Турбомолекулярный насос CBVAC JFB-200/1401 (1400 л/с, 5×10−7 Па) на керамических подшипниках
CBVAC JFB-200/1401 — высокопроизводительный турбомолекулярный насос нового поколения, оснащённый прецизионными керамическими подшипниками с консистентной смазкой и интегрированным контроллером JFB-III. Насос обеспечивает быстроту действия 1350 л/с по азоту и 1200 л/с по гелию, предназначен для работы в диапазоне от 10⁻¹ до 5×10⁻⁷ Па. Конструкция с монолитным ротором и интеллектуальным управлением обеспечивает устойчивую, тихую и надёжную работу даже в условиях частых циклов "вакуум–атмосфера".
Назначение и область применения
Модель JFB-200/1401 используется в установках PVD/CVD осаждения, плазменного травления, ионной имплантации, вакуумных печах, ускорительных комплексах, масс-спектрометрах, установках контроля герметичности и в вакуумных камерах крупных лабораторных комплексов. Благодаря отсутствию масла и герметизирующих жидкостей, насос формирует абсолютно чистый вакуум, подходящий для оптических, электронных и фармацевтических производств.
Конструктивные особенности
- Прецизионные керамические подшипники с консистентной смазкой — низкий уровень вибраций (≤0,05 мкм) и увеличенный срок службы без необходимости внешней смазки.
- Интеллектуальный контроллер JFB-III — встроенный или раздельный вариант (JFB-III-A / JFB-III-B) с цифровым управлением, поддержкой протокола RS-485 и интерфейсом DB15.
- Регулируемая скорость вращения — номинальная частота 30 000 об/мин, холостой ход 21 000 об/мин; плавная регулировка по командам контроллера.
- Высокая степень сжатия — N₂ > 1×10¹¹, He > 1×10⁴, что обеспечивает стабильную работу при переменных нагрузках.
- Гибкое охлаждение — воздушное или водяное (15–25 °C, ≥1,5 л/мин, 0,15 МПа), обеспечивающее термостабильность даже при длительных циклах.
- Комплексная система защиты — защита от перегрузок, перегрева, перенапряжения, пониженного напряжения и сбоев питания.
Технические характеристики CBVAC JFB-200/1401
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Быстрота действия | N₂ — 1350 л/с; He — 1200 л/с |
| Предельное давление | <5×10⁻⁶ Па (ISO-K); <5×10⁻⁷ Па (CF) |
| Коэффициент сжатия | N₂ — 1×10¹¹; He — 1×10⁴ |
| Рабочий диапазон давлений | 10⁻¹–10⁻⁷ Па |
| Входной фланец | DN200 ISO-K (LF) или CF200 |
| Выходной фланец | DN40 ISO-KF, опционально KF50 |
| Рекомендуемый форвакуумный насос | 8–16 л/с |
| Максимальное форвакуумное давление | N₂ — 300 Па; He — 200 Па |
| Критическое давление на выходе | N₂ — 1000 Па; He — 500 Па |
| Максимальное входное давление | N₂ — 2 Па; He — 1 Па |
| Номинальная частота вращения | 30 000 об/мин ± 0,1 % |
| Холостая частота вращения | 21 000 об/мин ± 0,1 % |
| Мощность без нагрузки | ~70 Вт |
| Максимальная мощность | 1000 Вт |
| Нормальный рабочий ток | ≤1 А |
| Напряжение питания | 220 В AC ±10 %, 50/60 Гц |
| Продувочный порт | DN16 ISO-KF |
| Охлаждение | воздушное или водяное (15–25 °C, 1,5 л/мин, 0,15 МПа) |
| Интенсивность вибрации | ≤0,05 мкм |
| Допустимое магнитное поле | ≤3 мТл (до 10 мТл при адаптации) |
| Коммуникационный протокол | RS-485 (Modbus RTU) |
| Управление | Кнопки, RS-485, разъём DB15, дистанционное управление |
| Температура окружающей среды | Возд.: +5…+35 °C; Вода: +5…+40 °C |
| Уровень шума | ≤60 дБ |
| Масса | 30 кг (ISO-K); 34 кг (CF) |
| Рабочее положение | Произвольное |
Преимущества и эксплуатационные особенности
- Высокая скорость откачки — 1400 л/с при стабильном предельном давлении 5×10⁻⁷ Па.
- Интеллектуальное управление и диагностика — контроль температуры, скорости и тока ротора.
- Снижение энергопотребления при работе в режиме ожидания (автоматическая регулировка скорости).
- Устойчивость к фоновым магнитным полям до 3 мТл и возможность адаптации для более жёстких условий.
- Возможность дистанционного управления и интеграции в автоматизированные линии.
- Повышенная надёжность при многолетней эксплуатации и низкие требования к обслуживанию.
Интеграция и сервис
Насос CBVAC JFB-200/1401 интегрируется в промышленные и лабораторные системы с интерфейсом RS-485 или цифровыми входами. Для стабильной работы рекомендуется поддерживать корректный тепловой режим, обеспечивать чистую воду для охлаждения и использовать виброизолирующие опоры. Все сервисные работы, диагностика и ремонт выполняются сервисным центром CBVAC в России на базе Лаборатории Leaklab.