Вакуумные откачные системы и мобильные откачные посты KYKY серии FJ-300 — поставка и сервис Leaklab
Вакуумные откачные системы представляют собой инженерно завершённые комплексы оборудования, обеспечивающие создание и поддержание заданных уровней высокого и сверхвысокого вакуума в технологических, испытательных и исследовательских установках. Критическими параметрами таких систем являются скорость откачки по рабочим газам, предельное давление без нагрузки, стабильность режима при газовыделении изделия, а также согласование высоковакуумной и форвакуумной ступеней по пропускной способности и степени сжатия.
Лаборатория Leaklab выполняет проектирование, поставку, пусконаладку и сервис вакуумных откачных систем различного уровня сложности, включая мобильные турбомолекулярные станции KYKY. При подборе конфигурации учитываются объём и газовая нагрузка камеры, требуемое время цикла, характер процессов (чистые, плазменные, дегазационные, течеискательные), а также ограничения по масляным парам, вибрации и энергопотреблению.
Номенклатура поставки
Комплексные откачные станции высокой производительности, турбомолекулярные насосы и контроллеры, форвакуумные насосы масляного и безмасляного исполнения, вакуумметрия широкого диапазона, вакуумная арматура и магистрали из нержавеющей стали, аксессуары для подключения вакуумных камер и течеискателей, сервисные комплекты и запасные части.
Поставка выполняется с техническим сопровождением на всех этапах: от расчёта и компоновки до ввода в эксплуатацию и регламентного обслуживания.
Структура и принцип работы вакуумных откачных систем
Типовая система высоковакуумной откачки строится по двухступенчатой схеме. На первом этапе форвакуумный агрегат снижает давление в объёме до диапазона, допускающего безопасный пуск турбомолекулярной ступени. Далее турбомолекулярный насос обеспечивает быстрое достижение высокого вакуума за счёт направленного переноса молекул газа к форвакуумной линии, при этом степень сжатия насоса определяется массой молекул и конструкцией рабочего колеса. Для контроля и автоматизации используются широкодиапазонные вакуумметры (Пирани, холодный катод, ионизационные датчики), а логика пуска исключает перегрузку турбомолекулярной ступени при повышении давления.
При работе с изделиями, имеющими значительное газовыделение, в систему вводятся байпасные магистрали, дополнительные клапаны и дросселирующие элементы, позволяющие удерживать рабочую точку насоса в допустимой зоне. Для чистых процессов применяются сухие форвакуумные насосы с минимальным обратным током углеводородов и встроенными фильтрами на выхлопе.
Мобильные турбомолекулярные станции KYKY FJ-300 / FJ-300G
Станции KYKY серии FJ-300 относятся к высокопроизводительным мобильным вакуумным постам, предназначенным для получения высокого и сверхвысокого вакуума в автономном режиме. Конструктивно это законченный модуль, в котором объединены турбомолекулярный насос крупного типоразмера, форвакуумный насос, система управления с межблокировками, вакуумметрия, арматура и трубопроводы из нержавеющей стали. Исполнение позволяет использовать пост как готовый источник высокого вакуума без сборки вакуумной линии на месте эксплуатации.
Состав станции
Пост включает составной молекулярный насос FF-100/300, форвакуумный насос RV-4 масляного исполнения для модели FJ-300 или спиральный сухой насос WXP-3A-03 для модели FJ-300G, ультравысоковакуумные датчики и систему измерения давления, шкаф управления с сенсорной панелью 7 дюймов и заводским алгоритмом пуска. Магистральные соединения выполнены на фланцах ISO-KF с номиналом KF25, что упрощает подключение гибких линий и переходников на более крупные диаметры.
Высоковакуумная ступень
Турбомолекулярный насос обеспечивает скорость откачки по азоту до 296 л/с, по гелию до 250 л/с, по водороду до 200 л/с и по аргону до 305 л/с. Степень сжатия по азоту и аргону достигает 109, по гелию 6×105 и по водороду 105. Такие параметры обеспечивают уверенную откачку как тяжёлых, так и лёгких газов, что важно при плазменных процессах, дегазации, а также при гелиевом течеискании и вакуумировании изделий с водородной нагрузкой.
Форвакуумная ступень и чистота процессов
В базовом исполнении FJ-300 применяется пластинчато-роторный насос RV-4 с производительностью порядка 4 л/с. Модификация FJ-300G комплектуется спиральным сухим насосом WXP-3A-03 с производительностью около 3 л/с, что позволяет использовать станцию в чистых и аналитических процессах, где присутствие масляных паров недопустимо. Выбор форвакуумной ступени определяет не только чистоту, но и эксплуатационные риски при работе с увлажнёнными объёмами и конденсирующимися газами.
Охлаждение и питание
Станции выполнены с полностью воздушным охлаждением и рассчитаны на работу при температуре окружающей среды от +5 до +45 °C и влажности до 85 %. Питание осуществляется от однофазной сети 220 В, 50 Гц, с потребляемым током до 16 А. Водяного охлаждения и специальных линий электроснабжения не требуется, что критично для сервисных работ на площадке заказчика.
