Ликлаб-125Л: вакуумная основа установки напыления
Вакуумная камера для технологических процессов напыления Ликлаб-125Л с комплектом вакуумной арматуры и документированным контролем герметичности предназначена для размещения технологической оснастки и работы с кремниевыми, стеклянными и сапфировыми подложками. Кубический корпус, фронтальная распашная дверь и распределённые порты позволяют компоновать термическое, электронно-лучевое или магнетронное напыление.
Ликлаб помогает согласовать компоновку, вакуумные присоединения и программу приёмочных испытаний. Источники напыления и насосную систему подбирают под технологический процесс отдельно.
Корпус и внутреннее устройство
Корпус изготовляют из нержавеющей стали со стенками толщиной 5 мм и рёбрами жёсткости. Усиление необходимо для сохранения геометрии оболочки при атмосферном давлении снаружи и вакууме внутри. Прочность корпуса и двери проверяют с учётом всех отверстий и присоединений.
Фронтальная дверь обеспечивает горизонтальную загрузку и доступ к оснастке. Внутри предусмотрены приварные крепёжные элементы с отверстиями Ø6,5 мм под крепёж М6. На них устанавливают согласованные держатели, экраны и технологические узлы. Их положение выбирают с учётом доступа при монтаже и обслуживания источников напыления.
Внутренняя поверхность основного металла имеет шероховатость Ra ≤ 3,2 мкм. Требования к сварным швам и уплотнительным поверхностям задают отдельно. Специальная электрохимическая обработка и жидкостное охлаждение стенок и двери в базовом исполнении не предусмотрены. Материалы уплотнений согласуют с газовой средой, температурой и технологией очистки.
Технические характеристики
Ниже приведены параметры исполнения и критерии приёмки. Остаточное давление и герметичность подтверждаются испытаниями конкретного изделия.
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Исполнение | Кубический корпус, фронтальная распашная дверь, горизонтальная загрузка |
| Полезные размеры | Не менее 490 × 490 × 495 мм; свободный объём по этим размерам — около 119 л |
| Стенки корпуса | Нержавеющая сталь, 5 мм, с рёбрами жёсткости |
| Внутренняя поверхность | Ra ≤ 3,2 мкм для основного металла |
| Остаточное давление | Не более 1 × 10⁻⁴ мбар = 0,01 Па; на испытательной откачной системе, при подготовке и выдержке по программе испытаний |
| Суммарный поток гелия | Qдоп ≤ 1 × 10⁻⁷ Па·м³/с |
| Температура стенок | От +10 до +70 °C |
| Требуемый ресурс | Не менее 10 000 ч |
| Масса по компоновке | 82,4 кг |
| Размеры компоновки | Ширина 640 мм; размеры на боковом и фронтальном видах — 630 и 589 мм. Полные габариты с выступающими узлами уточняют в рабочей документации. |
| Опоры и такелаж | Три рым-гайки М10; четыре нижних крепления М12; сетка опор 420 × 360 мм |
| Рабочие среды | Вакуум, инертные и технологические газы, совместимые с материалами камеры и уплотнений |
Порты и подключение оборудования
| Присоединение | Количество | Расположение |
|---|---|---|
| ISO-K DN100 | 4 | Один сверху, два на задней стенке, один в центре двери |
| KF DN50 | 4 | Два сверху, два сзади; задние патрубки длиной 30 мм |
| KF DN40 | 6 | Четыре сверху, по одному на боковых стенках; оси боковых патрубков на высоте 35 мм от дна |
Присоединения используют для откачки, измерения давления, газоподачи и технологических вводов в согласованной компоновке. Боковые KF40 предусмотрены под ввод вращения электронно-лучевого испарителя. Порт двери допускает установку подходящего дополнительного узла; само наличие порта не означает поставку смотрового окна или шлюза.
Как камера работает в составе установки
- Подготовка. Камеру очищают и сушат. Проверяют уплотнения, заглушки, крепления и совместимость установленной оснастки.
- Загрузка. Подложки и технологические устройства размещают внутри. Дверь закрывают штатным механизмом прижима.
