Описание
Магнетронная система ионного напыления SBC-16
Магнетронный ионный распылитель SBC-16 предназначен для формирования высококачественных проводящих и полупроводящих покрытий на образцах, применяемых в сканирующей электронной микроскопии. Установка разрабатывалась для работы с чувствительными, непроводящими и термолабильными материалами, которые не допускают нагрева при подготовке. Благодаря холодному магнетронному распылению покрытие образца выполняется без риска деформации и термических повреждений.
В лаборатории Ликлаб SBC-16 используется как один из основных подготовительных инструментов при работе с полимерными, биологическими, дисперсными и композитными материалами, а также при подготовке электродов, функциональных покрытий и тонких металлических плёнок для различных исследовательских задач.
Назначение и область применения SBC-16
Установка предназначена для нанесения тонких металлических покрытий на непроводящие образцы перед их исследованием в СЭМ. Магнетронный режим обеспечивает низкую тепловую нагрузку на поверхность, что особенно важно при работе с:
• полимерными плёнками;
• биологическими объектами;
• продуктами аддитивного производства;
• мягкими органическими материалами;
• смолами, гелями и композициями;
• порошковыми и пористыми структурами.
Система подходит не только для СЭМ-визуализации, но и для подготовки электродов, токопроводящих элементов и широкого класса металлических покрытий, требующих равномерного распределения и стабильной адгезии.
Преимущества SBC-16
SBC-16 — это настольная магнетронная установка, обеспечивающая высокую скорость напыления, стабильность параметров и полный контроль процесса благодаря микропроцессорной системе управления.
Ключевые преимущества установки:
• высокая скорость осаждения плёнки;
• отсутствие нагрева и термоповреждений образца;
• превосходная адгезия покрытия;
• возможность напыления на большие площади;
• регулируемая сила тока и давление в камере;
• точный цифровой контроль режима распыления;
• предотвращение короткого замыкания при недостаточном вакууме;
• защита чувствительных образцов, предотвращение деформации;
• устойчивый холодный распылительный процесс.
Конструктивные особенности и функциональность
SBC-16 оснащён камерой с регулируемым рабочим пространством, системой микропроцессорного управления и магнетронной распылительной головкой. Установка позволяет выполнить предварительную настройку давления и тока, исключая ошибки оператора и минимизируя вероятность повреждения образца.
Стандартная комплектация предусматривает установку до 12 держателей образцов с изменяемой высотой размещения. Это обеспечивает удобство групповой подготовки серийных образцов и повышает пропускную способность лабораторных процессов.
Технические характеристики SBC-16
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Тип распыления | Магнетронное DC-распыление |
| Материал мишени | Au (стандарт), Pt (опция), Ø57 мм × 0,1 мм |
| Столик образцов | До 12 держателей, регулируемая высота до 60 мм |
| Диапазон тока напыления | 5–30 мА, цифровое микропроцессорное управление |
| Индикация | Вакуум: Atm–1×10⁻³ mbar; ток: 0–99 мА |
| Управление | Микропроцессор, циклы 1–999 с, автопрокачка, автонапыление, авторазгерметизация |
| Скорость откачки | 133 л/мин |
| Предельный вакуум | 10⁻⁴ mbar |
| Уровень шума | 56 dB |
Использование SBC-16 в Лаборатории Ликлаб
В составе лабораторного комплекса Ликлаб SBC-16 применяется для подготовки образцов перед высокоразрешающей визуализацией на сканирующих электронных микроскопах KYKY, ULVAC, Hitachi, JEOL и других системах. Отработанные методики позволяют формировать покрытия минимальной толщины без артефактов, что критически важно для корректной интерпретации результатов СЭМ-анализа.
Инженеры Ликлаб обеспечивают обучение работе с установкой, подбор оптимальных режимов напыления для различных типов материалов и техническое сопровождение оборудования.
SBC-16 — универсальное решение для подготовки непроводящих и термочувствительных образцов, объединяющее высокую точность, стабильность и практичность в лабораторной эксплуатации.