Турбомолекулярный насос CBVAC MTP-4301 на магнитном подвесе (4300 л/с, 10⁻⁷ Па)
Турбомолекулярный насос CBVAC MTP-4301 — это флагманская модель линейки MTP с магнитной подвеской ротора, разработанная для промышленных и научных систем, где требуется высокая быстрота действия, абсолютная чистота вакуума и максимальная стабильность параметров. Благодаря применению активной магнитной подвески насос работает без механических подшипников и смазки, что обеспечивает нулевое загрязнение и длительный срок службы при непрерывной эксплуатации.
Назначение и область применения
MTP-4301 используется в установках осаждения покрытий (PVD, CVD, PECVD), в системах плазмохимического травления, ионной имплантации, термообработки, анализаторах масс-спектрометров, а также в установках контроля герметичности и вакуумных печах. Он адаптирован к длительным технологическим циклам, частым пускам и остановам, устойчив к запылённым и химически активным процессам, особенно в конфигурации с продувкой азотом и подогревом фланца TMS.
Основные характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Быстрота действия (N₂ / H₂) | 4300 л/с / 2700 л/с |
| Предельное остаточное давление | ≤ 1×10⁻⁷ Па |
| Коэффициент сжатия (N₂ / H₂) | > 1×10⁸ / > 1×10³ |
| Впускной фланец | ISO320F, опции VG350 / VG400 |
| Выпускной фланец | KF40 |
| Питание | Однофазное 176–264 В AC, 50/60 Гц |
| Максимальная потребляемая мощность | 2200 Вт |
| Номинальная скорость вращения | 24 240 об/мин |
| Время разгона / замедления | ≤ 12 мин / ≤ 18 мин |
| Рекомендуемая быстрота форвакуумного насоса | > 1300 л/мин |
| Охлаждение | водяное, 3 л/мин, 15–35 °C, 0,3–0,4 МПа |
| Система термостабилизации | TMS поддерживается |
| Температура обезгаживания фланца | < 120 °C |
| Уровень шума | < 55 дБ при 24 240 об/мин |
| Степень защиты корпуса | IP54 |
| Монтажное положение | произвольное |
| Масса | ≈ 111 кг |
| Температура эксплуатации | 0…+40 °C |
| Температура хранения | −25…+55 °C |
| Продувка азотом | 50 ± 10 sccm через порт KF10 |
Конструкция и принцип действия
Ротор MTP-4301 удерживается в пространстве активной магнитной подвеской. Датчики положения и токовые регуляторы создают замкнутую систему управления, исключающую контакт между движущимися частями. Такое решение обеспечивает сверхнизкий уровень вибраций (<0,05 мкм), высокую стабильность оси вращения и отсутствие механического износа. Лопаточные пакеты ротора имеют оптимизированную аэродинамику, что обеспечивает равномерную откачку газов различной массы — от аргона до водорода.
Электроника и управление
Интегрированный контроллер объединяет функции пуска, стабилизации, диагностики, защиты и дистанционного мониторинга. Поддерживаются интерфейсы RS-232/485, REMOTE I/O, а также протоколы Modbus, Profibus и EtherCAT. Встроенные алгоритмы обеспечивают безопасное торможение при кратковременном отключении питания и автоматическое восстановление режима вращения. Система TMS контролирует температуру фланца и корпуса, исключая термодрейф и образование конденсата в зонах высоких градиентов температуры.
Эксплуатационные преимущества
- Полностью безмасляная конструкция, исключающая загрязнение вакуума.
- Высокий коэффициент сжатия по водороду — оптимально для UHV-систем.
- Минимальные вибрации и шум — подходит для чувствительных лабораторных установок.
- Длительный ресурс без обслуживания за счёт отсутствия подшипников трения.
- Совместимость с различными конфигурациями фланцев ISO, VG и CF.
- Полная совместимость с технологическими линиями PVD/CVD и системами контроля герметичности.
Интеграция в технологические системы
При установке рекомендуется использовать прямоточный вакуумный тракт с эквивалентным диаметром ISO320 и минимизацией переходных элементов. В качестве форвакуумного агрегата рекомендуется насос производительностью не менее 1300 л/мин. Для работы в реакционноспособных средах предусмотрена опция коррозионностойкого исполнения. Продувка азотом защищает внутренние поверхности от отложений и продлевает срок службы. Для оптимального охлаждения поддерживается водный поток 3–4 л/мин при давлении 0,3 МПа и температуре 15–30 °C.
Сервис и поддержка в России
Поставка и техническое обслуживание насосов CBVAC серии MTP осуществляется через лабораторию контроля герметичности «Ликлаб» — официальный сервисный центр CBVAC в России. «Ликлаб» выполняет установку и пусконаладку оборудования, проверку систем магнитной подвески, диагностику TMS и модернизацию контроллеров, а также обучение специалистов предприятий работе с высоковакуумными системами. Предоставляется полное сервисное сопровождение установок осаждения, ионной имплантации и вакуумных испытаний.
