Магниторазрядный насос ЗL-25 (21 л/с, 7×10⁻⁸ Па)
ЗL-25 — малогабаритный магниторазрядный насос, предназначенный для поддержания сверхвысокого вакуума в небольших объёмах и приборах аналитического класса. При пуске требуется лишь предварительная откачка до 10⁻¹ Па, после чего насос функционирует автономно. Рабочее напряжение 5–7 кВ обеспечивает устойчивый разряд при минимальном токе. Благодаря компактной конструкции и низкому тепловыделению, ЗL-25 широко используется в системах, где ограничены размеры и требования по вибрации. Согласно инженерным обзорам и экспериментам, насос демонстрирует стабильное давление < 10⁻⁷ Па при фоновой нагрузке < 10⁻⁶ Па·л/с, что делает его эффективным решением для поддерживающей откачки в компактных установках UHV-класса.
Описание
Магниторазрядный насос ЗL-25
ЗL-25 — малогабаритный магниторазрядный насос для поддержания сверхвысокого вакуума в небольших камерах подготовительных и аналитических узлов. Насос ориентирован на стабильную работу при предельно малых токах, что упрощает тепловой режим узла и повышает общее ресурсное окно системы.
Паспортные параметры
| Номинальная скорость откачки по N₂ | ≈ 21 л/с |
| Предельное давление | до 7×10⁻⁸ Па |
| Давление включения после предварительной откачки | ≤ 1×10⁻¹ Па |
| Рабочее напряжение | 5–7 кВ |
| Совместимость с длительным bake-out | до 250 °C при снятом источнике питания |
Почему ЗL-25 рационален для малого объёма
В диапазоне объёмов до 30–60 л доминируют поверхностные потоки десорбции, а не объёмная газонагрузка. Ионный насос с титановой мишенью эффективен именно против таких потоков, что подтверждается моделью степенного спада десорбции после термообработки. При идентичной чистоте сборки уменьшение геометрической периметрии камеры снижает интегральную газонагрузку пропорционально площади, и скорости порядка 20 л/с достаточно для достижения давления ниже 10⁻⁷ Па без дополнительных ступеней поддержания.
Эксплуатационные преимущества
Отсутствие обратной диффузии и нулевая вибрация позволяют монтировать ЗL-25 непосредственно на CF-порт камеры без рискa деградации измерительных трактов. Низкое электропотребление облегчает интеграцию в мобильные стенды и стойки с ограничением по тепловыделению. При наличии триодных ячеек улучшается удержание инертных газов, что важно в системах с частыми вскрытиями и напусками аргона.
Рекомендации по пуску и кондиционированию
Для надёжного старта требуется предварительная откачка турбомолекулярным или сухим форвакуумным трактом до 10⁻¹ Па. После зажигания разряда подкачка не нужна. Для достижения паспортного предела рекомендован термовакуумный прогрев и строгое соблюдение чистого монтажа с металлическими уплотнениями.