Прямоугольный высоковакуумный затвор GCQ с пневматическим приводом, утечкой менее 6,7×10⁻¹⁰ Па·м³/с и диапазоном 10⁵–10⁻⁵ Па. Демпфированная конструкция, магнитная индикация, рабочее давление 0,5–0,7 МПа, возможность изготовления по размерам заказчика и поставки фланцев с водяным охлаждением. Подходит для прямоугольных вакуумных камер и автоматизированных систем.
Описание
Прямоугольный высоковакуумный затвор GCQ
Прямоугольные высоковакуумные затворы серии GCQ предназначены для установки в вакуумные системы, в которых требуется перекрытие плоского (прямоугольного) сечения канала при сохранении высокого уровня герметичности и стабильных параметров откачки. Такой тип арматуры используется там, где по технологическим, конструктивным или компоновочным причинам невозможно применить стандартные круглые затворы под CF/ISO-K/ISO-F, например в прямоугольных вакуумных камерах, в установках с линейным или щелевым напылением, в транспортных вакуумных шлюзах, а также в оборудовании для обработки крупногабаритных или плоских изделий. Серия GCQ спроектирована для работы в диапазоне давлений 10⁵–10⁻⁵ Па и соответствует требованиям к малой утечке для высоковакуумных линий.
Основной особенностью затвора GCQ является применение специальной демпфирующей (антивибрационной) конструкции привода и системы перемещения пластины. За счёт этого при открытии и закрытии клапана практически отсутствуют ударные нагрузки на корпус и фланцевые соединения, снижается акустический шум и вибрации не передаются на вакуумную установку. Это особенно важно для установок, оснащённых прецизионными измерительными датчиками, ионными или магниторазрядными источниками, а также для линий, где вибрация может ухудшать повторяемость технологического процесса.
Конструктивно затвор представляет собой металлический корпус прямоугольного сечения с направляющими и подвижной запорной пластиной. Пластина перемещается в плоскости канала и полностью перекрывает проход. Привод выполнен пневматическим, рассчитан на рабочее давление 0,5–0,7 МПа и обеспечивает надёжное прижатие пластины по всему периметру. Пневмопривод выбран как наиболее технологичный для часто повторяющихся циклов, что делает GCQ пригодным для автоматизированных линий и для работы под управлением ПЛК. Встроенная магнитная индикация положения позволяет контролировать состояния «открыто» и «закрыто» и выдавать сигнал в систему управления вакуумной установкой.
В качестве материала корпуса и несущих элементов используется нержавеющая сталь с коррозионной стойкостью, достаточной для эксплуатации в составе промышленных вакуумных комплексов. Конструкция допускает изготовление фланцев по техническому заданию заказчика, включая специальные присоединения, переход с прямоугольного сечения на круглый фланец, а также изготовление водоохлаждаемого фланца в случаях, когда затвор устанавливается близко к источнику тепла или плазмы. Возможность индивидуального подбора размера проёма и присоединений делает GCQ универсальным решением для интеграции в нестандартные и опытные установки.
Затвор рассчитан на эксплуатацию с возможностью вакуумного прогрева. При открытом состоянии допускается температура до 150 °C, при закрытом — до 120 °C. Такой режим обеспечивает дегазацию и удаление влаги с внутренних поверхностей перед высокочувствительными измерениями или перед работой с чистыми процессами. Конструкция клапана и применяемые уплотнительные элементы обеспечивают утечку меньше 6,7×10⁻¹⁰ Па·м³/с, что для прямоугольного запорного узла является высоким показателем и позволяет использовать GCQ не только в технологических, но и в измерительных вакуумных линиях.
Рекомендуемое установочное положение — горизонтальное расположение корпуса или положение с пневмоцилиндром вверх. Это обеспечивает правильный отвод конденсата, стабильность хода и удобство подключения управляющей пневмолинии. При этом сам клапан проектируется с учётом минимальной строительной высоты и возможностью монтажа в ограниченном пространстве, что характерно для плоских камер и вакуумных коробов.
Технические параметры
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Тип | GCQ высоковакуумный прямоугольный затвор |
| Присоединительные фланцы | по заказу, возможны варианты с водяным охлаждением |
| Условный (прямоугольный) проход | по заказу, изготавливается под размеры камеры/канала |
| Диапазон применения | 10⁵ – 10⁻⁵ Па |
| Максимальная утечка | < 6,7×10⁻¹⁰ Па·м³/с |
| Привод | пневматический |
| Рабочее давление пневмопривода | 0,5 – 0,7 МПа |
| Индикация положения | магнитный датчик (открыто/закрыто) |
| Температура выпечки (отжиг), открыто | до 150 °C |
| Температура выпечки, закрыто | до 120 °C |
| Рекомендуемое положение монтажа | корпус горизонтально или цилиндр вверх |
| Особенности | сниженная вибрация и шум, высокая повторяемость, возможность исполнения под заказ |
Область применения
Прямоугольные пневмозатворы GCQ применяются в транспортных и шлюзовых вакуумных системах с прямоугольным окном, в линиях плазменной и ионной обработки, в установках нанесения покрытий на листовые и стеклянные подложки, в вакуумных испытательных камерах прямоугольной формы, а также в составе высоковакуумных стендов, разрабатываемых под конкретный технологический процесс. В системах контроля герметичности и гелиевого течеискания GCQ может использоваться как запорный или разделительный клапан, при этом собственная утечка затвора не вносит заметного фона в измерение.