Справочная информация по вакуумной технике

В целях получения общего представления о зависимости между геометрическим размером отверстия и соответствующей скоростью утечки можно использовать следующую грубую оценку.

Измерение давления в вакууме имеет свои особенности и требует квалифицированного подхода и должного уровня вакуумной гигиены.

Одной из особенностей измерения давления в вакууме является то, что стандартные методы измерения, используемые для атмосферного давления, не могут быть применены в вакуумных условиях. Для измерения давления в вакууме применяются специальные устройства, называемые вакуумметрами. Существует несколько типов вакуумметров, которые широко используются в промышленности.

Поток газа в Международной системе единиц измерения СИ задается в Па·м3/c. Поток течи Q = 1 Па·м3/с наблюдается, когда в закрытом, вакуумированном изделии объемом 1 м3 давление повышается на 1 Па в секунду. Соотношение определено при разнице давления между внешней и внутренней стенками изделия в одну атмосферу для газа – воздуха, проникающего внутрь при нормальных условиях, при температуре 25 градусов Цельсия. Подобным же соотношением можно определить скорость утечки рабочего газа из заполненного изделия при наличии в нем определенного дефекта.