Сканирующий электронный микроскоп KYKY EM-8100

Сканирующий электронный микроскоп KYKY EM-8100

KYKY EM-8100 относится к классу автоэмиссионных сканирующих электронных микроскопов с полевой эмиссией и электронной пушкой на катоде типа Шоттки. Конструкция и программная часть ориентированы на получение высококонтрастных изображений поверхности, измерение линейных размеров в плоскости XY и проведение аналитических исследований на микро- и наноуровне. Модель применяется при исследовании металлов, керамик, полупроводников, композитов, полимеров и биологических объектов, включая непроводящие материалы при работе на малых ускоряющих напряжениях.

Электронная пушка Шоттки обеспечивает высокую яркость и хорошую монохроматичность пучка при малом размере зонда и долговременной стабильности эмиссии. Благодаря этому достигается высокая разрешающая способность как в режиме вторичных электронов, так и в режиме обратно отражённых электронов, а также минимизируется разброс по энергии, что важно для количественных аналитических методов. Реализована возможность ускорения и торможения пучка на столике образцов, что расширяет диапазон режимов наблюдения при низких напряжениях и снижает зарядовые эффекты на диэлектриках.

Вакуумная система микроскопа построена на сочетании ионного, турбомолекулярного и ротационного насосов с дополнительным геттерным насосом, что обеспечивает быстрое достижение рабочего вакуума, низкий фон остаточных газов и стабильные условия для длительных серий анализа. Конфигурация вакуумных режимов допускает наблюдение непроводящих и слабо проводящих образцов при пониженных напряжениях с сохранением качества изображения.

Система детектирования включает высоковакуумный детектор вторичных электронов (SE) с защитой входного узла от загрязнений и перегрузок, а также полупроводниковый четырёхсегментный детектор обратно отражённых электронов (BSE), позволяющий получать топографическую и композиционную информацию и выполнять картирование неоднородностей. Архитектура интерфейсов предусматривает установку аналитических модулей EDS, EBSD, CL, WDS и других специализированных систем, а также внешней CCD-камеры и установок напыления для подготовки образцов в едином рабочем цикле.

Пятиосевой эуцентрический моторизованный столик обеспечивает позиционирование образцов с большими габаритами, включая диски и сборки диаметром до 340 мм, с автоматическим перемещением по координатам X, Y, Z, поворотом R на полный круг и наклоном T до +75°. Эуцентрическая геометрия повышает точность переходов между режимами и масштабами, что особенно важно при серийных измерениях и при привязке областей анализа к координатам образца.

EM-8100Pro

Модификация EM-8100Pro является флагманским исполнением серии EM-8100. В данной версии достигается разрешение 1,5 нм при 15 кВ в режиме SE, что делает прибор эффективным для задач сверхвысокого увеличения и наблюдения слабоконтрастных наноструктур. Комплекс вакуумных и электронно-оптических режимов в версии Pro рассчитан на работу с биологическими и другими непроводящими образцами, а также на проведение длительных исследований со стабильным током пучка и воспроизводимой геометрией сканирования.

Технические характеристики

Области применения

KYKY EM-8100 и EM-8100Pro предназначены для научных исследований, промышленного контроля и инженерного анализа. Наиболее характерные задачи включают морфологию и фрактографию материалов, контроль микроструктуры и фазового состава, анализ дефектов в полупроводниковых структурах и покрытиях, исследование пористости и распределения частиц в порошках, а также комплексный химический и кристаллографический анализ при использовании EDS и EBSD. Возможность работы с крупными образцами расширяет применение прибора в металлургии, аддитивном производстве и при контроле изделий сложной формы.