Вакуумные затворы с пневматическим приводом серии CCQ

Вакуумные затворы с пневматическим приводом серии CCQ предназначены для применения в автоматизированных вакуумных установках, где требуется быстрое и повторяемое переключение потоков без участия оператора, при этом должны сохраняться параметры сверхвысокого вакуума и минимальной собственный утечки. Конструкция серии CCQ выполнена на базе тонкопрофильных затворов для UHV и адаптирована под приводы с пневматическим управлением, что позволяет использовать их в составе технологических линий, откачных постов, гелиевых течеискательных установок, плазменных и напылительных комплексов, а также в системах, где предусмотрено частое открытие и закрытие клапанов по сигналу от контроллера.

Основные элементы затворов изготовлены из нержавеющей стали: корпус и запорная пластина выполняются из стали 304, а узел привода и элементы, взаимодействующие с давлением привода, изготавливаются из стали 316L. Такое сочетание обеспечивает высокую коррозионную стойкость, стабильность размеров при нагреве и возможность эксплуатации в системах, проходящих вакуумный прогрев. Герметизация запорного органа выполнена на основе фторэластомерного уплотнения с низкой газопроницаемостью, благодаря чему затворы удерживают уровень утечек не хуже 1,3×10⁻¹⁰ Па·м³/с во всём рабочем диапазоне давлений 10⁵–10⁻⁷ Па.

Присоединительные размеры серии унифицированы под фланцы ISO-K/ISO-F и CF, что позволяет устанавливать один и тот же тип затвора как в стандартные вакуумные магистрали аппаратурного вакуума, так и в линии сверхвысокого вакуума научных установок. Номенклатура включает типоразмеры от DN35 до DN400, при этом для всех диаметров поддерживаются одинаковые вакуумные характеристики, одинаковые температуры нагрева (до 150 °C) и одинаковые требования к монтажу (установка в любом положении без потери герметичности). Это важно при компоновке вертикальных и потолочных трасс, где невозможно обеспечить строго горизонтальный монтаж.

Пневматический привод рассчитан на работу от сжатого воздуха или инертного газа с давлением от 0,3 до 0,7 МПа в зависимости от типоразмера. Более крупные клапаны (DN250 и выше) требуют большего рабочего давления, что связано с увеличенной площадью запорной пластины. При этом скорость хода сохраняется практически постоянной и не оказывает отрицательного влияния на вакуумную магистраль. В затворы встроена магнитная индикация положения, которая позволяет фиксировать состояние клапана и передавать информацию в систему управления вакуумной установкой, что особенно важно при организации блокировок по состоянию арматуры и при каскадном пуске насосов.

Серия CCQ специально ориентирована на те случаи, когда число циклов открытия и закрытия значительно превышает ресурс ручных клапанов. Пневматическое управление исключает человеческий фактор и обеспечивает одинаковое прижимное усилие при каждом закрытии, за счёт чего сохраняется стабильность контактного давления в зоне уплотнения и не происходит прогрессирующего роста утечек. Это делает серию CCQ пригодной для применения в гелиевых течеискательных комплексах и установках контроля герметичности, где собственная утечка арматуры не должна искажать показания течеискателя.

Технические характеристики

Область использования

Вакуумные затворы с пневмоприводом серии CCQ целесообразно применять в тех системах, где цикл откачки и вентиляции управляется контроллером, где требуется перекрывать магистрали при аварийном росте давления, где проводится серийное гелиевое течеискание и недопустимо ручное вмешательство, а также где линии работают в условиях частых переключений. За счёт магнитной индикации положения клапана обеспечивается надёжная передача сигнала на систему управления и контроль корректного состояния арматуры перед включением высоковакуумных насосов.