
Порядок калибровки течеискателя перед началом измерений
Работа с гелиевым течеискателем начинается с включения прибора и проведения подготовки к работе. После включения система автоматически запускает форвакуумный насос, а затем турбомолекулярный насос, выход на рабочий режим занимает около двух минут. Если прибор долго не использовался, необходимо проверить уровень и чистоту масла, так как включение при его отсутствии недопустимо. После выхода насосов на режим прибор прогревается примерно двадцать минут, что стабилизирует температуру внутренних узлов и обеспечивает точность измерений.
Первичная калибровка выполняется по внутренней калибровочной течи, встроенной в прибор. Этот процесс проводится автоматически и занимает около трёх минут. Прибор измеряет фоновый уровень, сигнал от калибровочной течи и корректирует внутренние коэффициенты пересчёта, обеспечивая правильную индикацию эквивалентной скорости утечки. Встроенная течь удобна для экспресс-настройки, однако для высокоточных испытаний и больших объектов контроля рекомендуется использовать внешнюю эталонную течь, поверенную в аккредитованной лаборатории.
Калибровка по внешней течи проводится следующим образом: течь с паспортным значением потока устанавливается на вход прибора с использованием герметичного соединения и управляющего клапана. Прибор последовательно измеряет фоновый сигнал, затем сигнал от открытой течи и автоматически корректирует коэффициенты пересчёта, связывая измеренное значение с паспортным потоком. Эта процедура исключает влияние температурного дрейфа и обеспечивает максимальную точность измерений.
После успешной калибровки прибор готов к проведению испытаний. Можно подключать объект контроля, проводить вакуумирование, выполнять поиск утечек способом обдува или с использованием вакуумного щупа. При этом важно соблюдать два правила: не перемещать прибор во время работы и не менять объект испытаний, пока идёт измерение, так как это может привести к аварийному завершению работы турбомолекулярного насоса или к искажению результатов.
По завершении испытаний прибор переводится в режим ожидания, после чего возможно безопасное отключение или повторная калибровка. Если калибровка не проходит успешно, система автоматически блокирует дальнейшие измерения и сообщает о необходимости устранения ошибок. Такой порядок обеспечивает корректную работу течеискателя, его готовность к испытаниям по установленному классу герметичности и надёжную регистрацию эквивалентной скорости течи в соответствии с требованиями ГОСТ Р 50.05.01-2018 и ISO 20485.
Порядок проверки изделий на гелиевом течеискателе
Проверка герметичности изделий с использованием гелиевого течеискателя начинается с подготовки оборудования и оснастки. Изделие устанавливается в герметичную камеру или специальный адаптер, обеспечивающий вакуумирование внутреннего объёма и доступ к наружной поверхности для подачи гелия. Важно, чтобы соединения оснастки не вносили дополнительных утечек, поэтому перед испытанием проводится вакуумирование и проверка фона. После достижения требуемого уровня остаточного давления прибор обнуляется по фоновому сигналу, чтобы дальнейшие измерения были корректными.
Далее изделие подвергается воздействию гелия — испытательного газа с минимальной проницаемостью через металлы и неметаллические материалы. При методе обдува газ подаётся через пистолет-распылитель на внешнюю поверхность изделия в зоне возможных дефектов. Скорость перемещения сопла строго регламентирована, как правило, 10–15 см в минуту, что обеспечивает равномерное распределение газа и исключает пропуск локальных негерметичных участков.
Прибор фиксирует проникновение гелия внутрь изделия, и на экране отображается эквивалентная скорость течи в Па·м³/с. Порог браковки задаётся заранее в соответствии с классом герметичности, например 5×10⁻⁹ Па·м³/с. Если измеренный сигнал не превышает этого значения, изделие признаётся герметичным. При превышении порогового уровня прибор автоматически сигнализирует об обнаружении утечки, а изделие направляется в брак.
Для стабильности результатов испытания фоновые показания контролируются перед каждым новым изделием. При необходимости повторно обнуляется сигнал, чтобы исключить влияние остаточного гелия в камере или оснастке. Каждое изделие проверяется индивидуально, а скорость анализа позволяет проводить массовый контроль партий с минимальными временными затратами.
После завершения испытаний оформляется протокол, где фиксируются результаты проверки каждого изделия, условия испытаний и значения порога браковки. Такой порядок позволяет обеспечить воспроизводимость измерений и прослеживаемость калибровок.
Вакуумметры
Измерение давления в вакууме имеет свои особенности и требует квалифицированного подхода и должного уровня вакуумной гигиены.
Одной из особенностей измерения давления в вакууме является то, что стандартные методы измерения, используемые для атмосферного давления, не могут быть применены в вакуумных условиях. Для измерения давления в вакууме применяются специальные устройства, называемые вакуумметрами.
Термоэлектрические вакуумметры
Вакуумметры Пирани, также известные как термоэлектрические вакуумметры, используют принцип изменения электрического сопротивления нагретого проводника в зависимости от давления газа в вакуумной системе.
Основным элементом вакуумметра Пирани является нагретый проводник, обычно из вольфрама, платины или никеля-хромового сплава. Когда проводник нагревается до определенной температуры, его сопротивление меняется в зависимости от количества газа вокруг него. При достаточно высоком давлении газа молекулы сталкиваются с проводником и отводят тепло от него, что приводит к увеличению его сопротивления. При понижении давления газа столкновения молекул с проводником становятся реже, что приводит к снижению его сопротивления.
Изменение сопротивления проводника измеряется и преобразуется в соответствующий показатель давления с помощью электронной схемы. Вакуумметры Пирани обычно имеют диапазон измерений от 10% атмосферного давления до 0,1 Па и могут обеспечивать точность измерений 20–50% от показания.
Вакуумметры Пирани имеют простую конструкцию, надежны и долговечны. Они также обладают хорошей чувствительностью и быстрым откликом на изменения давления. Они могут быть чувствительны к загрязнению проводника, что может привести к снижению точности измерений.

