Мембранно-ёмкостной вакуумметр AG 0-10 мм рт. ст., ±0,3%

Вакуумметр AGP2111 — это высокоточный ёмкостной датчик давления в диапазоне от 0 до 10 Торр, предназначенный для прецизионных измерений в вакуумных системах. Прибор отличается абсолютным методом измерения, устойчивостью к агрессивным средам благодаря использованию материала Inconel, а также стабильной работой при длительной эксплуатации. Вакуумметр оснащён цветным TFT-дисплеем, аналоговым выходом 0–10 В и цифровым интерфейсом RS485 (Modbus RTU), что делает его идеальным решением для интеграции в автоматизированные технологические линии. Подходит для применения в полупроводниковой промышленности, плазменных процессах, фармацевтической стерилизации и вакуумной упаковке.

Подробнее

Описание

Вакуумметр AGP2111 — Высокоточный ёмкостной датчик давления (0–10 Торр)

AGP2111 — это высокоточный вакуумметр с ёмкостной диафрагмой, предназначенный для прецизионного измерения давления в диапазоне 0–10 Торр. Применяется в областях, где критически важна точность и стабильность измерений низкого давления: в полупроводниковом производстве, вакуумной упаковке, плазменных процессах и стерилизации. В конструкции используется антикоррозионный материал Inconel, что обеспечивает высокую надёжность при контакте с агрессивными средами.

Принцип действия и теория измерений

AGP2111 относится к классу ёмкостных диафрагменных вакуумметров. Основу измерительного модуля составляет упругая металлическая мембрана, расположенная между двумя электродами. Под действием разности давлений по обе стороны диафрагмы происходит её упругое отклонение, величина которого изменяет электрическую ёмкость между электродами. Это изменение регистрируется высокочувствительным измерительным блоком и преобразуется в цифровой или аналоговый выход.

Ёмкостные методы измерения давления относятся к абсолютным методам и не зависят от состава газа, в отличие от термокондукционных или ионизационных вакуумметров. Это делает AGP2111 предпочтительным для точных и воспроизводимых измерений в условиях, где состав среды может варьироваться.

Основные технические характеристики

Диапазон измерений: 0…10 Торр
Погрешность: ±0,3% от текущего показания
Время отклика: ≤60 мс
Рабочая температура: 5…50 °C
Выходной сигнал: 0–10 В (линейный), RS485 (Modbus RTU)
Интерфейс подключения: KF16 (опции: KF25, VCR, NPT и др.)
Предельное избыточное давление: до 300 кПа
Материалы: нержавеющая сталь 304, Inconel
Электропитание: 15–30 В DC
Прогрев перед использованием: не менее 15 минут

Калибровка и обнуление

Для корректной работы прибора требуется предварительное обнуление (zeroing), которое выполняется при достижении давления ниже 5×10⁻⁴ Торр. После стабилизации вакуума пользователь заходит в меню "Настройки" → "Обнуление", после чего значение на дисплее устанавливается на 0.00 Торр.

Аналоговый выход

AGP2111 имеет линейную зависимость выходного напряжения от давления:

U = P, где U — напряжение (В), P — давление (Торр). Таким образом, при давлении 4.5 Торр напряжение на выходе будет составлять 4.5 В.

Цифровой интерфейс

Вакуумметр поддерживает цифровой интерфейс RS485 с протоколом Modbus RTU, что обеспечивает лёгкую интеграцию в системы управления. Можно менять адрес устройства (1–255), скорость передачи (4800, 9600, 19200, 115200 бод), а также единицы измерения давления (Па, Торр, мбар).

Интерфейс и управление

На передней панели устройства расположен цветной TFT-LCD дисплей и три клавиши управления. Через меню можно:

установить адрес устройства;
изменить скорость передачи;
выбрать единицы измерения давления;
просмотреть текущие параметры — давление, выходной сигнал, значения калибровки.

Области применения

AGP2111 особенно рекомендован для:

ALD и PECVD процессов нанесения тонких плёнок;
плазменного травления и очистки;
вакуумной сушки и упаковки чувствительных материалов;
фармацевтической стерилизации в условиях низкого вакуума;
научных исследований и лабораторных измерений.

Преимущества по сравнению с альтернативами

В отличие от термокондукционных (типа Пирани) или ионизационных вакуумметров, модель AGP2111:

не требует калибровки под тип газа;
обеспечивает стабильную работу в загрязнённой или агрессивной среде;
обладает высокой воспроизводимостью и долговечностью;
позволяет прямую интеграцию в автоматизированные системы.

