Оформите заявку на сайте, мы свяжемся с вами в ближайшее
время и ответим на все интересующие вопросы.
Подробная техническая презентация
Технические слайды на белом фоне дополняют материал схемами, таблицами, последовательностями процессов и ключевыми параметрами.
Компактные турбомолекулярные насосы FF с встроенным контроллером (25-300 л/с, 10-7 Па)
Принцип работы этих насосов основан на взаимодействии молекул газа с высокоскоростными лопастями ротора, которые вращаются с частотой до 90 000 об/мин. Лопасти направляют молекулы газа в нужном направлении, перемещая их от входного фланца к выходному.
Основные преимущества турбомолекулярных насосов включают их способность достигать высокого уровня вакуума (до 10-8 Па), отсутствие масла в рабочей зоне, что предотвращает загрязнение вакуумной системы, и высокая надежность при длительной эксплуатации.
Эти насосы широко используются в полупроводниковой промышленности, научных исследованиях, особенно в физических и химических лабораториях, а также в вакуумной металлургии и других высокотехнологичных областях.
Конструкция турбомолекулярного насоса обычно включает ротор, состоящий из нескольких ступеней лопастей, и статор – неподвижные лопасти, расположенные между ступенями ротора. Этот многослойный ротор-статорный блок обеспечивает эффективное снижение давления газа по мере его прохождения через насос.
Управление и мониторинг работы насоса осуществляются с помощью электронного блока, который контролирует скорость вращения ротора и обеспечивает его стабильную работу.
Для обеспечения надежной работы и долговечности турбомолекулярные насосы часто требуют дополнительного охлаждения, которое может осуществляться с помощью воздуха или воды. Кроме того, в состав системы обычно входят форвакуумные насосы, которые предварительно снижают давление в системе до уровня, порядка 50 Па, при котором турбомолекулярный насос может запускаться.
Конструкция насосов FF включает несколько ступеней, в том числе молекулярную, что позволяет работать с форвакуумными насосами, обеспечивающими давление на выпускном фланце не более 10 – 500 Па. Давление на входном фланце – не более 1 – 5 Па.
Турбомолекулярные насосы CXF с магнитным подвесом (1280-3260 л/с, 10-8 Па)
Магнитно-левитирующий узел насоса состоит из магнитного подшипника, датчика и системы управления. Во время работы он может плавать в воздухе за счет магнитной силы без какой-либо механической поддержки; поэтому смазка не требуется. Подшипник на магнитной подушке представляет собой электромагнитный подшипник с 5-осевой структурой.
Эта конструкция имеет динамическую реакцию и своевременную регулировку с помощью динамической активной технологии управления магнитной подвеской с замкнутым контуром, основанной на передовой теории управления, чтобы гарантировать такие преимущества высокоскоростного вала, как стабильная левитация и надежная работа.
На представленном фото специалист проводит тест на ударную устойчивость турбомолекулярного насоса, произведенного одной из немецких компаний. Такие насосы часто используются в критически важных задачах, например, в исследованиях космоса, полупроводниковой промышленности и научных экспериментах, где надежность оборудования имеет первостепенное значение.
Этот турбомолекулярный насос разработан с учётом возможных вибрационных и ударных нагрузок, возникающих в процессе эксплуатации, например, при транспортировке или аварийных ситуациях. Конструкция насоса включает элементы амортизации и повышенной прочности, что позволяет ему выдерживать значительные механические воздействия без потери функциональности. Испытания показывают, что насос сохраняет свои рабочие параметры даже после ударов, симулирующих реальные сценарии повреждений.
Магнитно-левитирующий подшипник может применяться для контроля рабочего положения турбомолекулярных насосов и передачи рабочего положения обратно в блок управления, так что автоматическая компенсация баланса ротора реализована с помощью алгоритма.
Молекулярные насосы, оснащенные подшипником на магнитной подушке, не требуют смазки и специального обслуживания, имеют низкий уровень вибрации и могут быть установлены в любом положении.
Турбомолекулярные насосы на магнитной левитации — это насосы, вал которых поддерживается силой магнитного поля. Серийные молекулярные насосы на магнитной подушке представляют собой оборудование для создания вакуума, разработанное для применения в областях современного производства полупроводников, производства микросхем, промышленных гальванопокрытий и научных приборов, со скоростью откачки 1400 – 3000 л/с, рабочим давлением 20 Па до 10-8 Па и тремя типами входных вакуумных соединений ISO-K, ISO-F и ISO-CF.
Турбомолекулярные откачные посты KYKY (62 – 260 л/с, 0,00001 Па)
Вакуумные откачные посты являются важным инструментом в различных областях промышленности и науки. Они используются для откачки газов и паров, создания вакуума и поддержания чистоты в процессах производства. Компактные вакуумные откачные посты FJ-80, производства KYKY, являются одними из наиболее надежных и простых в использовании вакуумных насосов.
Компактные вакуумные откачные посты FJ-80 имеют воздушное охлаждение, что делает их удобными в использовании. Они имеют низкий уровень шума и вибраций, что делает их идеальными для использования в чувствительных к вибрации установка. Вакуумные насосы в составе поста также просты в использовании и обслуживании, что позволяет сократить время на обслуживание и повысить эффективность производства.
| Модель | Быстрота откачки | Тип форвакуумного насоса | Охлаждение | Предельное давление |
|---|---|---|---|---|
| FJ-80 | 80 л/с | Масляный GHD-031B или безмасляный SVF-E1-20 | Воздушное | 5×10⁻⁵ Па |
| FJ-110 | 110 л/с | RV-4 | Воздушное | 5×10⁻⁵ Па |
| FJ-300 | 300 л/с | Масляный RV-4 или безмасляный WXP-3A | Воздушное | 5×10⁻⁵ Па |
| FJ-620 | 620 л/с | RV-6 | Воздушное или водяное | 5×10⁻⁵ Па |
| FJ-700 | 700 л/с | RV-6 (или безмасляный вариант) | Воздушное или водяное | 5×10⁻⁵ Па |
Производители и оборудование
