Турбомолекулярный насос CBVAC MTP-3201 на магнитном подвесе (3200 л/с, 10⁻⁷ Па)
CBVAC MTP-3201 — это турбомолекулярный насос нового поколения с полностью магнитной подвеской ротора, интегрированным контроллером и водяным охлаждением. Конструкция исключает контактные подшипники, вибрации и необходимость смазки, что обеспечивает абсолютную чистоту вакуума, высокий ресурс и стабильную работу в диапазоне от атмосферного до 10⁻⁷ Па.
Назначение и область применения
Насос MTP-3201 предназначен для промышленных и научных установок, где требуется высокий и сверхвысокий вакуум: осаждение покрытий (PVD, CVD, PECVD), ионная имплантация, травление, вакуумная термообработка материалов, производство LED и фотопанелей, системы контроля герметичности, а также исследовательские стенды. Благодаря устойчивости к загрязнениям и низкому уровню шума < 55 дБ MTP-3201 рекомендован для чистых производств и лабораторных комплексов.
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Быстрота действия (N₂ / H₂) | 3200 л/с / 2300 л/с |
| Предельное остаточное давление | ≤ 1×10⁻⁷ Па |
| Коэффициент сжатия N₂ / H₂ | > 1×10⁸ / > 2×10³ |
| Впускной фланец | ISO320F (опция ISO250F или VG350) |
| Выпускной фланец | KF40 |
| Питание | Однофазное 176–264 В AC, 50/60 Гц |
| Максимальная входная мощность | 1800 Вт |
| Номинальная скорость вращения | 27 720 об/мин |
| Время разгона / остановки | ≤ 10 мин / ≤ 16 мин |
| Охлаждение | водяное (расход 3 л/мин, 15–35 °C, 0.3–0.4 МПа) |
| Температура обезгаживания фланца | < 120 °C |
| Рекомендуемая быстрота форвакуумного насоса | > 1300 л/мин |
| Уровень шума | < 55 дБ при 27 720 об/мин |
| Степень защиты | IP54 |
| Масса | ≈ 84 кг |
| Температура эксплуатации | 0 – 40 °C |
| Температура хранения | –25 – 55 °C |
| Подача азота для продувки | 50 ± 10 sccm (через порт KF10) |
| Система термостабилизации TMS | Поддерживается |
Конструктивные и эксплуатационные особенности
Ротор MTP-3201 подвешен в активном магнитном поле, формируемом цифровыми датчиками и регуляторами положения. Это исключает износ, трение и контактные нагрузки. Отсутствие смазки в зоне высокого вакуума исключает углеродное загрязнение камер и повышает чистоту процессов. Поддержание оптимальной температуры фланца и корпуса осуществляется через систему TMS, что позволяет сохранять устойчивую работу при форвакуумных давлениях до 266 Па.
Интерфейсы и управление
Насос оснащён интегрированным контроллером с интерфейсами REMOTE I/O и RS-232/485 и поддерживает протоколы Modbus, Profibus и EtherCAT. Встроенные функции включают автоматический пуск, регулировку скорости, диагностику состояния магнитной подвески и температуры, а также алгоритмы безопасной остановки при сбое питания (с сохранением вращения около 5000 об/мин до контролируемого торможения).
Преимущества и ресурс
- Полностью безмасляная конструкция — идеальна для чистых производств.
- Повышенная устойчивость к вибрациям и внешним магнитным помехам.
- Низкий уровень шума и высокая энергоэффективность.
- Долговечный ротор без необходимости замены подшипников.
- Совместимость с технологическими средами и газами низкой коррозионной активности.
Поставка и сервис в России
Официальным центром поставки и технического сопровождения насосов серии MTP в России является Лаборатория контроля герметичности «Ликлаб». Лаборатория выполняет монтаж, ввод в эксплуатацию, обслуживание систем магнитной подвески, настройку TMS и коммуникационных интерфейсов, а также обучение инженеров и сервисных специалистов. В рамках сервисного сопровождения возможна периодическая калибровка и диагностика насосов в установках высокого вакуума и контроля герметичности.