Технические характеристики KYKY FJ-300 / FJ-300G
| Параметр | FJ-300 | FJ-300G (FJ-300W) | Примечание |
|---|---|---|---|
| Интерфейс управления | Сенсорный экран 7" | Панель контроллера TCP-100 | |
| Турбомолекулярный насос | FF-100/300 Turbo Molecular Pump | Составной молекулярный насос | |
| Форвакуумный насос | RV-4 Rotary Vane Pump, 4 л/с | WXP-3A Scroll Pump, 3 л/с | Масляный / сухой |
| Вакуумметрия | ZDF-11B7 (2 канала), ZJ-52T/KF16, ZJ-27/CF35 | ZDF-12B7 (3 канала), ZJ-52T/KF16×2, ZJ-27/CF35 | С байпасной системой |
| Диапазон измерения давления | 1×105 … 1×10-5 Па | Широкий диапазон | |
| Скорость откачки по N2 | 296 л/с | По паспорту насоса | |
| Скорость откачки по He | 250 л/с | Для течеискания | |
| Скорость откачки по H2 | 200 л/с | Для водородных процессов | |
| Скорость откачки по Ar | 305 л/с | Для плазменных процессов | |
| Степень сжатия по N2/Ar | 1×109 | Высокая компрессия тяжёлых газов | |
| Степень сжатия по He | 6×105 | Уверенная работа по лёгким газам | |
| Степень сжатия по H2 | 1×105 | Стабильный режим при H2 | |
| Предельное давление без нагрузки | ≤ 5×10-5 Па | При форвакууме < 10 Па | |
| Фланцы вход/выход | KF25 / KF25 | ISO-KF, возможны переходники | |
| Пусковая мощность | ≤ 1500 Вт | ≤ 800 Вт | Зависит от форвакуумной ступени |
| Потребляемая мощность | ≤ 600 Вт | ≤ 300 Вт | Номинальный режим |
| Питание | 220 В, 16 А, 50 Гц | Стандартная однофазная сеть | |
| Масса | 123 кг | 80 кг | Сухая версия легче |
| Условия эксплуатации | +5…+45 °C, влажность ≤ 85 % | Воздушное охлаждение | |
Области применения откачных систем Leaklab на базе KYKY
Станции FJ-300/FJ-300G целесообразно применять в установках контроля герметичности с вакуумными камерами среднего и увеличенного объёма, где требуется быстрое достижение рабочего давления и минимальный фон по гелию. В системах течеискания пост используется как внешний высоковакуумный модуль при недостаточной производительности встроенной ступени течеискателя. Высокая скорость по аргону делает станцию эффективной в плазменных и ионно-плазменных процессах, а также в электронно-лучевых и электровакуумных технологиях. В исследовательской инфраструктуре станции применяются для вспомогательных камер сканирующих электронных микроскопов, установок термовакуумной дегазации и сорбционных экспериментов.
При вакуумировании изделий крупного объёма, включая корпуса арматуры, блоки теплообменников, вакуумные оболочки и камеры дозирования, пост обеспечивает восстановление давления в пределах технологически допустимого времени. В чистых процессах, в оптико-электронном производстве и при работе с высокочувствительной аналитикой предпочтительно применять модификацию FJ-300G с сухим форвакуумным насосом.
Интеграция и сервисная поддержка Leaklab
Leaklab использует откачные посты KYKY как базовые высоковакуумные модули в серийных и индивидуальных системах вакуумирования и гелиевого контроля герметичности. При разработке стендов лаборатория дополняет станции собственными модулями вакуумметрии, запорной арматурой, блоками продувки и регистрации параметров, не вмешиваясь в заводскую логику пуска турбомолекулярной ступени. Типовые решения адаптируются под конкретные изделия заказчика с учётом их газовой нагрузки, допустимых остаточных давлений и требований по чистоте.
Для выездных работ на криогенных резервуарах, межстенных изоляционных полостях и ёмкостях с влагосодержанием применяется исполнение FJ-300G, исключающее риск загрязнения камеры масляными парами. Сервис Leaklab включает регламентное обслуживание турбомолекулярных насосов и форвакуумных агрегатов, диагностику контроллеров и вакуумметрии, замену расходных материалов, восстановление характеристик после неправильной эксплуатации, а также оперативную поставку запасных частей. Наличие серийной базы KYKY упрощает планирование профилактики и сокращает простой оборудования у заказчика.
Практические рекомендации по эксплуатации
Для достижения заявленного предельного вакуума необходимо обеспечить устойчивый форвакуум ниже 10 Па перед пуском турбомолекулярной ступени и исключить поступление конденсирующихся паров без предварительной дегазации. При наличии значительного газовыделения рекомендуется использовать пошаговую откачку с выдержками на промежуточных давлениях и контролем температуры изделия. В чистых процессах следует применять сухие форвакуумные насосы и фильтрацию выхлопа, а также регулярно контролировать фон по углеводородам в камере.
Откачные системы Leaklab на базе мобильных станций KYKY FJ-300/FJ-300G обеспечивают быстрое получение высокого и сверхвысокого вакуума, стабильную работу по тяжёлым и лёгким газам, автономность и удобство эксплуатации на производстве и в лаборатории. Конфигурации с масляной и сухой форвакуумной ступенью позволяют выбирать оптимальное решение под требования процесса. Leaklab осуществляет поставку, интеграцию в технологические стенды и полный цикл сервисного обслуживания, обеспечивая воспроизводимость вакуумных режимов и минимизацию эксплуатационных рисков.
Материал подготовлен для размещения на сайте Leaklab. Технические параметры приведены по паспортной информации и практической эксплуатации в составе вакуумных систем.
