уровня ниже 1×10⁻⁹ Па·м³/с. При эксплуатации в линиях с инертными компонентами целесообразна периодическая регенерация активной поверхности катодов через технологический подпыл титана.
Сопоставление с моделями ряда
При необходимости большей быстроты откачки сохраняются общие принципы работы и ограничения: модели 2L-50 (65 л/с, ≤7×10⁻⁸ Па), 2L-100 (120 л/с, ≤7×10⁻⁸ Па), 2L-200C (220 л/с, ≤1×10⁻⁸ Па) и 2L-400C (450 л/с, ≤1×10⁻⁸ Па) комплектуются согласованными HV-блоками, а исполнение «C» оснащается кожухом нагрева для ускоренной термовакуумной подготовки.