Расходомер MFM измеряет поток. Регулятор MFC дополнительно управляет клапаном и поддерживает заданный расход. Эти функции нужно различать при составлении спецификации.
Газ и единицы измерения
Укажите газ или состав смеси и опорные условия пересчёта. SCCM и SLM обозначают объёмный эквивалент расхода при заданных стандартных условиях. Литры в минуту при фактических давлении и температуре — другая величина. Опорную температуру и давление следует согласовать с документацией прибора и технологическим регламентом.
Рабочая точка и погрешность
Выбирайте диапазон по минимальному, номинальному и максимальному расходу процесса. Формулировки «процент от отсчёта» и «процент от полной шкалы» описывают разные составляющие погрешности. Проверяйте обе на рабочей точке, особенно внизу диапазона. Нулевой сигнал не подтверждает способность точно регулировать сколь угодно малый расход.
Гидравлика и управление
Укажите давление на входе и выходе при минимальном и максимальном потоке.
Проверьте допустимый перепад на управляющем клапане и материалы проточной части.
Согласуйте питание, аналоговый сигнал или цифровой протокол, распиновку и уставки.
Для вакуумной камеры отдельно подберите датчик давления, откачку и отсечной клапан.
В каталоге представлены Leaklab-R, AMC2000, AS200 и AS200B. Нужное исполнение определяют по паспорту: диапазон и совместимые газы нельзя автоматически переносить на всю серию.
Исходные данные для выбора MFM и MFC
Что включить в техническое задание
Параметр
Что указать
Почему это влияет на результат
Газ
Наименование, состав смеси, чистота, наличие влаги и примесей.
Калибровка и поправки зависят от принципа измерения и газа.
Расход
Минимальное, номинальное и максимальное значение; единицы и опорные условия.
Рабочая точка должна попадать в подтверждённый диапазон измерения и регулирования.
Давление
Входное и выходное давление, их изменение во времени.
Для MFC необходим рабочий перепад на клапане; запас давления не заменяет проверку допуска.
Материалы
Совместимость газа с проточной частью и уплотнениями.
Учитывают коррозию, загрязнение и требования к чистоте.
Управление
Питание, интерфейс, сигнал задания и обратная связь.
Регулятор должен корректно работать с контроллером установки.
Как полная шкала влияет на погрешность
Рассмотрим условный расчёт: верхний предел равен 1000 мл/мин, а одна из паспортных составляющих погрешности — 0,5% от полной шкалы. Её абсолютное значение составляет 5 мл/мин во всём диапазоне. По отношению к текущему расходу эта величина меняется:
Учебный пример для составляющей ±0,5% полной шкалы
Текущий расход
Абсолютная составляющая
Доля от текущего расхода
100 мл/мин
±5 мл/мин
±5%
500 мл/мин
±5 мл/мин
±1%
1000 мл/мин
±5 мл/мин
±0,5%
При одинаковой абсолютной составляющей её относительный вклад выше на малом расходе. Расчёт для ±5 мл/мин; шкала столбцов линейная.
Это иллюстрация расчёта, а не характеристика представленных моделей. Если паспорт дополнительно задаёт процент от показания, температурную составляющую или другие условия, их учитывают по указанному изготовителем правилу. Прибор с большим верхним пределом может оказаться неудобным для малого рабочего потока даже при хорошем проценте от полной шкалы.
Пуск, установка нуля и проверка процесса
После монтажа проверяют герметичность газовой линии и направление потока, выдерживают предусмотренный руководством прогрев. Ноль проверяют при действительно отсутствующем потоке: команда «0» на MFC сама по себе этого не доказывает. Изменение температуры, рабочего газа и ориентации чувствительного элемента может влиять на нулевой сигнал; корректировку выполняют в условиях, установленных изготовителем.
Для вакуумного процесса расход и давление — разные регулируемые величины. При постоянной подаче газа давление в камере также зависит от откачки и проводимости тракта. Поэтому проверяют совместную работу расходомера, датчика давления, клапанов и насосов, а не только устойчивость цифры на дисплее.
В спецификации полезно отдельно записать требуемую точность на рабочей точке, допустимую нестабильность потока и время установления. Так можно сравнить разные приборы по одной задаче, сохранив одинаковые газ и условия пересчёта.
Мы используем файлы cookie, сервисы аналитики Яндекс.Метрика и Google Analytics, чтобы сайт работал корректно, а мы могли улучшать его удобство и содержание. Нажимая «Принять», вы соглашаетесь на обработку этих данных в соответствии с политикой обработки персональных данных.
