Оформите заявку на сайте, мы свяжемся с вами в ближайшее
время и ответим на все интересующие вопросы.
Подробная техническая презентация
Технические слайды на белом фоне дополняют материал схемами, таблицами, последовательностями процессов и ключевыми параметрами.
Магниторазрядные насосы
Магнитные электроразрядные насосы — это оборудование для создания чистого и сверхвысокого вакуума. Магниторазрядный насос является основным насосом безмасляной установки сверхвысокого вакуума.
Магниторазрядные насосы относятся к категории высоковакуумных насосов и используются для безмасляной откачки. Они отличаются от других насосов тем, что в них отсутствуют подвижные части, а «износ» насоса связан только с распылением титановых катодов.
Для работы магниторазрядного насоса необходимо предварительно откачать вакуумную камеру или систему до стартового давления 0,0005 Па. Магниторазрядные насосы позволяют достигнуть предельного остаточного давления в диапазоне до 1×10-8 Па. Эти насосы широко применяются в различных областях, таких как исследования в области физики, химии, электроники и других.
Диодные магниторазрядные насосы (22-450 л/с, 10-8 Па)
Насосы серии 2L предназначены для высокоточных вакуумных систем, требующих стабильного поддержания остаточного давления до ≤7×10⁻⁸ Па (модели 2L-25, 2L-50, 2L-100) и ≤1×10⁻⁸ Па (модели 2L-200C и 2L-400C). Быстрота действия по воздуху варьируется от 22 л/с (2L-25) до 450 л/с (2L-400 и 2L-400C), что позволяет использовать их в задачах разного масштаба, от лабораторных исследований до крупных промышленных систем.
Присоединительные фланцы CF (размеры от 35 мм до 150 мм) обеспечивают универсальность при интеграции в вакуумные установки. Все модели имеют максимальную рабочую температуру прогрева до 200°C с магнитами и до 300°C без магнитов.
Модели оснащены источниками питания 2LD-400A и 2LD-400C, которые обеспечивают стабильное напряжение на аноде (5–7 кВ). Для удобства эксплуатации в старших моделях (2L-200B и выше) предусмотрены кожухи для прогрева. Насосы различаются количеством электродных блоков (от 1 до 4), что влияет на их производительность. Благодаря компактным габаритам (например, 222×121×161 мм для 2L-25 и 500×265×600 мм для 2L-400C) и малому весу младших моделей, насосы серии 2L легко адаптируются к разным условиям эксплуатации, включая системы анализа остаточных газов, научные исследования и промышленное производство.
Триодные магниторазрядные насосы (21-420 л/с, 10-8 Па)
Триодные магниторазрядные насосы отличаются улучшенными откачными характеристиками по инертным благородным газам. Триодные насосы используют обратную электрическую полярность и существенно отличающийся дизайн катода для достижения двух важных преимуществ по сравнению с диодными насосами:
электрически изолированный катод позволяет ограничить начальное горение разряда при значительно более высоких давлениях, что приводит к более короткому времени запуска; конструкция распыляемого катода позволяет осуществлять захоронение и благородных, и не благородных газов.
Благородные газы, включающие гелий, неон, аргон, криптон, ксенон и радон, представляют собой химически инертные элементы, которые в стандартных условиях находятся в газообразном состоянии.
Они обладают полностью заполненными внешними электронными оболочками, что делает их крайне инертными и устойчивыми к химическим взаимодействиям. Триоды имеют наивысшую скорость откачки для благородных газов и свободны от нестабильности по аргону.
Недостаток: из-за конструкции распыляемого катода, триодные насосы требуют более частого обслуживания.
Триодные магниторазрядные насосы серии ЗL представляют собой решение для создания глубокого вакуума в широком диапазоне приложений. Их производительность варьируется от 21 л/с (модель ЗL-25) до 420 л/с (модели ЗL-400 и ЗL-400C) по воздуху, а по аргону — от 6 л/с до 85 л/с.
Серии ЗL оснащены надежными источниками питания 3LD-400C, обеспечивающими стабильное напряжение анода (-5 кВ).
