Вакуумные затворы с ручным приводом серии CC

Вакуумные затворы с ручным приводом серии CC относятся к классу ультратонких запорных устройств для высоко- и сверхвысоковакуумных систем и предназначены для установки в магистрали, где требуется гарантированное перекрытие потока при минимальном собственном газовыделении и стабильной геометрии прохода. Конструкция затвора выполнена на основе классической схемы плоского запорного элемента с прямым ручным приводом, при этом запорная часть и корпус изготавливаются из коррозионностойкой нержавеющей стали 304, а узел передачи усилия на клапан выполнен из сварного мембранного объема из стали 316L. Такое сочетание материалов позволяет использовать затворы в UHV-системах, подвергаемых циклическому вакуумному прогреву до 150 °C.

Герметизация запорной пластины осуществляется фторэластомерным уплотнением с низкой газовой проницаемостью (тип FKM/Viton), что обеспечивает достижение и удержание уровней утечки не хуже 1,3×10⁻¹⁰ Па·м³/с в типовом рабочем диапазоне давлений от 10⁵ до 10⁻⁷ Па. Применение мембранного привода исключает выход штока в атмосферу и тем самым устраняет один из наиболее распространенных путей подсоса воздуха в вакуумную систему. Ручной привод выбран как наиболее надежный для лабораторных, сервисных и метрологических установок, где требуется фиксировать положение затвора и визуально контролировать его состояние.

Затворы серии CC могут использоваться в качестве переключающих элементов в сверхвысоковакуумных линиях, на входе и выходе вакуумных камер, в составе откачных постов и вакуумных измерительных стендов. Они применимы в установках напыления, ионно-плазменных технологиях, в составе стендов контроля герметичности, а также в системах течеискания, в том числе при работе с гелием, когда к запорной арматуре предъявляются требования по крайне низкому фоновому уровню утечек. Допустимая рабочая среда — воздух и неагрессивные газы.

Конструкция затворов компактна, толщина корпуса минимальна, что упрощает встраивание в существующие вакуумные трассы без изменения длины трубопровода. Затворы допускают монтаж в любом пространственном положении, не требуют ориентации по гравитации и не создают дополнительных вибраций при переключении. Механическая индикация положения клапана позволяет однозначно определить состояние «открыт/закрыт» без применения датчиков положения.

Конструктивное исполнение и типоразмеры

Серия включает десять типоразмеров, охватывающих диапазон условного прохода от DN35 до DN400. Для всех моделей применяются одинаковые присоединительные стандарты: CF, ISO-F и ISO-K, что обеспечивает совместимость с типовыми вакуумными фланцами научных и промышленных установок. Рабочий диапазон давлений и предельно допустимая утечка одинаковы для всех типоразмеров, что облегчает проектирование вакуумных систем с разнородными диаметрами.

Особенности эксплуатации

Благодаря применению нержавеющих материалов и эластомерного уплотнения с низкой проницаемостью серия CC может использоваться в составе вакуумных установок, где дополнительно применяются гелиевые течеискатели для приемо-сдаточных испытаний. Такой затвор не вносит в систему дополнительный фоновый сигнал и не ограничивает достижимое давление. Возможность прогрева до 150 °C позволяет удалять из корпуса и уплотнений адсорбированную влагу и газы перед высокочувствительными испытаниями.

Серия рассчитана на применение в научных и промышленных вакуумных системах, в оборудовании для напыления и ионной обработки, в линиях испытаний на герметичность, в том числе по ГОСТ Р 50.05.01-2018 и по международным требованиям ISO для UHV. Компактность и унификация по фланцам упрощают поставку и замену затворов в составе действующих установок.