Вакуумные реле CBVAC — точные переключатели давления для промышленных и исследовательских вакуумных систем
Вакуумные реле CBVAC предназначены для автоматического контроля и управления процессами, где требуется фиксировать достижение определённого уровня давления или вакуума. Эти устройства выполняют функцию точного «датчика-сигнализатора», замыкая или размыкая электрическую цепь при достижении заданной уставки. Благодаря этому они играют ключевую роль в обеспечении безопасности, стабильности и корректной последовательности работы вакуумных систем.
Основная задача таких реле — предотвратить запуск оборудования, когда давление ещё не достигло допустимого уровня. Например, турбомолекулярный насос не должен включаться, если форвакуум не создан — это может привести к перегрузке и поломке ротора. В этом случае реле вакуума, установленное на линии между форвакуумным и турбомолекулярным насосом, разрешает включение только после достижения нужного разрежения. Аналогично, при падении вакуума ниже уставки реле размыкает цепь, автоматически останавливая оборудование и предотвращая аварию.
В производственных процессах реле CBVAC применяются также для:
– защиты вакуумных камер и криогенных сосудов от избыточного давления;
– сигнализации о потере герметичности;
– включения и отключения клапанов, насосов и нагревателей в зависимости от давления;
– межблочной защиты технологических линий;
– формирования команд в системах управления, где требуется строгое соблюдение порядка операций.
Реле CBVAC широко используются в установках осаждения покрытий (PVD, CVD), в производстве микросхем, в установках контроля герметичности и испытательных стендах, в вакуумных печах, а также в системах криогенной техники. Их высокая точность, повторяемость и герметичность делают их особенно востребованными в лабораторных и метрологических комплексах.Вакуумные реле CBVAC (серии APS, PS и VS) — это надёжные, герметичные и повторяемые переключатели давления, предназначенные для автоматизации, сигнализации и защиты вакуумных установок. Они применяются в системах, где необходимо безопасное включение оборудования только после достижения заданного давления или вакуума, а также для контроля состояния вакуумных линий, шлюзовых камер и насосных контуров.
Реле CBVAC широко используются в составе оборудования для контроля герметичности, технологических вакуумных процессов, научных установок и криогенных систем. Их конструкция обеспечивает стабильную работу даже при резких перепадах давления, температурных колебаниях и воздействии вибраций.
Техническое совершенство конструкции
Реле CBVAC спроектированы с применением технологий, характерных для приборов класса «ультрачистый вакуум» (UHV). Полностью сварная конструкция из стали 316L VIM-VAR обеспечивает исключительную герметичность, минимальную дегазацию и устойчивость к коррозионно-активным средам (в том числе галогенсодержащим).
Используемые диафрагмы Hastelloy C-22 и C-276 сохраняют упругие свойства в широком диапазоне температур и не подвержены усталостным разрушениям даже при многомиллионных циклах работы. При этом благодаря оригинальной схеме щелчкового механизма (snap-action Belleville spring) обеспечивается чёткое и быстрое переключение без дребезга контактов, что критически важно для интерфейса с ПЛК и системами безопасности.
Дополнительные преимущества
- Сверхнизкая утечка корпуса: менее 1×10⁻¹⁰ Па·м³/с — показатель, соответствующий требованиям ISO 3567 для UHV-компонентов.
- Высокая повторяемость точки срабатывания: ±5 Torr + 2% номинала (для APS48), что позволяет использовать их как первичный контрольный элемент в критических технологических процессах.
- Долговечность: не менее 1 000 000 циклов срабатывания при сохранении точности и стабильности.
- Минимальный дрейф уставки: изменение точки срабатывания менее ±1% после 100 000 циклов.
- Малая собственная ёмкость и индуктивность: возможно подключение напрямую к цифровым входам ПЛК без дополнительных согласующих модулей.
- Работа при вибрации: конструкция с осевым демпфированием обеспечивает устойчивость при вибрации до 10 g в диапазоне 10–2000 Гц.
Функциональные особенности
Реле CBVAC обеспечивают точное срабатывание на рост или падение давления, что позволяет реализовать гибкие логические функции:
- контроль включения турбомолекулярного насоса только при достижении требуемого форвакуумного давления;
- автоматическое закрытие клапанов при потере вакуума;
- управление блокировками подачи газа или питания;
- включение защиты при превышении безопасного давления в вакуумной камере.
Для высокотемпературных процессов (до 180 °C) доступна версия APS-HT с усиленной термоизоляцией и тефлоновой кабельной разводкой. Для чистых лабораторных применений — модификации APS-UHV с анодированной поверхностью и улучшенным контролем дегазации.
Применение в системах контроля герметичности
Лаборатория контроля герметичности «Ликлаб» (Leaklab) активно внедряет реле CBVAC в составе стендов для испытаний на герметичность, вакуумных камер и установок контроля течей. В таких системах реле используются для:
- сигнализации о достижении вакуума перед началом гелиевого течеискания;
- автоматического переключения режимов «откачка → испытание»;
- управления клапанами подачи гелия и защиты от превышения давления;
- мониторинга разрежения в ресиверах и буферных линиях.
«Ликлаб» выполняет поставку, настройку, калибровку и поверку реле CBVAC в соответствии с ГОСТ 8.586 и ГОСТ Р 50.05.01-2018. Инженеры лаборатории также проводят интеграцию реле в системы управления на базе ПЛК и контроллеров Siemens, Beckhoff и Овен, обеспечивая метрологическую прослеживаемость и надёжную эксплуатацию оборудования.
Практические рекомендации по эксплуатации
Для долговременной работы реле CBVAC рекомендуется:
- устанавливать прибор вблизи точки измерения, избегая длинных трубопроводов и мёртвых зон;
- при пыльных средах применять фильтрующий элемент или отстойник;
- при подключении к ПЛК использовать экранированный кабель с заземлением на стороне контроллера;
- в системах с сильными вибрациями — монтировать реле на демпфирующем основании;
- периодически проверять уставку по эталонному вакуумметру или барометру (не реже 1 раза в год).
Таким образом, вакуумные реле CBVAC являются идеальным выбором для всех отраслей, где требуется точный контроль давления — от микроэлектроники и научных лабораторий до химического машиностроения и испытательных комплексов.