Винтовой вакуумный насос CBVAC SSH3020H (3000 м³/ч, 0,5 Па)
CBVAC SSH3020H — это флагманский промышленный сухой винтовой вакуумный насос с переменным шагом винта, предназначенный для создания чистого безмасляного вакуума в диапазоне давлений до 0,5 Па. Модель обладает производительностью 3000 м³/ч (50 000 л/мин) и рассчитана на непрерывную эксплуатацию в тяжёлых технологических процессах, где требуется стабильная работа, высокая энергоэффективность и чистая вакуумная среда.
Назначение и область применения
SSH3020H применяется в высокотехнологичных областях — производстве полупроводников, солнечных панелей, вакуумных покрытий, фармацевтических установках, химических реакторах и вакуумных системах контроля герметичности. Благодаря двухступенчатой винтовой конструкции и запатентованной геометрии роторов насос обеспечивает равномерную откачку газов без обратного потока и исключает загрязнение рабочей среды углеводородами.
Принцип работы
В основе конструкции — пара винтовых роторов с переменным шагом, вращающихся синхронно в противоположных направлениях. Газ засасывается через фланец ISO160, перемещается вдоль винтового канала и выталкивается через выход KF40, проходя последовательные стадии сжатия. Отсутствие трения и масла в контуре позволяет эксплуатировать насос в условиях, где требуется чистый вакуум (например, в линиях PVD/CVD или при откачке гелиевых смесей). Встроенный водоохлаждаемый электропривод с постоянными магнитами и инверторным управлением обеспечивает плавный пуск, низкий уровень шума и стабильную скорость вращения роторов.
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Быстрота действия | 50 000 л/мин (3000 м³/ч; 1765 cfm) |
| Предельное остаточное давление | 0,5 Па (5×10⁻³ мбар; 3,75×10⁻³ Torr) |
| Электропитание | 380/220 В, 50/60 Гц, три фазы |
| Номинальная мощность двигателей | 5,5 + 5,5 кВт (7,4 + 7,4 л.с.) |
| Рабочая мощность | 0,8 + 2,5 кВт |
| Входное соединение | ISO160 |
| Выходное соединение | KF40 |
| Охлаждение | водяное, расход 4–8 л/мин, давление 3–5 кг/см², температура 0–25 °С, соединение Swagelok Rc 3/8″ |
| Азотная продувка | давление 0,1–0,2 МПа, расход 12–100 л/мин, подключение Swagelok 1/4″ |
| Интерфейс управления | RS-485, Modbus RTU, удалённые дискретные входы/выходы |
| Рабочая температура | +5…+40 °С |
| Влажность | ≤ 80 % RH |
| Уровень шума | ≤ 75 дБ(А) |
| Габариты (Д×Ш×В) | 1006×520×885 мм |
| Масса | 500 кг |
| Номер для заказа | 4.5.A5034 |
Особенности и преимущества SSH3020H
- Переменный шаг винта — равномерное сжатие газа, минимизация нагрева и повышение энергоэффективности.
- Двойной электропривод — независимая синхронизация роторов обеспечивает стабильность при скачках давления.
- Чистая вакуумная камера — отсутствие масла гарантирует чистоту среды и снижает затраты на обслуживание.
- Водоохлаждение и азотная продувка — стабильная температура, предотвращение конденсации и коррозии.
- Современная система управления — поддержка RS-485 и Modbus RTU, мониторинг скорости, температуры и состояния подшипников.
- Энергоэффективный дизайн — двигатели класса IE4 обеспечивают низкое энергопотребление и увеличенный ресурс.
- Тихая работа — уровень шума не превышает 75 дБ(А), что позволяет размещать насос в лабораторных помещениях.
Применение
SSH3020H используется для:
- вакуумного осаждения (PVD, CVD, PECVD);
- технологий травления и очистки в микроэлектронике;
- вакуумной сушки, дегазации и упаковки;
- откачки при производстве оптических и криогенных систем;
- установок контроля герметичности на производственных линиях;
- фармацевтических и химических процессов, требующих чистого вакуума.
Сервис и поддержка «Ликлаб»
В России насосы серии SSH, включая модель SSH3020H, официально поставляются и обслуживаются Лабораторией контроля герметичности «Ликлаб» — аккредитованным сервисным центром CBVAC. «Ликлаб» выполняет подбор насосного оборудования, проектирование вакуумных систем, ввод в эксплуатацию, калибровку и техническое обслуживание. В лаборатории также проводится обучение инженеров предприятий по эксплуатации сухих насосов и систем контроля герметичности. Сервисная поддержка включает диагностику, замену подшипников, проверку балансировки роторов и обновление систем управления.
Благодаря сотрудничеству CBVAC и «Ликлаб» российские предприятия получают надёжное и эффективное решение для создания безмасляного вакуума в чистых и технологически сложных процессах.