Баратрон CBVAC MM1 — промышленный мембранно-ёмкостный вакуумметр для высокотемпературных процессов
CBVAC MM1 — это промышленный мембранно-ёмкостный вакуумметр (баратрон) повышенной прочности, разработанный для эксплуатации в условиях высокой температуры, вибраций и загрязнённой технологической среды. Прибор обеспечивает точное измерение абсолютного давления от 0,1 до 1000 Торр и гарантирует погрешность не хуже ±0,25 % от показания в диапазоне рабочих температур до +120 °C. Благодаря усиленной термостабилизации и полностью сварной никелевой конструкции MM1 предназначен для непрерывных технологических процессов и контроля герметичности промышленных установок.
Конструктивные особенности
Модель MM1 использует тот же физический принцип, что и другие баратроны CBVAC — измерение изменения ёмкости между мембраной и неподвижным электродом при деформации под действием давления. Однако конструкция корпуса, мембраны и электроники оптимизирована для эксплуатации в «жёстких» промышленных условиях. Корпус выполнен из никелевого сплава с повышенной коррозионной стойкостью, элементы электроники термоустойчивы и защищены от вибраций и пыли. Встроенный подогрев обеспечивает стабильную работу при температурах окружающей среды до +120 °C, исключая образование конденсата и адсорбцию технологических газов.
Основные преимущества
- Расширенный температурный диапазон эксплуатации — до +120 °C.
- Высокая точность — ±0,25 % от показания, даже при длительной работе в высокотемпературных условиях.
- Полностью сварная конструкция, устойчивая к вибрации, пыли и коррозии.
- Поддержка аналогового выхода 0–10 В для простого подключения к промышленным системам управления.
- Не требует периодической регулировки и не чувствителен к составу газа.
- Подогрев мембраны и корпуса предотвращает загрязнение и адсорбцию паров.
- Устойчивость к электромагнитным помехам и перенапряжениям в промышленных сетях.
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Диапазоны измерения | 0,1 – 1000 Торр (абсолютное давление) |
| Тип измерения | Абсолютное, независимо от состава газа |
| Точность | ±0,25 % от показания при 45 °C – 100 °C |
| Разрешение | 0,001 % от полной шкалы |
| Время отклика | < 20 мс |
| Температура подогрева | 45 °C / 100 °C / 120 °C (в зависимости от исполнения) |
| Температурный коэффициент нуля | ≤ 0,003 % F.S./°C |
| Температурный коэффициент шкалы | ≤ 0,02 % от показания / °C |
| Выходной сигнал | 0 – 10 В DC (нагрузка ≥ 10 кОм) |
| Питание | ±15 В DC ±5 % / 24 В DC (опционально) |
| Перегрузочная способность | до 310 кПа |
| Рабочая температура | 0…+120 °C (с подогревом) |
| Материалы, контактирующие с газом | Никелевый сплав высокой чистоты |
| Присоединения | KF16 / KF25 / CF16 / CF35 / VCR / 1/2 Tube |
| Электрический разъём | DB15 / DB9 (опционально) |
| Время прогрева | 2–4 часа (в зависимости от температуры нагрева) |
| Температура хранения | –25…+75 °C |
Отличие от других моделей CBVAC
В отличие от моделей CM1 и DM1, предназначенных для лабораторных и метрологических измерений, баратрон MM1 рассчитан на тяжёлые промышленные условия и длительную эксплуатацию при высокой температуре. В отличие от HM1 (оснащённого релейными уставками), MM1 не имеет реле, но обладает повышенной термостойкостью, улучшенной защитой электроники и повышенным классом промышленной герметичности. Он оптимален для применения в вакуумных линиях химических, фармацевтических, металлургических и энергетических производств.
Области применения
Баратрон MM1 используется для измерения и контроля давления в установках: — плазменного травления и химического осаждения (CVD, PECVD);
— металлургического вакуумирования и дегазации;
— систем контроля герметичности и вакуумных камер испытаний;
— криогенных и термовакуумных установок;
— фармацевтических и химических реакторов, работающих под разрежением.
Поставка и сервис
Лаборатория контроля герметичности «Ликлаб» является официальным сервисным партнёром и дистрибьютором CBVAC в России. Специалисты лаборатории выполняют поставку, калибровку, поверку и метрологическое сопровождение баратронов серий CM1, DM1, EM1, HM1 и MM1. Все приборы проходят проверку в соответствии с ГОСТ 8.586 и ГОСТ Р 50.05.01-2018. «Ликлаб» также предоставляет инженерные решения по интеграции датчиков давления в автоматизированные вакуумные системы.