Турбомолекулярный насос CBVAC JFB-400/4201 (4200 л/с, 5×10−7 Па) на керамических подшипниках
CBVAC JFB-400/4201 — это флагманский турбомолекулярный насос промышленного класса, предназначенный для систем, требующих получения высоко- и сверхвысокого вакуума в диапазоне до 5×10⁻⁷ Па. Модель оснащена прецизионными керамическими подшипниками, водяным охлаждением, интеллектуальной системой управления JFB-VI и обеспечивает исключительную производительность — до 4200 л/с по азоту и 3000 л/с по гелию. Конструкция насоса оптимизирована для стабильной непрерывной эксплуатации в вакуумных линиях большого объёма и технологических установках с высокой нагрузкой по газу.
Назначение и области применения
Насос JFB-400/4201 используется в системах PVD / CVD осаждения, плазмохимического травления, ионной имплантации, ускорительных и плазменных установках, а также в испытательном оборудовании для герметичности, масс-спектрометрии и вакуумных печах. Высокая степень чистоты, отсутствие масляных компонентов и низкий уровень вибраций делают его оптимальным решением для электроники, материаловедения и тонкоплёночных технологий.
Конструктивные особенности
- Керамические подшипники высокой точности — обеспечивают минимальное трение, стабильность вращения и длительный срок службы без обслуживания.
- Монолитный ротор — сбалансирован с микрометровой точностью, выдерживает частоту вращения 18 000 об/мин без осевых биений.
- Интеллектуальное управление JFB-VI — интегрированный или раздельный контроллер (4U-исполнение) с протоколом RS-485 и защитой от всех основных аварийных режимов.
- Водяное охлаждение — поддерживает стабильный тепловой режим при длительных циклах откачки; рабочая температура воды ≤ 20 °C, расход ≥ 3 л/мин.
- Высокая устойчивость к внешним воздействиям — допускается магнитное поле до 3 мТл (радиальное) и 5 мТл (осевое), вибрация не превышает 0,25 мкм.
- Гибкость монтажа — допускается установка в вертикальном положении с отклонением ±5°.
Технические характеристики CBVAC JFB-400/4201
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Быстрота действия | N₂ — 4200 л/с; He — 3000 л/с |
| Предельное давление | < 2×10⁻⁶ Па (LF) |
| Коэффициент сжатия | N₂ — 10⁸; He — 10⁴ |
| Рабочий диапазон давлений | 10⁻¹ – 10⁻⁷ Па |
| Входной фланец | DN400 ISO-K (LF) |
| Выходной фланец | KF40 |
| Продувочный порт | KF16 |
| Рекомендуемый форвакуумный насос | 30 – 70 л/с |
| Максимальное постоянное давление на входе | N₂ — 10 Па; He — 1,5 Па |
| Максимальное постоянное давление на выходе | N₂ — 300 Па; He — 200 Па |
| Критическое давление на выходе | N₂ — 560 Па; He — 280 Па |
| Номинальная частота вращения | 18 000 об/мин (300 Гц) |
| Тип подшипников | Керамические шариковые, смазанные консистентной смазкой |
| Интенсивность вибрации | ≤ 0,25 мкм |
| Мощность без нагрузки | ~ 150 Вт (интегрированный тип — до 220 Вт) |
| Максимальная потребляемая мощность | до 2200 Вт |
| Питание | 220 В AC ±10 %, 50/60 Гц |
| Нормальный ток | 4,5 – 5,4 А |
| Макс. пусковой ток | ≤ 12 А |
| Время разгона | ≈ 20 мин |
| Время останова | ≈ 25 – 30 мин |
| Охлаждение | водяное (≤ 20 °C, 3 л/мин, 0,15 МПа) |
| Масса | 95 кг (интегрированный); 90 кг (раздельный) |
| Уровень шума | ≤ 60 дБ |
| Коммуникационный протокол | RS-485 (Modbus RTU) |
| Контроллер | JFB-VI (раздельный 4U) / JFB-VI-B (интегрированный) |
| Управление пуском/остановом | Кнопки / RS-485 / внешний DB15 |
| Система защиты | От перегрузки, перегрева, перенапряжения, внешних помех |
| Рабочее положение | Вертикальное, допуск ± 5° |
Преимущества модели
- Высочайшая быстрота действия — до 4200 л/с по азоту, идеальна для камер большого объёма.
- Отличная динамическая балансировка ротора — вибрации менее 0,25 мкм при 18 000 об/мин.
- Интеллектуальная автоматика — полный мониторинг скорости, тока, температуры и состояния системы.
- Совместимость с промышленными системами управления через RS-485 и Modbus RTU.
- Высокая устойчивость к пылевым и магнитным воздействиям.
- Оптимальное соотношение массы и производительности при долговременной эксплуатации.
Интеграция и обслуживание
Модель JFB-400/4201 может поставляться в исполнении с интегрированным или раздельным контроллером. Подключение осуществляется по протоколу RS-485 с возможностью удалённого управления и мониторинга через Modbus RTU. Все модели оснащены датчиками тока и температуры для автоматической защиты при аномальных режимах. Рекомендовано использовать вакуумные кабели с экранированием и виброизолирующие опоры. Полное сервисное сопровождение, диагностику и ремонт оборудования осуществляет официальный сервисный центр CBVAC в России на базе Лаборатории Leaklab.