
Вакуумметр мембранно-ёмкостной CMG500 (1000, 100, 10 мбар, ±0.25%)
Мембранно-ёмкостные вакуумметры используются для измерения давления в области до высокого вакуума, показания вакуумметра не зависят от вида газа. Принцип действия этих вакуумметров основан на измерении эластичной деформации тонкой мембраны под действием разности давлений в датчике. Преимущества мембранно-ёмкостного вакуумметра – это независимость показаний от рода газа, высокая точность измерения (0,25 % от показываемого значения) и устойчивость против коррозийных газов.
Вакуумметры на базе датчиков Мида с поверкой
Для применения в вакуумной технике разработан эталонный датчик абсолютного давления МИДА-ДА-15-Э c фланцевым присоединением KF25. Эти датчики обеспечивают суммарную погрешность не более 0,05 % ВПИ. Коррекция нелинейности и температурной погрешности выполняется в электронном блоке датчика, при этом термочувствительным элементом является мостовая измерительная схема тензопреобразователя, что позволяет снять вопрос о равенстве температуры преобразователя и термочувствительного элемента. Настройка и последующее считывание результатов измерений осуществляется посредством интерфейсов RS-485. Для взаимодействия с датчиками используется протокол Modbus.
Комплект датчика дифференциального давления ДД: 5–1000 Па, ±1 Па с поверкой
Датчик дифференциального давления предназначен для измерения малых перепадов давления в диапазоне от 5 до 1000 Па. Высокая точность (±1 Па) позволяет использовать этот комплект для контроля вакуумных процессов, требующих особой точности, таких как производство электроники или исследовательские работы в лабораториях. Датчик поставляется с первичной поверкой, что гарантирует его соответствие метрологическим стандартам.

