Описание
Магниторазрядный насос 2L-400C (450 л/с, 1×10⁻⁸ Па)
Диодный магниторазрядный насос 2L-400C предназначен для получения чистого высоковакуума без маслозагрязнений и механических вибраций. Катодно-анодная система с титановыми пластинами обеспечивает устойчивый разряд; распылённый титан формирует активную плёнку, связывающую реакционноспособные компоненты газовой фазы. Насос работает в замкнутом контуре и после выхода на режим не требует постоянной подкачки, что критично для длительных технологических циклов.
Модель ориентирована на крупнообъёмные камеры, источники ионов, системы напыления и испытательные стенды, где важны низкая дегазация, стабильность давления на уровне 10⁻⁸ Па и устойчивость к тяжелым газовым нагрузкам. Для инертных компонентов применяются регламентированные режимы прогрева и регенерации активной поверхности.
Интеграция в проектах лаборатории Ликлаб
Ликлаб внедряет 2L-400C как финальную ступень довыкачки за турбомолекулярным насосом, проводит термовакуумную подготовку узла, настройку ВВ-питания, контроль токов разряда и документирование достигнутых параметров по внутренним методикам, согласованным с требованиями ГОСТ Р 50.05.01-2018. Для линий с повышенной долей инертных газов применяются карты прогрева и сервисной регенерации.
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Быстрота откачки по N₂ | 450 л/с |
| Быстрота откачки по Ar | ≈45 л/с |
| Предельное давление | ≤1×10⁻⁸ Па |
| Стартовое давление | ≤5×10⁻⁴ Па |
| Присоединительный фланец | CF150 |
| Максимальная температура прогрева (с/без магнитов) | <200 °C / <300 °C |
| Нагревательный кожух | в комплекте |
| Блок питания | в комплекте |
| Габариты (ориентир) | ≈500×265×600 мм |
| Масса (ориентир) | ≈153 кг |
| Диапазон по шаблону | (450 л/с, 1×10⁻⁸ Па) |
Инженерные примечания по тяжёлым газам
Для тяжёлых и инертных компонентов эффективна минимизация гидравлического сопротивления тракта (короткий CF-шлейф), пошаговый прогрев камеры до 150–200 °C и периодическое восстановление титана; при переменной нагрузке рекомендуется мониторинг токов разряда с автоматическим ограничением.