Ионный напылитель SBC-12 предназначен для формирования тонких проводящих покрытий на образцах перед наблюдением в сканирующем электронном микроскопе. Устройство работает по методу DC-ионного распыления, обеспечивая высокую равномерность нанесения слоев золота, платины, палладия, серебра, медных и других металлических целевых материалов. Компактная стеклянная камера, простое ручное управление, собственная форвакуумная система и поддержка до 12 стандартных держателей образцов делают SBC-12 оптимальным решением для лабораторий, использующих малые и средние СЭМ. Напылитель отличается стабильностью разряда, удобством обслуживания и возможностью точной регулировки рабочего давления за счет встроенного микроподпуска газа. Лаборатория Ликлаб обеспечивает поставку, ввод в эксплуатацию, подбор мишеней и сервисное обслуживание оборудования.
Описание
Мини-ионный напылитель SBC-12 (DC Ion Sputter Coater) для подготовки образцов СЭМ
Устройство SBC-12 представляет собой компактный ионный напылитель постоянного тока, предназначенный для формирования тонких проводящих покрытий на поверхности образцов перед исследованием в сканирующем электронном микроскопе. Нанесение металлизированного слоя устраняет зарядку непроводящих материалов под электронным пучком, повышает контраст и стабильность изображения, а также обеспечивает корректную работу детекторов вторичных и обратноотражённых электронов. Прибор ориентирован на лаборатории, использующие малые и средние СЭМ, где требуется регулярная подготовка проб без избыточной инфраструктуры.
Назначение и области применения
Основная функция SBC-12 — плазменное ионное распыление металлических мишеней с последующим осаждением покрытия на образцы. Прибор применяют при подготовке полимеров, керамик, порошков, композитов, природных материалов, биологических объектов после фиксации и высушивания, а также микроэлектронных изделий. В качестве стандартной мишени используется золото, однако конструкция допускает работу с широким спектром металлов и сплавов: платиной, палладием, золотопалладиевым и платиновым сплавами, серебром, медью, сурьмой, оловом, цинком, индием и другими проводящими материалами, применяемыми в практике электронной микроскопии и микротехнологий.
Принцип работы
Напыление выполняется в стеклянной вакуумной камере. После откачки до рабочего давления в камеру подается рабочий газ, формируется разряд и создаётся плазма. Ионы газа ускоряются электрическим полем и распыляют материал мишени, который затем конденсируется на поверхности образцов в виде равномерной проводящей плёнки. Регулирование давления и подача газа осуществляются вручную, что обеспечивает простую эксплуатацию и повторяемость типовых режимов подготовки.
Технические характеристики SBC-12
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Тип прибора | DC-ионный напылитель (DC ion sputter coater) |
| Метод напыления | Ионное распыление постоянного тока (DC sputtering) |
| Стандартная мишень | Au (золото), диаметр 58 мм |
| Камера напыления | Стеклянная, внутренний диаметр 100 мм, высота 130 мм |
| Стандартный столик образцов | Диаметр 40 мм, размещение до 12 держателей образцов СЭМ диаметром 13 мм |
| Способ управления | Ручной |
| Вакуумная система | Форвакуумный пластинчато-роторный насос прямого подключения, производительность порядка 1 л/с |
| Контроль вакуума | Пирометрический вакуумметр (pitometer) |
| Защита по вакууму | Ограничение работы при давлении выше 20 Па; предусмотрен микроподпускной клапан для настройки рабочего давления |
| Рабочий газ | Воздух или аргон; отдельный вход аргона и микроподпуск для регулирования давления |
| Гарантия | 12 месяцев |
Практические преимущества
SBC-12 отличается компактностью и простотой обслуживания. Ручное управление снижает требования к квалификации оператора в части программной настройки, а конструкция камеры и стола обеспечивает быструю подготовку серии малых образцов. Использование стандартной золотой мишени закрывает большинство задач в СЭМ-диагностике, а возможность замены мишеней расширяет диапазон применений для аналитических и технологических работ. Совокупность этих факторов делает прибор рациональным решением для учебных, исследовательских и производственных лабораторий, где требуется стабильное качество проводящих покрытий при умеренной стоимости владения.
Поставка и сервис в Лаборатории Ликлаб
Лаборатория Ликлаб выполняет подбор и поставку ионных напылителей SBC-12 в составе решений для электронной микроскопии, включая согласование конфигурации под задачи заказчика и совместимость с используемыми СЭМ и держателями образцов. На этапе ввода в эксплуатацию проводится проверка вакуумной части, отстройка режимов подпуска газа, контроль стабильности разряда и оценка равномерности покрытия на эталонных образцах. Сервисная поддержка включает регламентное обслуживание насосов, диагностику герметичности камеры, восстановление достижимого давления и консультации по выбору мишеней и режимов напыления для различных типов материалов.
SBC-12 — компактный DC-ионный напылитель, предназначенный для формирования качественных проводящих покрытий на образцах перед исследованием в СЭМ. Прибор обеспечивает удобную серийную подготовку проб, поддерживает применение различных металлических мишеней и обладает достаточными вакуумными и плазменными характеристиками для лабораторных задач малых и средних СЭМ.
Скачать техническую карточку
Установка напыления пленок в вакууме SBC-12
