KYM-240 измеряет абсолютное давление по механическому прогибу мембраны и изменению емкости. Первичный эффект почти не зависит от рода газа, что удобно для смесей, однако точность системы по-прежнему зависит от нуля, температуры, загрязнения, монтажа и соединительной линии.
Подтвержденные характеристики и границы интерпретации
Ниже приведены значения, отобранные для рассматриваемого исполнения. Они не должны автоматически переноситься на соседние модели, другую комплектацию или реальную установку без проверки паспорта, схемы и условий процесса.
| Параметр | Подтвержденное значение или условие |
|---|---|
| KYM-240-13T | 133 000–13,3 Па |
| KYM-240-12T | 13 300–1,33 Па |
| KYM-240-11T | 1330–0,133 Па |
| KYM-240-10T | 133–0,0133 Па |
| Точность | класс 0,5; погрешность показаний не более 0,5% |
| Питание | 14–30 В DC, пульсации Vpp ≤0,5 В |
| Выход | −0,1…+10,5 В |
| Разъем / фланец | DB9 / KF16 |
| Перегрузка | до 5 атм |
Физический принцип
Мембрана отделяет измерительную полость от опорной. Разность давлений изменяет зазор между мембраной и электродами, а емкостной мост преобразует малое изменение геометрии в электрический сигнал.
Газонезависимость означает, что датчик не использует теплопроводность или ионизацию газа. Она не устраняет нулевой дрейф, остаточные напряжения мембраны, влияние температуры и механических нагрузок корпуса.
При низком давлении и разных температурах датчика и камеры возникает тепловая транспирация. Давление у теплого датчика может отличаться от давления в холодной камере, особенно при узкой соединительной линии.
Формула показывает направление инженерного анализа, но не заменяет паспортную модель и эксперимент. В реальной установке учитываются переходные процессы, газовый состав, температурные поля, загрязнение и геометрия соединений.
От прибора к работающей системе
Ноль проверяют при давлении существенно ниже нижнего рабочего предела выбранного исполнения. Если базовый вакуум недостаточен, реальное остаточное давление ошибочно записывается как смещение нуля.
Многоточечная калибровка оценивает чувствительность, линейность и гистерезис; кнопка нуля этого не делает. Фиксируют ориентацию, температуру, время стабилизации и направление подхода к точке.
Загрязнение мембраны продуктами процесса вызывает дрейф и гистерезис. Соединение проектируют так, чтобы ограничить частицы и конденсат, не создавая чрезмерную задержку давления.
Сравнение инженерных подходов
| Подход | Физика и ограничения | Рациональная область |
|---|---|---|
| CDG | механический прогиб мембраны | почти газонезависимое абсолютное давление |
| Pirani | теплопроводность газа | широкий диапазон, но газозависимая характеристика |
| Ионизационный датчик | ионный ток | высокий и сверхвысокий вакуум, чувствительность к составу и загрязнению |
Сравнение не устанавливает безусловного превосходства одной технологии. Правильный выбор зависит от измеряемого параметра, состава газа, требуемой чистоты, динамики процесса, стоимости владения и возможности обслуживания.
Практический алгоритм внедрения
- Выбрать исполнение так, чтобы рабочая область не лежала у самого нижнего предела.
- Проверить аварийное давление, температуру и химическую совместимость.
- Смонтировать короткую чистую линию KF16 без ловушек конденсата.
- Дождаться температурной стабилизации и проверить ноль на достаточном вакууме.
- Выполнить многоточечное сопоставление с опорным средством при требуемой точности.
На этапе технического задания полезно заранее определить измеримые критерии приемки. Это может быть кривая откачки, стабильность показаний, отклик на контрольный газ, равномерность температуры, скорость удаления влаги или повторяемость цикла. Критерий должен быть связан с задачей изделия, а не только с одним красивым каталожным числом.
Иллюстрированный технический разбор
Научный и патентный ландшафт
Патентные публикации показывают направления развития отрасли: конструкцию чувствительных элементов, вакуумные схемы, термокомпенсацию, управление и защиту. Они используются здесь как уровень техники. Перечень не является заключением о патентной чистоте, правах или реализации всех решений в рассматриваемом изделии.
| Публикация | Направление разработки |
|---|---|
| US7841239B2 | компенсация внешних условий в CDG |
| US6910381B2 | цифровая обработка и температурное управление |
| CN116818181A | геометрия мембраны и электродов |
| CN114459670B | параллельная мембранная структура |
Видео, аудио и подробная презентация
Видеообзор на русском языке
Аудиоразбор: физика, применение и ограничения
Открыть подробную презентацию в PDF
Литература и технические источники
Список приведен без внешних активных ссылок. Для численных характеристик изделия приоритет имеют его техническая документация и карточка конкретной модели; научные и патентные материалы объясняют физику и уровень техники.
- NIST. Pressure and Vacuum Measurements.
- NIST. Calibration and Uncertainty Analysis for Capacitance Diaphragm Gauges.
- Официальный каталог KYKY, семейство KYM-240.
- CN115540916B. Differential Capacitance Pressure Sensor.
Вопросы и ответы
Можно ли выбрать оборудование только по одному предельному параметру?
Нет. Рабочий результат определяется всей системой: газовой нагрузкой, проводимостью, температурой, режимом процесса, подключенной арматурой и средствами измерений.
Почему патентная публикация не является паспортом изделия?
Патент описывает техническую идею и границы правовой охраны. Он не подтверждает, что конкретная серийная модель использует все показанные решения или имеет заявленные в патенте параметры.
Что нужно передать инженерам для подбора?
Полезны схема установки, рабочие газы, диапазон давления, температура, длительность цикла, требования к чистоте, интерфейсам, монтажу и приемочным испытаниям.
Подбор и внедрение: Лаборатория контроля герметичности ЛИКЛАБ
Специалисты Лаборатории контроля герметичности ЛИКЛАБ помогают сформировать техническое задание, подобрать конфигурацию, спроектировать вакуумный тракт и измерительный канал, выполнить пусконаладку и разработать проверяемую методику для конкретного изделия.
Перейти к странице оборудования · Испытания на герметичность · Каталог вакуумного оборудования · Связаться со специалистами
Материал носит научно-технический характер. Окончательные параметры поставки, комплектность и приемочные критерии фиксируются в документации конкретного проекта.
