CBVAC в России — поставка и сервис молекулярных и сухих насосов

Лаборатория Ликлаб представляет на российском рынке линейку вакуумных насосов CBVAC и обеспечивает полный цикл услуг. Проводится подбор и поставка оборудования под технологические требования, шеф-монтаж и ввод в эксплуатацию, планово-предупредительное обслуживание, ремонтно-восстановительные работы с заменой оригинальных узлов, проверка вибросостояния и балансировки ротора, тесты удержания магнитной подвески, проверка герметичности и дегазации согласно внутренним методикам и требованиям ГОСТ Р 50.05.01-2018. Выполняется обучение персонала, разрабатываются эксплуатационные регламенты и карты ТО для конкретных установок PECVD, PVD, ионной имплантации, термообработки и материаловедческих стендов.

Сервисный центр CBVAC в России на базе Лаборатории Ликлаб

Функции сервисного центра включают диагностику по вибрационным и электрическим параметрам, замену подшипниковых узлов в смазочных сериях, проверку и юстировку систем магнитной подвески в серии MTP, очистку проточных каналов и восстановление характеристик насосов после загрязняющих процессов, восстановление производительности сухих насосов JZB и винтовых насосов SSH с контролем остаточного давления. На складе поддерживается номенклатура оригинальных расходных материалов и запасных частей, включая вентильные узлы продувки, вентиляторные модули, комплекты водяного охлаждения и разнесённые контроллеры. По итогам сервисных работ выдаётся комплект документов с результатами приемо-сдаточных испытаний, протоколами герметичности и параметров вакуумной откачки.

MTP — молекулярные насосы на магнитной подвеске

Назначение серии MTP состоит в обеспечении чистого и стабильного высоко- и сверхвысокого вакуума без масляных загрязнений. Магнитная подвеска обеспечивает бесконтактную опору ротора, низкие вибрации и минимальные требования к обслуживанию. Исполнения для средних технологических процессов в коррозионностойком варианте поставляются без нагревательных элементов, а версии с продувкой снижают накопление конденсирующихся примесей. Типовые области применения включают плоские дисплеи, PECVD, PCD, ионную имплантацию, покрытие, термообработку и исследования материалов.

JFB — молекулярные насосы со смазкой

Серия JFB охватывает компактные молекулярные насосы с консистентной смазкой и масляные исполнения. Предназначены для лабораторных установок и технологической оснастки, доступны фланцы ISO-LF, CF и KF, а также варианты с двойными входными патрубками для гибкой компоновки.

JZB — высоковакуумные сухие насосы прямого атмосферного впуска

Серия JZB представляет сухие высоковакуумные агрегаты с возможностью всасывания от атмосферного давления. Отсутствие масла в контуре создает чистые условия для чувствительных технологических процессов. Выпускаются версии под разные сетевые исполнения и облегчённые модификации Twin.

Разнесённые контроллеры для JFB

Разнесённые контроллеры предназначены для установки электроники вне зоны повышенной температуры и вибраций, обеспечивают стабильный запуск и контроль параметров молекулярного насоса.

JFJ — насосные модули с предварительным насосом

Модульные решения JFJ включают молекулярный насос, форвакуумный агрегат выбранного бренда, контур арматуры и шкаф управления. Доступны исполнения под LF и CF фланцы, а также усиленная серия A для расширенных условий эксплуатации.

SSH — сухие винтовые насосы с переменным шагом

Серия SSH предназначена для непрерывной откачки без рабочих жидкостей, устойчива к попаданию паров и легких загрязнений. Винтовые роторы с переменным шагом обеспечивают высокий объёмный КПД в широком диапазоне давлений и стабильность работы на технологических линиях.

Аксессуары для вакуумных насосов

Вспомогательная арматура и компоненты охлаждения обеспечивают корректную работу и ресурс оборудования в составе технологических линий.

Общие технические положения поставки и сервиса

Для насосов MTP с магнитной подвеской выполняется проверка состояния подшипниковых систем на старте, контроль тока подвеса и динамического зазора, тесты разгона до номинальной частоты и контроля вибраций по трем осям со сравнением с эталонными профилями. Для серий JFB производится замена смазочных материалов и фильтрующих элементов, регламентная очистка межлопаточных каналов и проверка герметичности стыков по методикам гелиевого масс-спектрометрического течеискания. Для сухих насосов JZB и SSH выполняется восстановление характеристик, контроль температурных режимов, продувка и дегазация, проверка производительности по паспортным точкам откачки. Все операции сопровождаются протоколами испытаний и рекомендациями по дальнейшей эксплуатации.