Указания по эксплуатации

Установка допускается в любом положении, однако рекомендована вертикальная ориентация. Поверхности уплотнений и фланцев должны быть чистыми и без механических повреждений. При эксплуатации важно не превышать допустимое давление и обеспечивать стабильность питающего напряжения.

Гарантия

Официальная гарантия производителя составляет 12 месяцев. Приборы проходят проверку на точность, воспроизводимость и отклик перед отгрузкой. При соблюдении условий эксплуатации предусмотрен бесплатный ремонт или замена в течение гарантийного срока.

Скачать техническую карточку

Мембранно ёмкостной вакуумметр AG 0-10 мм рт. ст., ±0,3%

Русский текстовый PDF · 0,1 МБ

Открыть PDF Скачать PDF

Услуги

Аренда вакуумных насосов

Лаборатория Ликлаб предоставляет в аренду вакуумные насосы и полностью укомплектованные вакуумные посты с поверенными вакуумметрами. Выполняется вакуумирование высокоточных систем, технологических установок и межслойной изоляции криогенных резервуаров. Подбираются решения от форвакуумных до турбомолекулярных насосов для достижения вакуума до 10⁻⁵ Па и лучше.

Ключевые слова:
аренда вакуумных насосов, аренда турбомолекулярных насосов, форвакуумный насос, система вакуумирования, вакуумное оборудование, глубокий вакуум 10⁻⁵ Па, поверенный вакуумметр, вакуумирование криогенных резервуаров, вакуумная изоляция, вакуумные посты, Leaklab, Ликлаб, вакуумирование высокоточных систем, лаборатория контроля герметичности, аренда вакуумных установок

Измерение вакуума в изоляции криогенного резервуара

Лаборатория «Ликлаб» выполняет измерение остаточного давления в межслойной вакуумной изоляции криогенных резервуаров с подтверждением герметичности точки подключения. Применяем масс-спектрометрический гелиевый течеискатель и поверенные вакуумметры, обеспечивая трассируемость и воспроизводимость результатов. По итогам работ выдаём официальное заключение с протоколами и рекомендациями; при необходимости оперативно выполняем восстановительное вакуумирование изоляционного объёма.

Измерение давления в вакууме

Вакуумметры вакуумных установок со временем могут изменять свои характеристики. Поэтому необходимо периодически проводить независимое точное измерение давления в вакууме с помощью внешних поверенных датчиков давления. Этот процесс также важен для проверки давления в цистернах с вакуумной изоляцией. При изменении давления необходимо своевременно зафиксировать изменения, чтобы избежать выброса рабочего вещества.

Услуга прецизионного измерения давления позволяет точно определять давление в различных системах при реальных условиях эксплуатации.

Прецизионное измерение давления проводится в различных условиях, включая вакуум, низкое, среднее и повышенное давление. Высокоточные датчики давления, применяемые при этом, обеспечивают минимальную погрешность и высокую повторяемость результатов.

Услуга вакуумирования

Услуга вакуумирования объектов и организация процессов вакуумной откачки для предприятий

Компания предоставляет комплексные услуги по вакуумированию объектов и организации процессов вакуумной откачки для предприятий различных отраслей. Вакуумирование — это важный процесс, необходимый для создания условий низкого давления в производственных и исследовательских средах. Он применяется в таких областях, как электроника, медицина, фармацевтика, машиностроение и научные исследования.

Точный контроль давления в вакууме является ключевым аспектом процесса вакуумной откачки. Специалисты применяют высокоточные приборы для измерения давления, которые позволяют:

Измерять давление в широком диапазоне — от сверхвысокого вакуума до более грубого уровня;
Обеспечивать стабильные условия вакуума для процессов, требующих высокой точности;
Мониторить и контролировать вакуум в реальном времени, позволяя оперативно реагировать на любые изменения.

Услуги вакуумирования и вакуумной откачки от лаборатории гарантируют высокое качество производственных процессов и надежность работы оборудования, что способствует повышению эффективности и конкурентоспособности вашего предприятия.

Товары

Мембранно-ёмкостной вакуумметр AG 0-1000 мм рт. ст., ±0,3%

Мембранно-ёмкостной вакуумметр AG 0-100 мм рт. ст., ±0,3%

Мембранно-ёмкостной вакуумметр AG 0-1 мм рт. ст., ±0,3%

Новинка

Вакуумметр Пирани AGP с монитором 1×10⁵ – 1 Па ±5%

Назад к списку

Наши специалисты ответят на любой интересующий вопрос по товару

Задать вопрос