- Откачка. Сначала выполняют предварительную откачку, затем подключают высоковакуумную ступень в пределах разрешённых режимов насосов. Давление измеряют пригодным вакуумметром.
- Технологический процесс. Источник, газоподачу, рабочее давление и режим нанесения покрытия задают технологической картой. Давление при напылении может отличаться от остаточного давления пустой подготовленной камеры.
- Разгерметизация и выгрузка. Источники отключают, обеспечивают безопасную температуру и плавно выравнивают давление. Дверь открывают только после выравнивания давления.
Время откачки зависит от газоотдачи, влажности, загрузки и проводимости магистралей. Эффективная быстрота откачки у камеры определяется выражением 1/Sэфф = 1/Sнасоса + 1/C. Поэтому мощный насос сам по себе не компенсирует узкую или длинную линию. Фактическую кривую давления во времени регистрируют при испытаниях выбранной комплектации.
Документированный контроль герметичности
Камеру проверяют гелиевым масс-спектрометрическим методом по письменной программе. Контроль включает корпус, дверь, все патрубки, сварные швы, уплотнения и установленные заглушки. На схеме испытаний указывают откачной тракт, течеискатель, оснастку и границы проверяемой оболочки.
- Проверка измерительной схемы. До испытания определяют фон и отклик всей схемы внешней поверенной гелиевой мерой потока. Учитывают температурную поправку, время отклика и восстановления. Встроенная калибровка прибора не заменяет эту проверку.
- Локальный поиск. При вакуумировании камеры последовательно обдувают гелием сварные швы, разъём двери и фланцевые соединения. Выдержку выбирают по подтверждённому времени отклика.
- Суммарный контроль. Создают контролируемое воздействие гелия на всю проверяемую оболочку. Фиксируют долю гелия, давление, выдержку и режим подключения. Соединение, занятое измерительным трактом, проверяют отдельным этапом.
- Проверка после испытания. Повторно подтверждают отклик измерительной схемы. Определяют итоговый поток с поправками и расширенную неопределённость.
- Оформление результата. Заключение и протокол связывают с заводским номером камеры и окончательной редакцией её конструкции.
Суммарный поток гелия после учёта фона и поправок вместе с расширенной неопределённостью не должен превышать 1 × 10⁻⁷ Па·м³/с. Коэффициент охвата и правило решения фиксируют в протоколе. Чувствительность подтверждают в фактической измерительной схеме.
Контроль остаточного давления оформляют отдельно. Низкое давление не является доказательством отсутствия течей: показания зависят также от газоотдачи и откачки. Свидетельство о поверке течеискателя подтверждает состояние средства измерений, но не результат проверки камеры.
Комплект поставки и документация
Базовый комплект включает камеру и пластиковые транспортировочные заглушки на все 14 портов. Рабочие вакуумные заглушки, уплотнения и крепёж для испытательной или технологической схемы фиксируют в согласованной комплектовочной ведомости. Транспортировочные заглушки не следует считать вакуумной испытательной оснасткой.
Насосы, вводы, магнетроны, испарители, чиллер, опорная рама, внутрикамерные экраны, смотровое окно и шлюз быстрого доступа подбираются отдельно.
- Паспорт камеры с заводским номером и характеристиками.
- Руководство по эксплуатации на русском языке и температурные ограничения.
- Комплектовочная ведомость и согласованная конструкторская документация.
- Подписанное заключение о герметичности и протокол с условиями, оборудованием, данными меры потока, результатами и неопределённостью.
- Гарантийные условия и применимые документы средств измерений.
Внедрение и обслуживание
Для подбора камеры укажите размеры оснастки, способ напыления, рабочие газы, требуемые давления и расположение вводов. Ликлаб согласует вакуумную обвязку, доступ к внутренним узлам и порядок контроля. При обслуживании проверяют чистоту, состояние уплотнений и присоединений, работу двери и изменения фонового потока. После замены вакуумных узлов или ремонта швов объём повторных испытаний задают программой контроля.
Запросить техническое предложение: mail@leaklab.ru · +7 (812) 715-00-17