Описание
Магниторазрядный насос ЗL-100
ЗL-100 — компактный магниторазрядный насос с титановой катодной системой, рассчитанный на поддержание сверхвысокого вакуума в средних и малых объёмах. Конструкция оптимизирована по магнитному полю для устойчивого разряда при низких токах и минимальном собственном газовыделении.
Паспортные данные
| Номинальная скорость откачки по N₂ | ≈ 110 л/с |
| Предельное давление | до 7×10⁻⁸ Па |
| Диапазон запуска | ≤ 1×10⁻¹ Па после предварительной откачки |
| Рабочее высокое напряжение | 5–7 кВ, с автоматикой поддержания тока |
| Совместимость с bake-out | до 250 °C (без источника питания) |
| Материал катодов | Ti (возможна конфигурация Ti/Zr для повышенного ресурса) |
Особенности, подтверждённые исследованиями
Газозависимая скорость откачки определяет оптимальные области применения. Для водорода, доминирующего в UHV после термоотжига нержавеющей стали, ионные насосы демонстрируют наивысшую удельную скорость, что согласуется с моделью диффузии H в аустените и эффективным захватом в титане. Для СО и N₂ скорость сопоставима с паспортной, для инертных газов целесообразно использовать триодные ячейки, снижающие вероятность возвращения нейтрализованных атомов. В экспериментах по устойчивости вакуума при циклическом нагреве/охлаждении дрейф давления оставался ниже 10⁻⁷ Па при фоновой газовой нагрузке <10⁻⁶ Па·л/с на объём до 200 л, что свидетельствует о достаточном запасе по скорости ЗL-100.
Инженерные преимущества
Отсутствие обратной диффузии рабочих жидкостей обеспечивает чистоту поверхности образцов при электронно-зондовой микроскопии. Полное отсутствие вибраций позволяет монтировать насос непосредственно на камеру без демпферов. Электрическая мощность определяется током разряда и обычно не превышает единиц ватт, что снижает тепловую нагрузку на фланец.
Рекомендации по интеграции
Для объёмов 50–200 л насос применяют как поддерживающий после пусковой турбомолекулярной ступени. В тракте следует минимизировать потери проводимости: использовать CF-фланцы, короткие отрезки трубы с отношением длина/диаметр < 3. На запуске контролировать ток-напряжение, избегая длительной работы на предельном токе при повышенной газовой нагрузке.