Турбомолекулярный насос CBVAC JFB-250/2201 (2200 л/с, 5×10−7 Па) на керамических подшипниках
CBVAC JFB-250/2201 — это промышленный турбомолекулярный насос с прецизионными керамическими подшипниками и консистентной смазкой, предназначенный для откачки газов в диапазоне давлений от 10⁻¹ до 5×10⁻⁷ Па. Насос обеспечивает быстроту действия 2050 л/с по азоту и 1800 л/с по гелию, имеет интегрированный контроллер JFB-III и доступен в исполнениях с фланцами DN250 ISO-K или CF250. Благодаря высокой производительности и надежности, JFB-250/2201 применяется в технологических линиях, требующих чистого и стабильного высокого вакуума.
Назначение и область применения
Насос JFB-250/2201 используется в промышленных установках PVD/CVD осаждения, плазменного травления, нанесения покрытий, вакуумных печах, ускорительных комплексах, установках контроля герметичности и в научно-исследовательских вакуумных системах. Он обеспечивает длительную стабильную работу при больших газовых нагрузках, включая инертные, сухие и химически нейтральные среды. Благодаря отсутствию масляных компонентов насос подходит для чистых производств — от микроэлектроники до оптики и медицины.
Конструктивные особенности
- Прецизионные керамические подшипники с консистентной смазкой обеспечивают низкий уровень вибрации (≤0,05 мкм) и длительный ресурс без обслуживания.
- Интеллектуальный контроллер JFB-III — встроенный (JFB-III / JFB-III-A) или раздельный (JFB-III-B, 2U), поддерживает управление через RS-485 и DB15.
- Монолитный ротор выполнен из легкого сплава с высокой прочностью и сбалансирован с точностью до микрометра.
- Гибкое охлаждение — водяное или воздушное, для термостабилизации при длительных циклах и высоких газовых потоках.
- Комплексная система защиты — контроллер обеспечивает защиту от перегрева, перегрузки, перенапряжения и коротких замыканий.
- Регулируемая скорость вращения — номинальные 24 000 об/мин и холостой режим 16 800 об/мин позволяют адаптировать насос под технологическую задачу.
Технические характеристики CBVAC JFB-250/2201
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Быстрота действия | N₂ — 2050 л/с; He — 1800 л/с |
| Предельное давление | <5×10⁻⁶ Па (ISO-K); <5×10⁻⁷ Па (CF) |
| Коэффициент сжатия | N₂ — 1×10¹⁰; He — 1×10⁴ |
| Рабочий диапазон давлений | от 10⁻¹ до 10⁻⁷ Па |
| Входной фланец | DN250 ISO-K (LF) или CF250 |
| Выходной фланец (форвакуумный) | DN40 ISO-KF, опционально KF50 |
| Рекомендуемый форвакуумный насос | 16–24 л/с |
| Максимальное постоянное давление на выходе | N₂ — 200 Па; He — 100 Па |
| Критическое давление на выходе | N₂ — 500 Па; He — 200 Па |
| Максимальное входное давление | N₂ — 2 Па; He — 1 Па |
| Номинальная частота вращения | 24 000 об/мин ± 0,1 % |
| Холостая частота вращения | 16 800 об/мин ± 0,1 % |
| Тип подшипников | Керамические шариковые, смазанные консистентной смазкой |
| Интенсивность вибрации | ≤0,05 мкм |
| Мощность без нагрузки | ~75 Вт |
| Максимальная потребляемая мощность | 1000 Вт |
| Напряжение питания | 220 В AC ±10 %, 50/60 Гц |
| Нормальный ток | ≤1 А |
| Охлаждение | водяное или воздушное (15–25 °C, ≥1,5 л/мин, 0,15 МПа) |
| Температура окружающей среды | воздушное: +5…+35 °C; водяное: +5…+40 °C |
| Допустимое магнитное поле | ≤3 мТл (макс. 10 мТл при адаптации) |
| Уровень шума | ≤60 дБ |
| Масса | 40 кг (ISO-K); 45 кг (CF) |
| Продувочный порт | DN16 ISO-KF |
| Коммуникационный протокол | RS-485 (Modbus RTU) |
| Управление | кнопки, RS-485, разъём DB15, дистанционное управление |
Преимущества и особенности эксплуатации
- Высокая производительность — до 2200 л/с при стабильном достижении 5×10⁻⁷ Па.
- Возможность длительной непрерывной работы в автоматическом режиме.
- Интеллектуальное управление — автоматическая диагностика, регулирование скорости и температурный контроль.
- Устойчивость к пыли, вибрациям и фоновым магнитным полям.
- Низкий уровень шума и минимальное энергопотребление на холостом ходу.
- Простота интеграции — насос поставляется полностью готовым к установке с контроллером и кабелями.
Интеграция и обслуживание
Насос CBVAC JFB-250/2201 легко интегрируется в системы автоматизированного вакуумного управления благодаря стандартному протоколу RS-485. Рекомендуется использовать виброизолирующие опоры и металлические фланцы CF для достижения предельного давления. Сервисное обслуживание, диагностика и ремонт выполняются официальным сервисным центром CBVAC в России на базе Лаборатории Leaklab.