Расходомер и регулятор газа: критерии выбора

Расходомер MFM измеряет поток. Регулятор MFC дополнительно управляет клапаном и поддерживает заданный расход. Эти функции нужно различать при составлении спецификации.

Газ и единицы измерения

Укажите газ или состав смеси и опорные условия пересчёта. SCCM и SLM обозначают объёмный эквивалент расхода при заданных стандартных условиях. Литры в минуту при фактических давлении и температуре — другая величина. Опорную температуру и давление следует согласовать с документацией прибора и технологическим регламентом.

Рабочая точка и погрешность

Выбирайте диапазон по минимальному, номинальному и максимальному расходу процесса. Формулировки «процент от отсчёта» и «процент от полной шкалы» описывают разные составляющие погрешности. Проверяйте обе на рабочей точке, особенно внизу диапазона. Нулевой сигнал не подтверждает способность точно регулировать сколь угодно малый расход.

Гидравлика и управление

• Укажите давление на входе и выходе при минимальном и максимальном потоке.
• Проверьте допустимый перепад на управляющем клапане и материалы проточной части.
• Согласуйте питание, аналоговый сигнал или цифровой протокол, распиновку и уставки.
• Для вакуумной камеры отдельно подберите датчик давления, откачку и отсечной клапан.

В каталоге представлены Leaklab-R, AMC2000, AS200 и AS200B. Нужное исполнение определяют по паспорту: диапазон и совместимые газы нельзя автоматически переносить на всю серию.