Прямоугольный высоковакуумный затвор GCQ

Прямоугольные высоковакуумные затворы серии GCQ предназначены для установки в вакуумные системы, в которых требуется перекрытие плоского (прямоугольного) сечения канала при сохранении высокого уровня герметичности и стабильных параметров откачки. Такой тип арматуры используется там, где по технологическим, конструктивным или компоновочным причинам невозможно применить стандартные круглые затворы под CF/ISO-K/ISO-F, например в прямоугольных вакуумных камерах, в установках с линейным или щелевым напылением, в транспортных вакуумных шлюзах, а также в оборудовании для обработки крупногабаритных или плоских изделий. Серия GCQ спроектирована для работы в диапазоне давлений 10⁵–10⁻⁵ Па и соответствует требованиям к малой утечке для высоковакуумных линий.

Основной особенностью затвора GCQ является применение специальной демпфирующей (антивибрационной) конструкции привода и системы перемещения пластины. За счёт этого при открытии и закрытии клапана практически отсутствуют ударные нагрузки на корпус и фланцевые соединения, снижается акустический шум и вибрации не передаются на вакуумную установку. Это особенно важно для установок, оснащённых прецизионными измерительными датчиками, ионными или магниторазрядными источниками, а также для линий, где вибрация может ухудшать повторяемость технологического процесса.

Конструктивно затвор представляет собой металлический корпус прямоугольного сечения с направляющими и подвижной запорной пластиной. Пластина перемещается в плоскости канала и полностью перекрывает проход. Привод выполнен пневматическим, рассчитан на рабочее давление 0,5–0,7 МПа и обеспечивает надёжное прижатие пластины по всему периметру. Пневмопривод выбран как наиболее технологичный для часто повторяющихся циклов, что делает GCQ пригодным для автоматизированных линий и для работы под управлением ПЛК. Встроенная магнитная индикация положения позволяет контролировать состояния «открыто» и «закрыто» и выдавать сигнал в систему управления вакуумной установкой.

В качестве материала корпуса и несущих элементов используется нержавеющая сталь с коррозионной стойкостью, достаточной для эксплуатации в составе промышленных вакуумных комплексов. Конструкция допускает изготовление фланцев по техническому заданию заказчика, включая специальные присоединения, переход с прямоугольного сечения на круглый фланец, а также изготовление водоохлаждаемого фланца в случаях, когда затвор устанавливается близко к источнику тепла или плазмы. Возможность индивидуального подбора размера проёма и присоединений делает GCQ универсальным решением для интеграции в нестандартные и опытные установки.

Затвор рассчитан на эксплуатацию с возможностью вакуумного прогрева. При открытом состоянии допускается температура до 150 °C, при закрытом — до 120 °C. Такой режим обеспечивает дегазацию и удаление влаги с внутренних поверхностей перед высокочувствительными измерениями или перед работой с чистыми процессами. Конструкция клапана и применяемые уплотнительные элементы обеспечивают утечку меньше 6,7×10⁻¹⁰ Па·м³/с, что для прямоугольного запорного узла является высоким показателем и позволяет использовать GCQ не только в технологических, но и в измерительных вакуумных линиях.

Рекомендуемое установочное положение — горизонтальное расположение корпуса или положение с пневмоцилиндром вверх. Это обеспечивает правильный отвод конденсата, стабильность хода и удобство подключения управляющей пневмолинии. При этом сам клапан проектируется с учётом минимальной строительной высоты и возможностью монтажа в ограниченном пространстве, что характерно для плоских камер и вакуумных коробов.

Технические параметры

Область применения

Прямоугольные пневмозатворы GCQ применяются в транспортных и шлюзовых вакуумных системах с прямоугольным окном, в линиях плазменной и ионной обработки, в установках нанесения покрытий на листовые и стеклянные подложки, в вакуумных испытательных камерах прямоугольной формы, а также в составе высоковакуумных стендов, разрабатываемых под конкретный технологический процесс. В системах контроля герметичности и гелиевого течеискания GCQ может использоваться как запорный или разделительный клапан, при этом собственная утечка затвора не вносит заметного фона в измерение.