Описание
Сканирующий электронный микроскоп KYKY EM-8200
Сканирующий электронный микроскоп KYKY EM-8200 относится к линейке стационарных лабораторных СЭМ KYKY, предназначенных для измерения линейных размеров, оценки формы, ориентировки и иных параметров нано- и микроструктур поверхностей твердых тел и композиционных материалов. Принцип действия основан на взаимодействии сфокусированного электронного пучка с поверхностью образца и формировании изображения при его развертке по области исследования. Достижимые увеличение и разрешение зависят от выбранной модификации прибора, типа образца и условий эксперимента.
По конструктивному исполнению EM-8200 представляет собой настольный комплекс, включающий электронную колонну, вакуумную систему, управляющую электронику, набор детекторов и форвакуумный насос. Управление, сбор данных, обработка и архивирование результатов выполняются внешним персональным компьютером под управлением специализированного ПО KYM SEM, выполняющего измерительные функции и исключающего несанкционированное изменение метрологически значимых параметров.
Конструктивные и функциональные особенности EM-8200
Камера образцов рассчитана на установку исследуемых объектов на держателях различного типа; стандартный держатель выполняется в виде диска диаметром 12,5 мм с ножкой 3 мм. Для повышения удобства работы предусмотрена возможность подключения выносной панели оперативного управления параметрами. При необходимости микроскоп дооснащается аналитическими системами: энергодисперсионным и волнодисперсионным микроанализом, EBSD-системами, катодолюминесцентными и иными специализированными детекторами.
Пломбирование корпуса не предусматривается, нанесение знака поверки на корпус также не требуется; идентификация экземпляра выполняется по заводскому номеру на табличке.
Основные технические характеристики KYKY EM-8200
| Параметр | EM-8200 Standard | EM-8200 Ultra |
|---|---|---|
| Разрешение, нм, не более | 1,0 | 1,0 |
| Диапазон наклона столика, ° | от −5 до +70 | |
| Перемещения столика, мм, не менее | X 0–80; Y 0–50; Z 0–30 | X 0–150; Y 0–150; Z 0–60 |
| Вращение столика, ° | от 0 до 360 | |
| Увеличение, крат | от 6 до 1 000 000 | от 8 до 1 000 000 |
| Давление в камере, Па, не более | 1×10−2 | |
| Параметры питания | 230±23 В; 50±2,5 Гц | |
| Условия эксплуатации | температура +15…+25 °C; относительная влажность до 65 % | |
Значения приведены по утвержденному описанию типа для модификации EM-8200 в составе линейки KYKY.
Программное обеспечение и измерительные функции
ПО KYM SEM является специализированным, предустановленным на компьютер оператора и предназначено для управления микроскопом, задания программ измерений, визуализации и сохранения результатов. Уровень защиты от изменений соответствует категории «средний» по Р 50.2.077-2014; версия ПО при поверке должна быть не ниже v1.0.
Метрологическая функция микроскопа заключается в измерении линейных размеров в плоскости XY в диапазоне 0,1–500 мкм с пределами допускаемой относительной погрешности ±3 %. Эта характеристика подтверждается при первичной и периодической поверках.
Поверка и метрологическое обеспечение
Микроскопы подлежат первичной поверке до ввода в эксплуатацию и после ремонта, а также периодической поверке в процессе эксплуатации. Поверка проводится в нормальных условиях окружающей среды после выдержки и стабилизации температурных режимов. Прослеживаемость обеспечивается через государственный первичный эталон длины. Метод оценки основан на сравнении результатов измерений микроскопа с калибровочными образцами-решётками. Критерий годности составляет ±3 %.
По итогам поверки оформляется свидетельство о поверке, являющееся подтверждающим документом.
Области применения EM-8200
EM-8200 применяется в материаловедении, микроэлектронике, порошковой металлургии, керамике, полимерной химии, геологии и биологии. Модификация Ultra благодаря увеличенному диапазону перемещений столика удобна при работе с крупными образцами и при проведении комплексного картирования поверхности.
Лаборатория Ликлаб: поставка, ввод в эксплуатацию и сервис
Лаборатория Ликлаб выполняет поставку микроскопов EM-8200, подбор конфигурации под задачи заказчика, пусконаладку, проверку вакуумной системы, настройку электронной оптики, калибровку увеличений и тестирование детекторов. Осуществляется сервис вакуумных насосов, диагностика утечек, восстановление рабочего давления, а также сопровождение при периодической поверке.
Итог. KYKY EM-8200 — универсальный высоковакуумный СЭМ с высокой стабильностью электронно-оптической системы, точностью измерений и возможностью расширения функционала за счёт аналитических модулей. Модификация Standard ориентирована на стандартные лабораторные задачи, Ultra — на работу с крупными образцами и расширенными измерительными программами.