Описание
CCD-тип сверхвысоковакуумного электрического шиберного затвора (в мм)
Сверхвысоковакуумные шиберные затворы CCD-типа предназначены для перекрытия вакуумных магистралей большого сечения в установках, где требуется одновременно высокая герметичность, стабильная геометрия прохода и возможность дистанционного (электрического) управления. Данные затворы относятся к тяжёлому классу UHV-арматуры и применяются в крупных вакуумных камерах, линиях плазменной обработки, технологических установках с прямоточными прямоугольными и круглыми каналами, а также в транспортных и загрузочных шлюзах, где требуютcя условные проходы до DN1250. Конструктивно затвор представляет собой плоскую шиберную конструкцию с жёстким корпусом под фланец ISO-F и с исполнительным пневмоприводом, управляемым от электрической системы автоматики.
Корпус затвора выполнен из коррозионностойкой стали с высокой жёсткостью, что необходимо при больших размерах створки и при эксплуатации на установках с вакуумным прогревом. Запорный орган перемещается по направляющим и при закрытии обеспечивает равномерное прижатие по периметру. Герметизация выполнена с применением эластомера с низкой газопроницаемостью, что позволяет обеспечивать утечку не хуже ≤1,3×10⁻¹⁰ Па·м³/с по всему модельному ряду. Для фиксации положения в затвор встроен магнитный датчик, передающий в систему управления сигналы «открыто» и «закрыто». Это позволяет включать клапан в замкнутые схемы управления откачкой и предотвращать запуск турбомолекулярных насосов при незакрытой линии.
Привод затвора выполнен пневматическим, с рабочим давлением 0,6–0,7 МПа. Такое решение выбрано потому, что на DN500–DN1250 требуется значительное усилие для надёжного закрытия створки и компенсации вакуумных нагрузок, а пневмопривод обеспечивает одинаковое прижимное усилие при каждом цикле. При этом управление и индикация выполняются электрически, что соответствует обозначению «electric gate valve». Затвор рассчитан на эксплуатацию в диапазоне давлений 10⁵–10⁻⁶ Па и допускает вакуумный прогрев: до 150 °C в открытом состоянии и до 120 °C в закрытом, что позволяет использовать его в технологических процессах с осушкой и дегазацией вакуумной камеры.
Конструкция рассчитана на монтаж в горизонтальном положении корпуса или в положении «цилиндр вверх». Это обеспечивает правильную работу привода, отсутствие перекосов створки и удобство подключения пневмомагистрали. Для всех типоразмеров интерфейс фланца — ISO-F, однако по согласованию с производителем возможно изготовление фланца под конкретную установку или под водоохлаждаемый фланцевый узел, если затвор работает поблизости от зон высоких тепловых потоков.
Технические данные
| Модель | Фланец | Номинальный диаметр | Диапазон применения, Па | Макс. утечка, Па·м³/с | Привод | Рабочее давление, МПа | Индикация | Температура выпечки, °C | Монтаж | Масса, кг |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| CCD-500B | ISO-F | DN500 | 10⁵ – 10⁻⁶ | ≤1,3×10⁻¹⁰ | пневматический, с электрическим управлением | 0,6–0,7 | магнитная | on: 150, off: 120 | горизонтально / цилиндр вверх | 312 |
| CCD-630B | ISO-F | DN630 | 10⁵ – 10⁻⁶ | ≤1,3×10⁻¹⁰ | пневматический | 0,6–0,7 | магнитная | 150 / 120 | горизонтально / цилиндр вверх | 554 |
| CCD-800B | ISO-F | DN800 | 10⁵ – 10⁻⁶ | ≤1,3×10⁻¹⁰ | пневматический | 0,6–0,7 | магнитная | 150 / 120 | горизонтально / цилиндр вверх | 771 |
| CCD-1000B | ISO-F | DN1000 | 10⁵ – 10⁻⁶ | ≤1,3×10⁻¹⁰ | пневматический | 0,6–0,7 | магнитная | 150 / 120 | горизонтально / цилиндр вверх | 1524 |
| CCD-1250B | ISO-F | DN1250 | 10⁵ – 10⁻⁶ | ≤1,3×10⁻¹⁰ | пневматический | 0,6–0,7 | магнитная | 150 / 120 | горизонтально / цилиндр вверх | 2350 |
Область применения
Затворы такого класса используются там, где обычные круглые вакуумные клапаны недостаточны по диаметру и по жёсткости. Это большие вакуумные печи и камеры с верхней загрузкой, крупные установки ионно-плазменной обработки, линии нанесения покрытий на листовое стекло и металлопрокат, вакуумные испытательные стенды с крупногабаритными образцами, а также распределительные камеры, в которых требуется полностью отсекать участок большого сечения без ухудшения достигнутого вакуума. Благодаря малошумной демпфированной конструкции и магнитной индикации такие затворы безопасно интегрируются в автоматические системы и не вызывают вибрационного воздействия на вакуумную аппаратуру.