Сервисное обслуживание гелиевых масс-спектрометрических течеискателей и организация поверки
Ликлаб выполняет полное техническое обслуживание, ремонт и настройку гелиевых течеискателей всех распространённых брендов. Мы приводим прибор к стабильной чувствительности, гарантируем корректный нулевой уровень и время отклика, готовим документацию и организуем поверку в аккредитованной метрологической лаборатории после любых работ, влияющих на метрологию.
Когда требуется сервис
- Долгий выход на ноль, «дрейф» показаний или повышенный фон.
- Увеличенное время отклика в щуповом режиме, «память» гелия в тракте.
- Шум/вибрации насосов, перегрев, ошибки по вакууму и ионизации.
- Истёкший интервал замены масла, фильтров, калибровочной течи и уплотнений.
- Подготовка к ежегодной поверке или ввод прибора после ремонта/консервации.
Периодичность и формат обслуживания
Рекомендуем регламентное ТО каждые 6 месяцев (или согласно паспорту производителя), а также расширенное ТО перед поверкой. Работы выполняем на вашей площадке или на сервисной базе Ликлаб.
Состав работ регламентного ТО
- Форвакуумный насос: слив и заправка свежим вакуумным маслом, промывка, проверка газобалластного узла и обратных клапанов, диагностический контроль предельного давления и вибраций; обслуживание фильтра масляного тумана/выхлопного фильтра.
- Вакуумный тракт и арматура: ревизия клапанов, дросселей и соединений KF/ISO/CF, очистка предвходовых сеток/фильтров, устранение подсосов, проверка герметичности внутренних магистралей.
- Масс-спектрометрический анализатор: сервис катодного/ионного узла с разгерметизацией по инструкции; чистка допустимыми средствами, замена изношенных катодов и уплотнений вакуумного блока, контроль тюнинга и эмиссии.
- Замена уплотнений (Viton/O-rings) в типовых точках:
- узел калибровочной течи;
- датчик Пирани/комбинированный вакуумметр;
- блок клапанов;
- переходник тестового порта/входной патрубок;
- источник ионов/ввод анализатора;
- форвакуумная магистраль;
- вход течеискателя и вход форнасоса.
- Фильтры и вентиляция: замена воздушных фильтров, чистка вентканалов, проверка вентиляторов и термоконтроля.
- Электрика и кабельная часть: осмотр разъёмов и жгутов, фиксация от вибраций, тестирование питания и заземления.
Калибровка чувствительности и функциональные проверки
- Оперативная калибровка по поверенной эталонной течи с фиксацией температуры, фона и времени отклика.
- Проверка работы в вакуумном и щуповом режимах; верификация единиц индикации (Па·м³/с и mbar·l/s).
- Настройка порогов, усреднения и фильтрации сигнала под ваши методики (обдув, чехол, камера и др.).
Технологическая карта работ
- Приёмка: идентификация прибора (модель, серийный номер, конфигурация), входная диагностика (фон, вакуум, насосы).
- Регламентное ТО: сервис насосной и вакуумной части, замена расходников и уплотнений, чистка и сборка.
- Диагностика: проверка герметичности внутренних магистралей, калибровка по эталонной течи, контроль времени отклика и повторяемости.
- Настройка ПО: профили для щупа/камеры, пороги браковки, единицы измерения, протоколы вывода данных.
- Документирование: сервисный отчёт, карта настроек, рекомендации по эксплуатации и «вакуумной гигиене».
Подготовка и организация поверки
Ликлаб готовит прибор к поверочным испытаниям, снижая риск замечаний со стороны метрологической лаборатории.
- Устранение внешних подсосов и проверка герметизации интерфейсов, щуповой линии и тестового порта.
- Очистка тракта от загрязнений, влаги и остатков масел; регламентная замена калибровочной течи при исчерпании ресурса.
- Стабилизация режимов и контрольные измерения на эталоне с фиксацией фона и времени отклика.
- Пакет документов для поверки: сведения о приборе и эталонах, результаты калибровки, протоколы проверок.
- Логистика и сопровождение: передача приладу в аккредитованную лабораторию, взаимодействие по результатам, внесение отметок в эксплуатационную документацию.
Дополнительные услуги
- Мониторинг состояния парка течеискателей и вакуумных установок (журналы ТО, план-график замены расходников).
- Модернизация и интеграция в технологический процесс (автоматизация тестов, интерфейсы, отчётность).
- Обучение персонала: быстрый старт, чек-листы запуска и проверки, типовые технологические карты.
