
Ионизационные вакуумметры
Ионизационные вакуумметры, также известные как ионизационные датчики давления, используют принцип ионизации газа для измерения давления в вакуумной системе. Они работают на основе того, что при понижении давления газа уменьшается число атомов, способных подвергаться ионизации. Основным элементом ионизационного вакуумметра является вакуумный диод или триод. В этом диоде на анод подается положительное напряжение, а на коллектор – большое отрицательное напряжение. Газ в вакуумной системе проникает через порт в пространство между анодом и коллектором.
При относительно высоком давлении газа происходит столкновение его молекул с электродами, что приводит к ионизации газа. Ионы, образованные при этом процессе, ускоряются в электрическом поле между анодом и коллектором и достигают коллектора, создавая ионизационный ток. Этот ионизационный ток пропорционален давлению газа в вакуумной системе.
Ионизационные вакуумметры обладают рядом преимуществ. Они имеют широкий диапазон измерений, обычно от высокого вакуума 10-5 Па до форвакуумного давления 0,1 Па, с точностью 20–50% от показания. Они также обладают высокой чувствительностью и быстрым откликом на изменения давления. Кроме того, они могут работать в широком диапазоне температур.
Однако у ионизационных вакуумметров есть и некоторые ограничения. Они чувствительны к различным газам, поэтому для каждого газа требуется отдельная калибровка. Также они могут быть подвержены эффекту поглощения газа на электродах, что может привести к снижению точности измерений. Кроме того, они могут быть чувствительны к магнитным полям и требовать специальных мер предосторожности при установке и эксплуатации.
Мембранно-ёмкостные вакуумметры
Данные деформационные вакуумметры, используют принцип изменения емкости мембраны под воздействием давления газа в вакуумной системе. Основным элементом мембранно-ёмкостного вакуумметра является тонкая металлическая мембрана, обычно из нержавеющей стали или титана. Мембрана закреплена по периметру и может быть выпуклой или вогнутой. Когда на мембрану действует давление газа, она начинает деформироваться, что приводит к изменению ее емкости.
Изменение емкости мембраны измеряется с помощью электронной схемы, которая определяет изменение емкости и преобразует его в соответствующий показатель давления. Мембранно-ёмкостные вакуумметры обычно имеют диапазон измерений 1000 мбар – 20 Па, 100 мбар – 2 Па, 10 мбар – 0,2 Па и могут обеспечивать точность измерений до 2,5% от показания.
Мембранно-ёмкостные вакуумметры устойчивы к агрессивным условиям и имеют компактную конструкцию, что делает их легкими в установке и использовании. Они также обладают высокой чувствительностью и быстрым откликом на изменения давления. Кроме того, они не требуют калибровки для различных газов и могут работать в широком диапазоне температур.
Данные датчики чувствительны к механическим повреждениям мембраны и вибрациям.
Каждый тип вакуумметра имеет свои преимущества и ограничения, и выбор конкретного типа зависит от требований конкретного приложения. Важно выбрать подходящий вакуумметр с учетом требуемой точности измерений, диапазона измерений и условий эксплуатации.
Вакуумметры Пирани Leaklab 91 с функцией контроля герметичности 1 атм.– 0,05 Па +-15 % с поверкой
Для выполнения работ по проверке герметичности изделий с использованием вакуумметрического метода мы рекомендуем сборку, состоящую из индикатора и двух высокоточных вакуумметров. Эти датчики обеспечивают измерение в диапазоне от атмосферного давления до 0.05 паскалей. Оборудование внесено в государственный реестр средств измерений и поверено.
Сборка соответствует требованиям ГОСТ Р 50.05.01 и нормативным документам контроля герметичности. В ГОСТ указано использование двух датчиков, в частности для обеспечения и масс-спектрометрического контроля. Метод контроля основан на вакуумировании изделия и измерении натекания после вакуумирования. В процессе испытаний на экране отображаются данные секундомера и изменение давления во времени.
Этот метод позволяет контролировать герметичность изделия и проверять допустимое натекание в системе. По завершению испытаний принимается решение о герметичности изделия, а при наличии течей выполняется их обнаружение и устранение.

