Турбомолекулярный насос CBVAC MTP-2201 на магнитном подвесе (2200 л/с, 10⁻⁷ Па)
CBVAC MTP-2201 представляет собой высокопроизводительный турбомолекулярный насос с полностью магнитной подвеской ротора и встроенным контроллером. Отсутствие механических подшипников исключает смазочные материалы в вакуумном контуре, снижает уровень вибраций и акустическую нагрузку, повышает ресурс и стабильность параметров при длительной непрерывной работе в чистых технологических процессах.
Назначение
Насос предназначен для высокочистых производственных и научных установок: напыление покрытий PVD/CVD/PECVD, плазмохимическое травление, ионная имплантация, транспортные и шлюзовые камеры, вакуумные печи и стенды контроля герметичности. Конструкция допускает произвольное монтажное положение, что упрощает компоновку оборудования.
Принцип действия и особенности
Ротор вращается в системе активных магнитных подшипников под управлением цифрового регулятора. Микрометровые зазоры поддерживаются замкнутой системой датчиков положения и токовых приводов. Интегрированный контроллер обеспечивает запуск, стабилизацию скорости, диагностику подвески и безопасное торможение. Реализована система термостабилизации фланца TMS для снижения дрейфа параметров и предотвращения конденсации. Стандартный продувочный тракт подает азот со скоростью 50±10 sccm для защиты лопаточных пакетов при влажных или реакционноспособных газах.
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Быстрота действия по N₂ / Ar / H₂ | 2200 / 1900 / 1700 л/с |
| Предельное остаточное давление | ≤ 1×10⁻⁷ Па |
| Коэффициент сжатия N₂ / H₂ | >1×10⁸ / >1×10⁴ |
| Впускной фланец | ISO250F |
| Выпускной фланец | KF40 |
| Скорость вращения номинальная / ожидание | 27 000 об/мин / ~5 000 об/мин |
| Время разгона / замедления | < 8 мин / < 11 мин |
| Рекомендуемая быстрота форвакуумного насоса | > 1300 л/мин |
| Температура обезгаживания впускного фланца | < 120 °С |
| Охлаждение | водяное, TMS поддерживается |
| Уровень шума | < 55 дБ при 27 000 об/мин |
| Степень защиты корпуса | IP54 |
| Монтажное положение | произвольное |
| Температура эксплуатации / хранения | 0…+40 °С / −25…+75 °С |
| Масса | ≈ 62 кг |
| Расход азота на продувку | 50 ± 10 sccm |
Интеграция в установку
Для сохранения паспортной быстроты действия рекомендуется прямоточный входной тракт с эквивалентным диаметром не менее ISO250, минимизация поворотов и переходов, вакуумная арматура класса UHV и корректный тепловой зазор для TMS. Форвакуумный тракт должен обеспечивать устойчивое давление на выходе насоса ниже допустимого и расход свыше 1300 л/мин с учетом глушителя и конденсатоуловителя. При работе с влагосодержащими средами следует активировать продувку азотом и термостабилизацию фланца. Допускается произвольная ориентация корпуса, при этом линии охлаждающей воды прокладываются с защитой от кавитации и соответствием требованиям по расходу и температуре.
Эксплуатационные преимущества
Полностью безмасляная опора ротора исключает источники частиц и деградацию параметров от смазок, что критично для чистых помещений и тонкопленочных процессов. Низкий уровень шума и вибраций упрощает механическую развязку камеры. Быстрый запуск и предсказуемое торможение повышают доступность оборудования в тактовых процессах. Встроенная диагностика подвески и температур обеспечивает предиктивное обслуживание, а ресурс ротора не ограничен регламентом замены подшипников, характерным для механических опор.
Поставка и сервис в России
Поставку, ввод в эксплуатацию и техническое обслуживание MTP-2201 выполняет официальный сервисный центр CBVAC в России — лаборатория контроля герметичности «Ликлаб». Специалисты «Ликлаб» выполняют инженерный подбор конфигурации, интеграцию по интерфейсам REMOTE/RS-485, настройку TMS и продувки, метрологическое сопровождение узлов вакуумирования, обучение персонала и сервисную поддержку линий PVD/CVD и установок контроля герметичности.