Поддерживаемые бренды и модели
Мы обслуживаем современные и «классические» течеискатели, включая (но не ограничиваясь):
- INFICON: UL1000/UL1000Fab/UL5000, LX218, LDS3000, Modul1000
- Pfeiffer/Adixen: ASM 310/340/380/390/392, HLT-570
- Leybold: PHOENIX (L300i, Quadro, Magno, Vario и др.)
- ULVAC: HELIOT 900/901 (варианты W/D)
- Agilent/Varian: серия VS, 959D, модульные решения
- Отечественные: ТИ1-50/ТИ1-50И/ТИ1-50М, Гелископ-1
- KYKY и др.: ZQJ, T-34, другие совместимые модели
- Щуповые линии: сервис и настройка, тест расхода/инерции
Перечень моделей для сервисных работ и поверки
| Тип/модель СИ | № в госреестре | Производитель |
|---|---|---|
| Т-34 | 90871-23 | KYKY Technology Co., Ltd. (Китай) |
| ТИ1-50М «ГелиТест» | 90151-23 | ООО «НПО “Геликон”», Санкт-Петербург |
| HLeakDek | 95400-25 | Anhui Nuoyi Technology Co., Ltd. (Китай) |
| HELIOT 900 | 70152-18 | ULVAC Inc. (Япония) |
| UL1000; UL1000Fab; UL5000 | 50369-12 | INFICON GmbH (Германия) |
| ASM 310 | 82139-21 | Adixen/Pfeiffer Vacuum (Франция) |
| PHOENIX Quadro / Quadro dry / Magno / Magno dry / Vario | 78615-20 | Leybold GmbH (Германия) |
| LDS3000; Modul1000 | 63679-16 | INFICON GmbH (Германия) |
| ТИ1-50И | 58067-14; 58067-19 | ОАО/АО «Завод “Измеритель”», Санкт-Петербург |
| Гелископ-1 | 36435-07 | ФГУП «ЦКБМ», Санкт-Петербург |
| VS (серия) | 66313-16 | Agilent Technologies (Малайзия) |
| MSE (серия) | 68915-17 | Shimadzu Corporation (Япония) |
| HLT 570 / HLT570 | 69548-17; 94218-24 | Pfeiffer Vacuum GmbH (Германия) |
| G861XX (серия) | 77140-19 | Agilent Technologies LDA Sdn (Малайзия) |
| LX218 | 80705-20 | INFICON GmbH (Германия) |
| ТИ1-50 | 87980-23; 91062-24; 95781-25 | ОАО «Завод “Измеритель”» (СПб); ООО «НПО “Измеритель”» (Москва) |
| ZQJ-Vactron | 89824-23 | KYKY Technology Co., Ltd. (Китай) |
| NHJ-600 | 95163-25 | Anhui Nuoyi Technology Co., Ltd. (Китай) |
| ASM (семейство) | 85256-22; 48165-11 | Pfeiffer Vacuum / Adixen (Франция) |
| PHOENIX L300i | 65470-16 | Oerlikon Leybold / Leybold GmbH (Германия) |
| МС-4 | 60980-15 |
ООО «НПФ “Прогресс”», Санкт-Петербург |
Типовые симптомы и быстрые решения
- Долгий выход на ноль — проверьте масло, газобалласт, фильтры; очистите тракт.
- Длинный «хвост» после гелия — устраните «карманы», снизьте витраж линии, обновите фильтры.
- Потеря чувствительности — сервис катодов/тюнинг масс-фильтра, проверка калибртечи.
- Шум/вибрации — диагностика подшипников насосов, балансировка, крепёж магистралей.
Безопасность и «вакуумная гигиена»
Соблюдаем электробезопасность и требования к работе со сжатыми газами. Используем допущенные материалы и чистые расходники, исключающие внесение загрязнений. Рабочие зоны проветриваются с учётом возможного вытеснения кислорода при работе с гелием.
Что вы получаете по завершении работ
- Сервисный отчёт с перечнем операций, результатами диагностики, картами настроек.
- Протоколы калибровки по эталонной течи (фон, отклик, чувствительность, условия).
- Рекомендации по режимам эксплуатации, графикам ТО и подготовке к поверке.
- Сопровождение поверки до получения действующего свидетельства/протокола.
Нужен план ТО под ваш парк течеискателей или подготовка к поверке «под ключ»? Ликлаб настроит регламенты, обучит персонал и возьмёт метрологическое сопровождение на себя.

